{"id":9617,"date":"2025-07-31T10:23:52","date_gmt":"2025-07-31T10:23:52","guid":{"rendered":"https:\/\/d-prax.de\/?p=9617"},"modified":"2025-07-31T06:29:39","modified_gmt":"2025-07-31T06:29:39","slug":"i-2-u-29-24-metrologievorrichtung","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/d-prax.de\/?p=9617","title":{"rendered":"I-2 U 29\/24 – Metrologievorrichtung"},"content":{"rendered":"

D\u00fcsseldorfer Entscheidungen Nr. 3419<\/strong><\/p>\n

Oberlandesgericht D\u00fcsseldorf<\/p>\n

Urteil vom 6. M\u00e4rz 2025,I-2 U 29\/24<\/p>\n

Vorinstanz: 4b O 11\/22<\/p>\n

    \n
  1. I. Die Berufung der Kl\u00e4gerin gegen das am 25.04.2023 verk\u00fcndete Urteil der 4b Zivilkammer des Landgerichts D\u00fcsseldorf wird zur\u00fcckgewiesen.<\/li>\n
  2. \nII. Der Kl\u00e4gerin hat auch die Kosten des Berufungsverfahrens zu tragen.<\/li>\n
  3. \nIII. Dieses Urteil und das Urteil des Landgerichts sind f\u00fcr die Beklagte wegen ihrer Kosten vorl\u00e4ufig vollstreckbar.<\/li>\n
  4. \nDer Kl\u00e4gerin darf die Zwangsvollstreckung gegen Sicherheitsleistung in H\u00f6he von 120 % des aufgrund der Urteile vollstreckbaren Betrages abwenden, wenn nicht die Beklagte vor der Vollstreckung Sicherheit in H\u00f6he von 120 % des jeweils zu vollstreckenden Betrages leistet.<\/li>\n
  5. \nIV. Die Revision wird nicht zugelassen.<\/li>\n
  6. \nV. Der Streitwert f\u00fcr das Berufungsverfahren wird auf 9.000.000,00 EUR festgesetzt.<\/li>\n
  7. <\/li>\n
  8. Gr\u00fcnde:<\/strong><\/li>\n
  9. \nI.<\/li>\n
  10. \nDie Kl\u00e4gerin ist eingetragene Inhaberin des deutschen Gebrauchsmusters DE X (Anlage B-K1; nachfolgend: Klagegebrauchsmuster), das die Bezeichnung \u201eFremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung und Teilchensammel- und Metrologiesystem\u201c tr\u00e4gt. Aus diesem Schutzrecht nimmt sie die Beklagte auf Unterlassung, Auskunft und Rechnungslegung sowie R\u00fcckruf und Vernichtung in Anspruch. Ferner begehrt sie die Feststellung der Schadensersatzpflicht der Beklagten dem Grunde nach.<\/li>\n
  11. \nDas aus der europ\u00e4ischen Patentanmeldung EP 17 17 XXX (EP 3 272 XXX, Anlage B 3 inkl. dt. \u00dcbersetzung; nachfolgend auch: Stammanmeldung) abgezweigte Klagegebrauchsmuster beruht auf einer unter Inanspruchnahme einer US-Priorit\u00e4t vom 20.05.2016 get\u00e4tigten Anmeldung vom 22.05.2017. Es wurde am 08.12.2020 eingetragen. Die Bekanntmachung der Eintragung im Patentblatt erfolgte am 14.01.2021. Gegen das aus der Stammanmeldung erwachsene europ\u00e4ische Patent EP 3 272 XXX hat die Beklagte Einspruch beim Europ\u00e4ischen Patentamt eingelegt. Einen das Klagegebrauchsmuster betreffenden L\u00f6schungsantrag hat die Beklagte nicht gestellt.<\/li>\n
  12. \nDie Kl\u00e4gerin macht das Klagegebrauchsmuster vorliegend in ge\u00e4nderter Fassung geltend, wobei sie ihr Klagebegehren in der Berufungsinstanz vorrangig auf folgende Schutzanspr\u00fcche 1, 17 und 24 st\u00fctzt (vgl. Anlage B-K23 sowie das Sitzungsprotokoll vom 06.02.2025, Bl. 948 f. eA OLG):<\/li>\n
  13. \n1. Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung (200) zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung (200) umfasst: eine Substrathalteanordnung (102), die eine Halterung (108), die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat (18) zu halten, umfasst; eine Spitzenhalteanordnung (104), die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) (12) umfasst, wobei die SPM-Spitze (12) \u00fcber einen Spitzencantilever (132) mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung (130) gekoppelt ist; wobei die Substrathalteanordnung (102) und die Spitzenhalteanordnung (104) von einer Basis (106) gehalten werden und die Spitzenb\u00fchnenanordnung (130) daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze (12) relativ zu der Basis (106) zu bewegen, um die SPM-Spitze (12) benachbart zu dem Teilchen zu positionieren, w\u00e4hrend sich das Teilchen auf dem Substrat befindet; Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze (12), wobei die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze daf\u00fcr ausgelegt sind, das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze (12) zu \u00fcbertragen und eine externe Energiequelle umfassen, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu umgeben und es mechanisch einzufangen um es zu binden, und wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen; eine Strahlungsquelle (204), die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen auf der SPM-Spitze (12) mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze (12) mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung (130) gekoppelt ist, wobei die Strahlungsquelle (204) eine Elektronenstrahlquelle umfasst; einen Strahlungsdetektor (206), der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren, wobei der Strahlungsdetektor (206) einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und eine Steuerung (136), die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor (206), das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens auf der SPM-Spitze (12) zu identifizieren.<\/li>\n
  14. \n17. Teilchensammel- und Metrologiesystem (200), umfassend: eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) (12); eine B\u00fchne (110), die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat (18) zu halten; ein Aktuatorsystem (118, 124, 126, 134), das funktionell mit mindestens einem von der B\u00fchne und der SPM-Spitze gekoppelt ist, wobei das Aktuatorsystem (118, 124, 126, 134) daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zu der B\u00fchne zu bewegen; eine Strahlungsquelle (204) in optischer Kommunikation mit einem Messort, der auf zumindest einem Teil der SPM-Spitze (12) angeordnet ist, wobei die Strahlungsquelle (204) eine Elektronenstrahlquelle umfasst; einen Strahlungsdetektor (206) in optischer Kommunikation mit dem Messort, wobei der Strahlungsdetektor (206) einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und eine Steuerung (136), die funktionell mit dem Aktuatorsystem (118, 124, 126, 134), der Strahlungsquelle (204) und dem Strahlungsdetektor (206) gekoppelt ist, wobei die Steuerung f\u00fcr Folgendes ausgelegt ist: Bewegen der SPM-Spitze (12) von einem Ort in der N\u00e4he des Substrats (18) zu dem Messort; Verursachen einer ersten Probenstrahlung durch Bestrahlen des Messorts mit einer ersten einfallenden Strahlung von der Strahlungsquelle (204); und Empfangen eines ersten Signals von dem Strahlungsdetektor (206), das auf eine Antwort des Strahlungsdetektors (206) auf die erste Probenstrahlung von dem Messort hinweist; und Analysieren des ersten Signals und Identifizieren von einer oder mehreren Materialeigenschaften eines Teilchens auf der SPM-Spitze (12); wobei die Steuerung (136) au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt ist, vor dem Bewegen der SPM-Spitze von dem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort die SPM-Spitze (12) benachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat zu positionieren, und das Teilchensammel- und Metrologiesystem eine externe Energiequelle umfasst, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden, wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen.<\/li>\n
  15. \n24. Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung (200) zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung (200) umfasst: eine Substrathalteanordnung (102), die eine Halterung (108), die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat (18) zu halten, umfasst; eine Spitzenhalteanordnung (104), die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) (12) umfasst, die \u00fcber einen Spitzencantilever (132) mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung (130) gekoppelt ist; wobei die Substrathalteanordnung (102) und die Spitzenhalteanordnung (104) von einer Basis (106) gehalten werden; Mittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat (18), das von der Halterung gehalten wird, unter Verwendung der SPM-Spitze (12), die daf\u00fcr ausgelegt sind, die SPM-Spitze (12) benachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat (18) zu positionieren und eine externe Energiequelle umfassen, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden, wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen; eine Strahlungsquelle (204), die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze (12) mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung (130) gekoppelt ist, wobei die Strahlungsquelle (204) eine Elektronenstrahlquelle umfasst; einen Strahlungsdetektor (206), der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren, wobei der Strahlungsdetektor (206) einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und eine Steuerung (136), die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor (206), das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens zu identifizieren.<\/li>\n
  16. \nWegen des Wortlauts der in erster Instanz geltend gemachten Anspruchsfassungen wird auf die im Urteil des Landgerichts wiedergegebenen erstinstanzlichen Klageantr\u00e4ge der Kl\u00e4gerin Bezug genommen.<\/li>\n
  17. \nFerner wird wegen des Wortlauts der eingetragenen Schutzanspr\u00fcche 1, 2, 3, 17, 21, 22, 23, 24, 25, 26, 27, 31, 34 und 35 auf die Klagegebrauchsmusterschrift Bezug genommen.<\/li>\n
  18. \nDie nachfolgend wiedergegebene Figur 15 der Klagegebrauchsmusterschrift zeigt die Perspektivansicht einer Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung (200) zum Wegnehmen von Fremdk\u00f6rpern von einem Substrat (18) und zum Untersuchen von Eigenschaften der Fremdk\u00f6rper.<\/li>\n
  19. \nDie nachstehend ferner wiedergegebene Figur 3 der Klagegebrauchsmusterschrift zeigt die Querschnittsansicht einer Fremdk\u00f6rperentfernungsvorrichtung (10) mit einer Spitze (12) zur Entfernung von Teilchen (20) aus dem Graben (22) eines Substrats (18).<\/p>\n

    Die Parteien befassen sich u.a. mit der Entwicklung von Instrumenten f\u00fcr die Herstellung mikroelektronischer Schaltungen, insbesondere auch f\u00fcr die Reinigung von Fotomasken, die bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen Anwendung finden.
    \nDie Beklagte stellt in Deutschland Mess- und Fertigungsanlagen f\u00fcr die Halbleiterindustrie her und vertreibt diese, darunter das nachfolgend abgebildete \u201eZ. P. R. T.\u201c (im Folgenden: angegriffene Ausf\u00fchrungsform).<\/li>\n

  20. <\/li>\n
  21. \nDieses dient zum Entfernen von Teilchen von Fotomasken f\u00fcr die \u2013 bei der Herstellung von mikroelektronischen Schaltungen zur Anwendung kommende \u2013 Extremultraviolettlithografie (EUV-Lithografie), wobei die Teilchen nach der Entfernung analysiert werden k\u00f6nnen und deren Zusammensetzung bestimmt werden kann.<\/li>\n
  22. \nDie Kl\u00e4gerin sieht in der Herstellung und dem Vertrieb der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform eine Verletzung des Klagegebrauchsmusters.<\/li>\n
  23. \nSie hat vor dem Landgericht u.a. geltend gemacht, dass die angegriffene Ausf\u00fchrungsform eine Vorrichtung bzw. ein System im Sinne der jeweils eingeschr\u00e4nkt geltend gemachten Schutzanspr\u00fcche 1, 17 und 24 sei. Das Klagegebrauchsmuster beschreibe in seinem Absatz [0113] die chemische Ver\u00e4nderung von fluid, d.h., fl\u00fcssig oder gasf\u00f6rmig, zu fest als eine chemische Ver\u00e4nderung an der Oberfl\u00e4che der Spitze, wobei es gen\u00fcge, dass diese in der N\u00e4he und\/oder im Kontakt mit der Oberfl\u00e4che der Spitze stattfinde. Hiervon ausgehend verletze die Beklagte mit der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform das Klagegebrauchsmuster. Denn bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform komme es bei der Verwendung eines geladenen Elektronenstrahls zu einer chemischen Ver\u00e4nderung dergestalt, dass das eingesetzte Pr\u00e4kursorgas (ein Fluid) zerfalle und u.a. Kohlenstoff (ein Feststoff) gebildet werde. Das Klagegebrauchsmuster sei schutzf\u00e4hig. Es sei in der eingeschr\u00e4nkt geltend gemachten Fassung nicht unzul\u00e4ssig erweitert und insbesondere gegen\u00fcber der entgegengehaltenen US X (Anlage B 5, nachfolgend: D1) auch neu, da dort u.a. eine Positionierung der Spitze benachbart zu dem Fremdk\u00f6rper nicht offenbart werde. Weiterhin beruhe das Klagegebrauchsmuster auf einem erfinderischen Schritt, da der Fachmann weder durch eine Kombination der D1 mit der US X\u00a0 (Anlage B 6, nachfolgend: D2) noch durch eine Kombination der D1 mit der JP X (Anlage B 7\/1, nachfolgend: D3) und der JP X (Anlage B 8\/1, nachfolgend: D4) zur erfindungsgem\u00e4\u00dfen Lehre gelange.<\/li>\n
  24. \nDie Beklagte, die Klageabweisung beantragt hat, hat eine Benutzung des Klagegebrauchsmusters in Abrede gestellt und eingewandt, dass dieses nicht schutzf\u00e4hig sei. Sie hat vor dem Landgericht u.a. geltend gemacht, dass das Klagegebrauchsmuster strikt zwischen Phasen\u00e4nderungen als physikalische Ver\u00e4nderungen und chemischen \u00c4nderungen differenziere. Soweit das Klagegebrauchsmuster von einem \u201ePhasen\u00fcbergang von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper\u201c spreche, sei damit der Wechsel des Aggregatzustandes gemeint. Eine chemische \u00c4nderung erfordere indes eine Ver\u00e4nderung der atomaren Zusammensetzung des Ausgangsstoffes, wobei diese Ver\u00e4nderung im Oberfl\u00e4chenmaterial der Spitze katalysiert werden m\u00fcsse. Letzteres folge auch aus dem von der Kl\u00e4gerin herangezogenen Absatz [0113] der Klagegebrauchsmusterbeschreibung, der sich ausschlie\u00dflich mit chemischen \u00c4nderungen bzw. Phasen\u00e4nderungen \u201eder Oberfl\u00e4che der Spitze\u201c befasse. Bei der angegriffene Ausf\u00fchrungsform reagiere hingegen das zwischen Spitze und Fremdk\u00f6rper eingeleitete Pr\u00e4kursorgas und das aus dieser chemischen Reaktion herr\u00fchrende Zerfallsprodukt (Kohlenstoff) des Gases schaffe als Bindemittel eine Verbindung zwischen Spitze und Fremdk\u00f6rper. Eine solche Vorgehensweise der Erzeugung eines Bindemittels im Zwischenraum zwischen Spitze und Fremdk\u00f6rper werde im Klagegebrauchsmuster nicht beschrieben und sei diesem auch grundlegend fremd. Im \u00dcbrigen sei das Klagegebrauchsmuster l\u00f6schungsreif, was sich nicht zuletzt auch aus der Einsch\u00e4tzung der Einspruchsabteilung des Europ\u00e4ischen Patentamts zum EP X1 (Anlage A-K1) ergebe. Es liege eine unzul\u00e4ssige Erweiterung vor und der Gegenstand des Klagegebrauchsmusters sei durch die D1 neuheitssch\u00e4dlich vorweggenommen. Au\u00dferdem fehle es an einem erfinderischen Schritt gegen\u00fcber einer Kombination der Druckschriften D1 und D3 bzw. D1 und D4.<\/li>\n
  25. \nMit Urteil vom 25.04.2023 hat das Landgericht D\u00fcsseldorf die Klage abgewiesen und zur Begr\u00fcndung im Wesentlichen ausgef\u00fchrt:<\/li>\n
  26. \nSoweit der modifizierte Schutzanspruch 1 des Klagegebrauchsmusters eine Spitzenb\u00fchnenanordnung verlange, die daf\u00fcr ausgelegt sei, die SPM-Spitze relativ zu der Basis zu bewegen, um die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen zu positionieren, liege ein \u201ebenachbartes Positionieren\u201c immer dann vor, wenn das Teilchen eingesammelt werden k\u00f6nne; einen dar\u00fcberhinausgehenden technischen Bedeutungsgehalt habe das Merkmal nicht. Soweit der modifizierte Schutzanspruch in Merkmal 21* vorgebe, dass die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze eine externe Energiequelle umfassten, die daf\u00fcr ausgelegt sei, eine chemische Ver\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper zu katalysieren, um das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze mechanisch einzufangen und zu binden, handele es bei der Angabe \u201ean der Oberfl\u00e4che …\u201c um eine allgemeine Ortsbestimmung, die klarstelle, dass die chemische Ver\u00e4nderung r\u00e4umlich an der Oberfl\u00e4che angeordnet stattzufinden habe. Eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che selbst sei hingegen nicht erforderlich. Das Klagegebrauchsmuster sei im Umfang der geltend gemachten Anspr\u00fcche l\u00f6schungsreif. Es liege eine unzul\u00e4ssige Erweiterung vor, da die Stammanmeldung in Absatz [0109] ihrer Beschreibung allein chemische Ver\u00e4nderungen der SPM-Spitze selbst bzw. einer ihr zuzuordnenden Beschichtung offenbare. Hingegen k\u00f6nne der Beschreibungsstelle keine Offenbarung der chemischen Ver\u00e4nderung in blo\u00dfer N\u00e4he zur SPM-Spitze entnommen werden. Die Formulierung \u201echange to\u201c sei in der englischen Sprache eine typische Wendung, um eine \u00c4nderung des Gegenstands selbst zu benennen und werde in den letzten beiden S\u00e4tzen des Absatzes [0109] auch dementsprechend verwendet. Die Stammanmeldung enthalte auch keine Anhaltspunkte, wie eine solche chemische Ver\u00e4nderung in blo\u00dfer N\u00e4he zur SPM-Spitze ablaufen solle. Ein anderes Verst\u00e4ndnis sei nicht deshalb geboten, weil der Fachmann wisse, dass das Material der SPM-Spitze fest sei und daher ihren Zustand nicht von fluid zu fest \u00e4ndern k\u00f6nne. Denn neben der Spitze selbst sei auch die in den Abs\u00e4tzen [0064] ff. beschriebene Zwischenschicht gemeint und dem Fachmann werde durch das Zusammenspiel der Beschreibung in den Abs\u00e4tzen [0063] und [0065] ein Weg aufgezeigt, die Spitze mit einer fl\u00fcssigen Beschichtung zu versehen. Eine chemische Ver\u00e4nderung in blo\u00dfer N\u00e4he zur SPM-Spitze sei daher in der Anmeldung nicht offenbart, wovon auch die Einspruchsabteilung des Europ\u00e4ischen Patentamts in einem Hinweis (Anlage B 9) zum EP X ausgegangen sei, das in den vorliegend relevanten Teilen identisch mit der Stammanmeldung sei. Da die im Anspruch genannte \u201eweitere externe Energiequelle\u201c in der Stammanmeldung nur im Zusammenhang mit der chemischen Ver\u00e4nderung offenbart sei, liege auch in Bezug auf dieses Merkmal eine unzul\u00e4ssige Erweiterung vor, da insoweit ein untrennbarer Zusammenhang bestehe. Bei Nichtber\u00fccksichtigung dieser Merkmale, aus denen keine Rechte hergeleitet werden k\u00f6nnten, offenbare die D1 die Lehre des Klagegebrauchsmusters neuheitssch\u00e4dlich. Die Erw\u00e4gungen zum modifizierten Schutzanspruch 1 w\u00fcrden in gleicher Weise auch f\u00fcr die modifizierten Schutzanspr\u00fcche 17 und 24 gelten, da die f\u00fcr die Entscheidung relevanten Merkmale sinngem\u00e4\u00df identisch seien.<\/li>\n
  27. \nGegen dieses Urteil hat die Kl\u00e4gerin Berufung eingelegt, mit der sie ihr vor dem Landgericht erfolglos gebliebenes Begehren mit einem ge\u00e4nderten Hauptantrag und f\u00fcnf Hilfsantr\u00e4gen weiterverfolgt. Zur Begr\u00fcndung f\u00fchrt die Beklagte im Wesentlichen aus:<\/li>\n
  28. \nDas landgerichtliche Urteil verenge den Offenbarungsgehalt der Stammanmeldung im Hinblick auf die dort in Absatz [0109] zu findende Passage \u201eChemical changes to the tip surface\u2026\u201c unzutreffend auf die SPM-Spitze selbst bzw. einer ihr zuzuordnenden Beschichtung. Richtig sei vielmehr, dass dieser Passus allein aussage, dass eine chemische Ver\u00e4nderung r\u00e4umlich an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze angeordnet stattzufinden habe, weshalb sie diesen f\u00fcr das Klagegebrauchsmuster auch mit \u201echemische Ver\u00e4nderung [\u2026] an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze\u2026\u201c \u00fcbersetzt habe. Gleichwohl lege sie dieses Verst\u00e4ndnis nur ihren Hilfsantr\u00e4gen 1 und 4 zugrunde, da auch unter der \u2013 sich im Hauptantrag und dem Hilfsantrag 3 widerspiegelnden \u2013 Zugrundelegung der zu engen Auffassung des Landgerichts eine Gebrauchsmusterverletzung vorliege. Bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform lagerten sich n\u00e4mlich die Gasmolek\u00fcle des zugef\u00fchrten Pr\u00e4kursorgases an der Oberfl\u00e4che an. Durch die mittels lokalen Beschusses mit Prim\u00e4relektronen ausgel\u00f6ste Reaktion zerfalle das Gas (ein Fluid) und es bilde sich Kohlenstoff als Festk\u00f6rper. Die durch angelagertes Gas gebildete Oberfl\u00e4che \u00e4ndere sich mithin durch eine chemische Reaktion zu einem Festk\u00f6rper. Mit ihren Hilfsantr\u00e4gen 2 und 5 stelle sie auf eine chemische Ver\u00e4nderung einer zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung ab, die ebenfalls in der Stammanmeldung offenbart werde und die bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform vorliege, da das bei dieser zur Anwendung kommende Pr\u00e4kursorgas eine zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegende Beschichtung darstelle. Eine solche Beschichtung m\u00fcsse weder fest sein noch die gesamte Spitze umfassen, weshalb auch zeitweise anhaftende Gasmolek\u00fcle gen\u00fcgten.<\/li>\n
  29. \nEine chemische Ver\u00e4nderung sei entgegen der von der Beklagten und deren Privatgutachter K. vertretenen Auffassung nicht strikt von einer Phasen\u00e4nderung zu trennen. Vielmehr existiere insoweit, wie sich aus den Ausf\u00fchrungen ihres Privatgutachters B. ergebe, eine Schnittmenge. Insbesondere verstehe der Fachmann eine Phasen\u00e4nderung nicht stets dergestalt, dass diese eine chemische Ver\u00e4nderung des Stoffes ausschlie\u00dfe. Vor diesem Hintergrund sei die Auffassung der Beklagten, dass das Klagegebrauchsmuster in seiner Beschreibung in Absatz [0113] strikt zwischen chemischen Ver\u00e4nderung zur Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4chenenergie einerseits und (rein physikalischen) Phasen\u00e4nderungen andererseits unterscheide, nicht haltbar. Es sei daher unsch\u00e4dlich, dass bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform das Pr\u00e4kursorgas zerfalle. Entscheidend sei, dass bei dieser infolge einer chemischen Reaktion (Zerfall des Gases) aus dem Fluid (Gas) ein Feststoff (Kohlenstoff) hervorgehe. Die Pr\u00e4kursorenschicht transformiere in eine kovalent gebundene Kohlenstofflage, wodurch das Teilchen mechanisch eingefangen werde, um es zu binden.<\/li>\n
  30. \nDas Klagegebrauchsmuster sei rechtsbest\u00e4ndig. Soweit das Landgericht den Offenbarungsgehalt der Stammanmeldung darauf verengt habe, dass diese nur eine Ver\u00e4nderung der SPM-Spitze selbst bzw. einer ihr zuzuordnenden Beschichtung lehre, \u00fcberzeuge diese rein philologische Betrachtung des Absatzes [0109] der Stammanmeldung nicht. Im \u00dcbrigen habe das Landgericht die Funktion g\u00e4nzlich au\u00dfer Acht gelassen und ihren Vortrag, dass der Fachmann ausschlie\u00dflich feste SPM-Spitze kenne, nicht ausreichend gew\u00fcrdigt. Der Gegenstand des Klagegebrauchsmusters sei auch neu und erfinderisch. Soweit sich die Beklagte in der Berufungsinstanz auf neue Entgegenhaltungen berufe, seien diese nicht ber\u00fccksichtigungsf\u00e4hig.<\/li>\n
  31. <\/li>\n
  32. \nDie Kl\u00e4gerin beantragt (vgl. Bl. 137-153, 948 f. eA OLG),<\/li>\n
  33. \nI. das Urteil des Landgerichts \u201eaufzuheben\u201c;
    \nII. die Beklagte zu verurteilen, es bei Meidung eines f\u00fcr jeden Fall der Zuwiderhandlung f\u00e4lligen Ordnungsgeldes von bis zu EUR 250.000,00, ersatzweise Ordnungshaft bis zu sechs Monaten, oder Ordnungshaft bis zu sechs Monaten, im Wiederholungsfalle Ordnungshaft bis zu zwei Jahren, bei der Beklagten zu vollstrecken an ihren jeweiligen Gesch\u00e4ftsf\u00fchrern, zu unterlassen,
    \n1.
    \na. Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung umfasst:
    \neine Substrathalteanordnung, die eine Halterung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten, umfasst;
    \neine Spitzenhalteanordnung, die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) umfasst, wobei die SPM-Spitze \u00fcber einen Spitzencantilever mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist;
    \nwobei die Substrathalteanordnung und die Spitzenhalteanordnung von einer Basis gehalten werden und die Spitzenb\u00fchnenanordnung daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zu der Basis zu bewegen, um die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen zu positionieren, w\u00e4hrend sich das Teilchen auf dem Substrat befindet;
    \nMittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze, wobei die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze daf\u00fcr ausgelegt sind, das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze zu \u00fcbertragen und eine externe Energiequelle umfassen, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden, und wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen;
    \neine Strahlungsquelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen auf der SPM-Spitze mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor, der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor, das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens auf der SPM-Spitze zu identifizieren,
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage der Anspr\u00fcche 1, 2, 17,
    \n21 und 22 von DE X U1 –<\/li>\n
  34. \ninsbesondere, wenn die Vorrichtung zus\u00e4tzlich umfasst
    \n– ein Aktuatorsystem, das daf\u00fcr ausgelegt ist, eine Relativbewegung zwischen der SPM-Spitze und mind. einem von der Strahlungsquelle und dem Strahlungsdetektor zu bewirken, wobei die Steuerung funktionell mit dem Aktuatorsystem gekoppelt ist;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des Anspruchs 3
    \nvon DE X U1 –<\/li>\n
  35. \nund\/oder<\/li>\n
  36. \nb. ein Teilchensammel- und Metrologiesystem, umfassend:
    \neine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze);
    \neine B\u00fchne, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten;
    \nein Aktuatorsystem, das funktionell mit mindestens einem von der B\u00fchne und der SPM-Spitze gekoppelt ist, wobei das Aktuatorsystem daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zu der B\u00fchne zu bewegen;
    \neine Strahlungsquelle in optischer Kommunikation mit einem Messort, der auf zumindest einem Teil der SPM-Spitze angeordnet ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor in optischer Kommunikation mit dem Messort, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die funktionell mit dem Aktuatorsystem, der Strahlungsquelle und dem Strahlungsdetektor gekoppelt ist, wobei die Steuerung f\u00fcr Folgendes ausgelegt ist:
    \nBewegen der SPM-Spitze von einem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem
    \nMessort;
    \nVerursachen einer ersten Probenstrahlung durch Bestrahlen des Messorts mit einer ersten einfallenden Strahlung von der Strahlungsquelle,
    \nEmpfangen eines ersten Signals von dem Strahlungsdetektor, das auf eine Antwort des Strahlungsdetektors auf die erste Probenstrahlung von dem Messort hinweist; und
    \nAnalysieren des ersten Signals und Identifizieren von einer oder mehreren Materialeigenschaften eines Teilchens auf der SPM-Spitze,
    \nwobei die Steuerung au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt ist, vor dem Bewegen der SPM-Spitze von dem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort die SPM-Spitze
    \nbenachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat zu positionieren, und das Teilchensammel- und Metrologiesystem eine externe Energiequelle umfasst, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden, wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen,
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage der Anspr\u00fcche 23, 24,
    \n26, 27, 31 und 34 von DE X U1 –<\/li>\n
  37. \ninsbesondere, wenn
    \n– die Steuerung au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt ist, vor dem Bewegen der SPM-Spitze von dem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort die SPM-Spitze gegen das Substrat zu kontaktieren und die SPM-Spitze relativ zu dem Substrat zu bewegen, sodass das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze \u00fcbertragen wird,
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des Anspruch 25 von
    \nDE X U1 –<\/li>\n
  38. \nund\/oder<\/li>\n
  39. \nc. Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung umfasst:
    \neine Substrathalteanordnung, die eine Halterung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten, umfasst;
    \neine Spitzenhalteanordnung, die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) umfasst, die \u00fcber einen Spitzencantilever mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist;
    \nwobei die Substrathalteanordnung und die Spitzenhalteanordnung von einer Basis gehalten werden;
    \nMittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat, das von der Halterung gehalten wird, unter Verwendung der SPM-Spitze, die daf\u00fcr ausgelegt sind, die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat zu positionieren und eine externe Energiequelle umfassen, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden, wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen;
    \neine Strahlungsquelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor, der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor, das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens zu identifizieren.
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des erg\u00e4nzten Anspruchs 35
    \nvon DE X U1 \u2013<\/li>\n
  40. \n2.
    \nhilfsweise zu Ziff. II.1. a., b. und c. [\u201eHilfsantrag 1\u201c]:
    \na. Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung umfasst:
    \neine Substrathalteanordnung, die eine Halterung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten, umfasst;
    \neine Spitzenhalteanordnung, die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) umfasst, wobei die SPM-Spitze \u00fcber einen Spitzencantilever mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist;
    \nwobei die Substrathalteanordnung und die Spitzenhalteanordnung von einer Basis gehalten werden und die Spitzenb\u00fchnenanordnung daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zu der Basis zu bewegen, um die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen zu positionieren, w\u00e4hrend sich das Teilchen auf dem Substrat befindet;
    \nMittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze, wobei die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze daf\u00fcr ausgelegt sind, das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze zu \u00fcbertragen und eine externe Energiequelle umfassen, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu katalysieren, um das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu umgeben und es mechanisch einzufangen um es zu binden, und wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen;
    \neine Strahlungsquelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen auf der SPM-Spitze mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor, der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor, das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens auf der SPM-Spitze zu identifizieren,
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage der Anspr\u00fcche 1, 2, 17,
    \n21 und 22 von DE U1 –<\/li>\n
  41. \ninsbesondere, wenn die Vorrichtung zus\u00e4tzlich umfasst
    \n– ein Aktuatorsystem, das daf\u00fcr ausgelegt ist, eine Relativbewegung zwischen der SPM-Spitze und mind. einem von der Strahlungsquelle und dem Strahlungsdetektor zu bewirken, wobei die Steuerung funktionell mit dem Aktuatorsystem gekoppelt ist;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des Anspruchs 3
    \nvon DE X1 U1 –<\/li>\n
  42. \nund\/oder<\/li>\n
  43. \nb. ein Teilchensammel- und Metrologiesystem, umfassend:
    \neine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze);
    \neine B\u00fchne, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten;
    \nein Aktuatorsystem, das funktionell mit mindestens einem von der B\u00fchne und der SPM-Spitze gekoppelt ist, wobei das Aktuatorsystem daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zu der B\u00fchne zu bewegen;
    \neine Strahlungsquelle in optischer Kommunikation mit einem Messort, der auf zumindest einem Teil der SPM-Spitze angeordnet ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor in optischer Kommunikation mit dem Messort, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die funktionell mit dem Aktuatorsystem, der Strahlungsquelle und dem Strahlungsdetektor gekoppelt ist, wobei die Steuerung f\u00fcr Folgendes ausgelegt ist:
    \nBewegen der SPM-Spitze von einem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort;
    \nVerursachen einer ersten Probenstrahlung durch Bestrahlen des Messorts mit einer ersten einfallenden Strahlung von der Strahlungsquelle,
    \nEmpfangen eines ersten Signals von dem Strahlungsdetektor, das auf eine Antwort des Strahlungsdetektors auf die erste Probenstrahlung von dem Messort hinweist; und
    \nAnalysieren des ersten Signals und Identifizieren von einer oder mehreren Materialeigenschaften eines Teilchens auf der SPM-Spitze,
    \nwobei die Steuerung au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt ist, vor dem Bewegen der SPM-Spitze von dem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat zu positionieren, und das Teilchensammel- und Metrologiesystem eine externe Energiequelle umfasst, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden, wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen,
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage der Anspr\u00fcche 23, 24,
    \n26, 27, 31 und 34 von DE X U1 –<\/li>\n
  44. \ninsbesondere, wenn
    \n– die Steuerung au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt ist, vor dem Bewegen der SPM-Spitze von dem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort die SPM-Spitze gegen das Substrat zu kontaktieren und die SPM-Spitze relativ zu dem Substrat zu bewegen, sodass das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze \u00fcbertragen wird,
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des Anspruch 25 von
    \nDE X U1 –<\/li>\n
  45. \nund\/oder<\/li>\n
  46. \nc. Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung umfasst:
    \neine Substrathalteanordnung, die eine Halterung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten, umfasst;
    \neine Spitzenhalteanordnung, die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) umfasst, die \u00fcber einen Spitzencantilever mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist;
    \nwobei die Substrathalteanordnung und die Spitzenhalteanordnung von einer Basis gehalten werden;
    \nMittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat, das von der Halterung gehalten wird, unter Verwendung der SPM-Spitze, die daf\u00fcr ausgelegt sind, die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat zu positionieren und eine externe Energiequelle umfassen, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden, wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen;
    \neine Strahlungsquelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor, der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor, das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens zu identifizieren.
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des erg\u00e4nzten Anspruchs 35
    \nvon DE\u00a0 U1 \u2013<\/li>\n
  47. \n3.
    \nhilfsweise zu Ziff. II. 2. a., b. und c. [\u201eHilfsantrag 2\u201c]:
    \na. Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung umfasst:
    \neine Substrathalteanordnung, die eine Halterung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten, umfasst;
    \neine Spitzenhalteanordnung, die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) umfasst, wobei die SPM-Spitze \u00fcber einen Spitzencantilever mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist;
    \nwobei die Substrathalteanordnung und die Spitzenhalteanordnung von einer Basis gehalten werden und die Spitzenb\u00fchnenanordnung daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zu der Basis zu bewegen, um die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen zu positionieren, w\u00e4hrend sich das Teilchen auf dem Substrat befindet;
    \nMittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze, wobei die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze daf\u00fcr ausgelegt sind, das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze zu \u00fcbertragen und eine externe Energiequelle umfassen, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung einer zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung der SPM-Spitze von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper zu katalysieren, um das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden, und wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen;
    \neine Strahlungsquelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen auf der SPM-Spitze mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor, der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor, das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens auf der SPM-Spitze zu identifizieren,
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage der Anspr\u00fcche 1, 2, 17,
    \n21 und 22 von DE X U1 \u2013<\/li>\n
  48. \ninsbesondere, wenn die Vorrichtung zus\u00e4tzlich umfasst
    \n– ein Aktuatorsystem, das daf\u00fcr ausgelegt ist, eine Relativbewegung zwischen der SPM-Spitze und mind. einem von der Strahlungsquelle und dem Strahlungsdetektor zu bewirken, wobei die Steuerung funktionell mit dem Aktuatorsystem gekoppelt ist;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des Anspruchs 3
    \nvon DE X U1 –<\/li>\n
  49. \nund\/oder<\/li>\n
  50. \nb. ein Teilchensammel- und Metrologiesystem, umfassend:
    \neine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze);
    \neine B\u00fchne, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten;<\/li>\n
  51. \nein Aktuatorsystem, das funktionell mit mindestens einem von der B\u00fchne und der SPM-Spitze gekoppelt ist, wobei das Aktuatorsystem daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zu der B\u00fchne zu bewegen;
    \neine Strahlungsquelle in optischer Kommunikation mit einem Messort, der auf zumindest einem Teil der SPM-Spitze angeordnet ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor in optischer Kommunikation mit dem Messort, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die funktionell mit dem Aktuatorsystem, der Strahlungsquelle und dem Strahlungsdetektor gekoppelt ist, wobei die Steuerung f\u00fcr Folgendes ausgelegt ist:
    \nBewegen der SPM-Spitze von einem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort;
    \nVerursachen einer ersten Probenstrahlung durch Bestrahlen des Messorts mit einer ersten einfallenden Strahlung von der Strahlungsquelle,
    \nEmpfangen eines ersten Signals von dem Strahlungsdetektor, das auf eine Antwort des Strahlungsdetektors auf die erste Probenstrahlung von dem Messort hinweist; und
    \nAnalysieren des ersten Signals und Identifizieren von einer oder mehreren Materialeigenschaften eines Teilchens auf der SPM-Spitze,
    \nwobei die Steuerung au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt ist, vor dem Bewegen der SPM-Spitze von dem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat zu positionieren, und das Teilchensammel- und Metrologiesystem eine externe Energiequelle umfasst, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung einer zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung der SPM-Spitze von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden, wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen,
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage der Anspr\u00fcche 23, 24,
    \n26, 27, 31 und 34 von DE X U1 –<\/li>\n
  52. \ninsbesondere, wenn
    \n– die Steuerung au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt ist, vor dem Bewegen der SPM-Spitze von dem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort die SPM-Spitze gegen das Substrat zu kontaktieren und die SPM-Spitze relativ zu dem Substrat zu bewegen, sodass das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze \u00fcbertragen wird,
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des Anspruch 25 von
    \nDE X U1 –<\/li>\n
  53. \nund\/oder<\/li>\n
  54. \nc. Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung umfasst:
    \neine Substrathalteanordnung, die eine Halterung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten, umfasst;
    \neine Spitzenhalteanordnung, die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) umfasst, die \u00fcber einen Spitzencantilever mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist;
    \nwobei die Substrathalteanordnung und die Spitzenhalteanordnung von einer Basis gehalten werden;
    \nMittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat, das von der Halterung gehalten wird, unter Verwendung der SPM-Spitze, die daf\u00fcr ausgelegt sind, die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat zu positionieren und eine externe Energiequelle umfassen, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung einer zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung der SPM-Spitze von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden, wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen;
    \neine Strahlungsquelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor, der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor, das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens zu identifizieren.
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des erg\u00e4nzten Anspruchs 35
    \nvon DE X U1 \u2013<\/li>\n
  55. \n4.
    \nhilfsweise zu Ziff. II. 3. a., b. und c. [\u201eHilfsantrag 3\u201c]:
    \na. Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung umfasst:
    \neine Substrathalteanordnung, die eine Halterung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten, umfasst;
    \neine Spitzenhalteanordnung, die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) umfasst, wobei die SPM-Spitze \u00fcber einen Spitzencantilever mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist;
    \nwobei die Substrathalteanordnung und die Spitzenhalteanordnung von einer Basis gehalten werden und die Spitzenb\u00fchnenanordnung daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zu der Basis zu bewegen, um die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen zu positionieren, w\u00e4hrend sich das Teilchen auf dem Substrat befindet;
    \nMittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze, wobei die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze daf\u00fcr ausgelegt sind, das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze zu \u00fcbertragen und eine externe Energiequelle umfassen, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze mechanisch einzufangen, um es zu binden, und wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen;
    \neine Strahlungsquelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen auf der SPM-Spitze mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor, der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor, das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens auf der SPM-Spitze zu identifizieren,
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage der Anspr\u00fcche 1, 2, 17,
    \n21 und 22 von DE X U1 –<\/li>\n
  56. \ninsbesondere, wenn die Vorrichtung zus\u00e4tzlich umfasst
    \n– ein Aktuatorsystem, das daf\u00fcr ausgelegt ist, eine Relativbewegung zwischen der SPM-Spitze und mind. einem von der Strahlungsquelle und dem Strahlungsdetektor zu bewirken, wobei die Steuerung funktionell mit dem Aktuatorsystem gekoppelt ist;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des Anspruchs 3
    \nvon DE X U1 –<\/li>\n
  57. \nund\/oder<\/li>\n
  58. \nb. ein Teilchensammel- und Metrologiesystem, umfassend:
    \neine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze);
    \neine B\u00fchne, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten;
    \nein Aktuatorsystem, das funktionell mit mindestens einem von der B\u00fchne und der SPM-Spitze gekoppelt ist, wobei das Aktuatorsystem daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zu der B\u00fchne zu bewegen;
    \neine Strahlungsquelle in optischer Kommunikation mit einem Messort, der auf zumindest einem Teil der SPM-Spitze angeordnet ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor in optischer Kommunikation mit dem Messort, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die funktionell mit dem Aktuatorsystem, der Strahlungsquelle und dem Strahlungsdetektor gekoppelt ist, wobei die Steuerung f\u00fcr Folgendes ausgelegt ist:
    \nBewegen der SPM-Spitze von einem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem
    \nMessort;
    \nVerursachen einer ersten Probenstrahlung durch Bestrahlen des Messorts mit einer ersten einfallenden Strahlung von der Strahlungsquelle,
    \nEmpfangen eines ersten Signals von dem Strahlungsdetektor, das auf eine Antwort des Strahlungsdetektors auf die erste Probenstrahlung von dem Messort hinweist; und
    \nAnalysieren des ersten Signals und Identifizieren von einer oder mehreren Materialeigenschaften eines Teilchens auf der SPM-Spitze,
    \nwobei die Steuerung au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt ist, vor dem Bewegen der SPM-Spitze von dem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort die SPM-Spitze
    \nbenachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat zu positionieren, und das Teilchensammel- und Metrologiesystem eine externe Energiequelle umfasst, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che mechanisch einzufangen, um es zu binden, wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen,
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage der Anspr\u00fcche 23, 24,
    \n26, 27, 31 und 34 von DE X U1 –<\/li>\n
  59. \ninsbesondere, wenn
    \n– die Steuerung au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt ist, vor dem Bewegen der SPM-Spitze von dem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort die SPM-Spitze gegen das Substrat zu kontaktieren und die SPM-Spitze relativ zu dem Substrat zu bewegen, sodass das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze \u00fcbertragen wird,
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des Anspruch 25 von
    \nDE X U1 –<\/li>\n
  60. \nund\/oder<\/li>\n
  61. \nc. Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung umfasst:
    \neine Substrathalteanordnung, die eine Halterung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten, umfasst;
    \neine Spitzenhalteanordnung, die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) umfasst, die \u00fcber einen Spitzencantilever mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist;
    \nwobei die Substrathalteanordnung und die Spitzenhalteanordnung von einer Basis gehalten werden;
    \nMittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat, das von der Halterung gehalten wird, unter Verwendung der SPM-Spitze, die daf\u00fcr ausgelegt sind, die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat zu positionieren und eine externe Energiequelle umfassen, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che mechanisch einzufangen, um es zu binden, wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen;
    \neine Strahlungsquelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor, der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor, das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens zu identifizieren.
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des erg\u00e4nzten Anspruchs 35
    \nvon DE X U1 \u2013<\/li>\n
  62. \n5.
    \nhilfsweise zu Ziff. II. 4. a., b. und c. [\u201eHilfsantrag 4\u201c]:
    \na. Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung umfasst:
    \neine Substrathalteanordnung, die eine Halterung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten, umfasst;
    \neine Spitzenhalteanordnung, die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) umfasst, wobei die SPM-Spitze \u00fcber einen Spitzencantilever mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist;
    \nwobei die Substrathalteanordnung und die Spitzenhalteanordnung von einer Basis gehalten werden und die Spitzenb\u00fchnenanordnung daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zu der Basis zu bewegen, um die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen zu positionieren, w\u00e4hrend sich das Teilchen auf dem Substrat befindet;
    \nMittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze, wobei die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze daf\u00fcr ausgelegt sind, das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze zu \u00fcbertragen und eine externe Energiequelle umfassen, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu katalysieren, um das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze mechanisch einzufangen um es zu binden, und wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen;
    \neine Strahlungsquelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen auf der SPM-Spitze mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor, der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor, das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens auf der SPM-Spitze zu identifizieren,
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage der Anspr\u00fcche 1, 2, 17,
    \n21 und 22 von DE X U1 –<\/li>\n
  63. \ninsbesondere, wenn die Vorrichtung zus\u00e4tzlich umfasst
    \n– ein Aktuatorsystem, das daf\u00fcr ausgelegt ist, eine Relativbewegung zwischen der SPM-Spitze und mind. einem von der Strahlungsquelle und dem Strahlungsdetektor zu bewirken, wobei die Steuerung funktionell mit dem Aktuatorsystem gekoppelt ist;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des Anspruchs 3
    \nvon DE X U1 –<\/li>\n
  64. \nund\/oder<\/li>\n
  65. \nb. ein Teilchensammel- und Metrologiesystem, umfassend:
    \neine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze);
    \neine B\u00fchne, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten;
    \nein Aktuatorsystem, das funktionell mit mindestens einem von der B\u00fchne und der SPM-Spitze gekoppelt ist, wobei das Aktuatorsystem daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zu der B\u00fchne zu bewegen;
    \neine Strahlungsquelle in optischer Kommunikation mit einem Messort, der auf zumindest einem Teil der SPM-Spitze angeordnet ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor in optischer Kommunikation mit dem Messort, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die funktionell mit dem Aktuatorsystem, der Strahlungsquelle und dem Strahlungsdetektor gekoppelt ist, wobei die Steuerung f\u00fcr Folgendes ausgelegt ist:
    \nBewegen der SPM-Spitze von einem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort;
    \nVerursachen einer ersten Probenstrahlung durch Bestrahlen des Messorts mit einer ersten einfallenden Strahlung von der Strahlungsquelle,
    \nEmpfangen eines ersten Signals von dem Strahlungsdetektor, das auf eine Antwort des Strahlungsdetektors auf die erste Probenstrahlung von dem Messort hinweist; und
    \nAnalysieren des ersten Signals und Identifizieren von einer oder mehreren Materialeigenschaften eines Teilchens auf der SPM-Spitze,
    \nwobei die Steuerung au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt ist, vor dem Bewegen der SPM-Spitze von dem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat zu positionieren, und das Teilchensammel- und Metrologiesystem eine externe Energiequelle umfasst, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che mechanisch einzufangen, um es zu binden, wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen,
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage der Anspr\u00fcche 23, 24,
    \n26, 27, 31 und 34 von DE X U1 –<\/li>\n
  66. \ninsbesondere, wenn
    \n– die Steuerung au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt ist, vor dem Bewegen der SPM-Spitze von dem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort die SPM-Spitze gegen das Substrat zu kontaktieren und die SPM-Spitze relativ zu dem Substrat zu bewegen, sodass das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze \u00fcbertragen wird,
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des Anspruch 25 von
    \nDE X U1 –<\/li>\n
  67. \nund\/oder<\/li>\n
  68. \nc. Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung umfasst:
    \neine Substrathalteanordnung, die eine Halterung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten, umfasst;
    \neine Spitzenhalteanordnung, die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) umfasst, die \u00fcber einen Spitzencantilever mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist;
    \nwobei die Substrathalteanordnung und die Spitzenhalteanordnung von einer Basis gehalten werden;
    \nMittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat, das von der Halterung gehalten wird, unter Verwendung der SPM-Spitze, die daf\u00fcr ausgelegt sind, die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat zu positionieren und eine externe Energiequelle umfassen, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che mechanisch einzufangen, um es zu binden, wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen;
    \neine Strahlungsquelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor, der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor, das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens zu identifizieren.
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des erg\u00e4nzten Anspruchs 35
    \nvon DE X U1 \u2013<\/li>\n
  69. \n6.
    \nhilfsweise zu Ziff. II. 5. a., b. und c. [\u201eHilfsantrag 5\u201c]:
    \na. Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung umfasst:
    \neine Substrathalteanordnung, die eine Halterung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten, umfasst;
    \neine Spitzenhalteanordnung, die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) umfasst, wobei die SPM-Spitze \u00fcber einen Spitzencantilever mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist;
    \nwobei die Substrathalteanordnung und die Spitzenhalteanordnung von einer Basis gehalten werden und die Spitzenb\u00fchnenanordnung daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zu der Basis zu bewegen, um die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen zu positionieren, w\u00e4hrend sich das Teilchen auf dem Substrat befindet;
    \nMittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze, wobei die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze daf\u00fcr ausgelegt sind, das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze zu \u00fcbertragen und eine externe Energiequelle umfassen, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung einer zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung der SPM-Spitze von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper zu katalysieren, um das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze mechanisch einzufangen, um es zu binden, und wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen;
    \neine Strahlungsquelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen auf der SPM-Spitze mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor, der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor, das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens auf der SPM-Spitze zu identifizieren,
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage der Anspr\u00fcche 1, 2, 17,
    \n21 und 22 von DE X U1 \u2013<\/li>\n
  70. \ninsbesondere, wenn die Vorrichtung zus\u00e4tzlich umfasst
    \n– ein Aktuatorsystem, das daf\u00fcr ausgelegt ist, eine Relativbewegung zwischen der SPM-Spitze und mind. einem von der Strahlungsquelle und dem Strahlungsdetektor zu bewirken, wobei die Steuerung funktionell mit dem Aktuatorsystem gekoppelt ist;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des Anspruchs 3
    \nvon DE X –<\/li>\n
  71. \nund\/oder<\/li>\n
  72. \nb. ein Teilchensammel- und Metrologiesystem, umfassend:
    \neine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze);
    \neine B\u00fchne, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten;
    \nein Aktuatorsystem, das funktionell mit mindestens einem von der B\u00fchne und der SPM-Spitze gekoppelt ist, wobei das Aktuatorsystem daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zu der B\u00fchne zu bewegen;
    \neine Strahlungsquelle in optischer Kommunikation mit einem Messort, der auf zumindest einem Teil der SPM-Spitze angeordnet ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor in optischer Kommunikation mit dem Messort, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die funktionell mit dem Aktuatorsystem, der Strahlungsquelle und dem Strahlungsdetektor gekoppelt ist, wobei die Steuerung f\u00fcr Folgendes ausgelegt ist:
    \nBewegen der SPM-Spitze von einem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort;
    \nVerursachen einer ersten Probenstrahlung durch Bestrahlen des Messorts mit einer ersten einfallenden Strahlung von der Strahlungsquelle,
    \nEmpfangen eines ersten Signals von dem Strahlungsdetektor, das auf eine Antwort des Strahlungsdetektors auf die erste Probenstrahlung von dem Messort hinweist; und
    \nAnalysieren des ersten Signals und Identifizieren von einer oder mehreren Materialeigenschaften eines Teilchens auf der SPM-Spitze,
    \nwobei die Steuerung au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt ist, vor dem Bewegen der SPM-Spitze von dem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat zu positionieren, und das Teilchensammel- und Metrologiesystem eine externe Energiequelle umfasst, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung einer zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung der SPM-Spitze von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che mechanisch einzufangen, um es zu binden, wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen,
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage der Anspr\u00fcche 23, 24,
    \n26, 27, 31 und 34 von DE X –<\/li>\n
  73. \ninsbesondere, wenn
    \n– die Steuerung au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt ist, vor dem Bewegen der SPM-Spitze von dem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort die SPM-Spitze gegen das Substrat zu kontaktieren und die SPM-Spitze relativ zu dem Substrat zu bewegen, sodass das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze \u00fcbertragen wird,
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des Anspruch 25 von
    \nDE X U1 –<\/li>\n
  74. \nund\/oder<\/li>\n
  75. \nc. Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung umfasst:
    \neine Substrathalteanordnung, die eine Halterung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat zu halten, umfasst;
    \neine Spitzenhalteanordnung, die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) umfasst, die \u00fcber einen Spitzencantilever mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist;
    \nwobei die Substrathalteanordnung und die Spitzenhalteanordnung von einer Basis gehalten werden;
    \nMittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat, das von der Halterung gehalten wird, unter Verwendung der SPM-Spitze, die daf\u00fcr ausgelegt sind, die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat zu positionieren und eine externe Energiequelle umfassen, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung einer zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung der SPM-Spitze von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che mechanisch einzufangen, um es zu binden, wobei die externe Energiequelle daf\u00fcr ausgelegt ist, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen;
    \neine Strahlungsquelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist, wobei die Strahlungsquelle eine Elektronenstrahlquelle umfasst;
    \neinen Strahlungsdetektor, der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren, wobei der Strahlungsdetektor einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor umfasst; und
    \neine Steuerung, die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor, das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens zu identifizieren.
    \nin der Bundesrepublik Deutschland herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen, zu gebrauchen, und\/oder zu den vorgenannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;
    \n– Modifizierter Anspruch auf Grundlage des erg\u00e4nzten Anspruchs 35
    \nvon DE X U1 \u2013<\/li>\n
  76. \nIII. die Beklagte zu verurteilen, der Kl\u00e4gerin in einem geordneten Verzeichnis dar\u00fcber Auskunft zu erteilen, in welchem Umfang die Beklagte die zu Ziffer II. bezeichneten Handlungen seit dem 14.02.2021 begangen hat, und zwar unter Angabe
    \na) der Namen und Anschriften der Hersteller, Lieferanten und anderer Vorbesitzer,
    \nb) der Namen und Anschriften der gewerblichen Abnehmer sowie der Verkaufsstellen f\u00fcr die die Erzeugnisse bestimmt waren,
    \nc) der Menge der ausgelieferten, erhaltenen und\/oder bestellten Erzeugnisse sowie der Preise, die f\u00fcr die betreffenden Erzeugnisse bezahlt wurden;
    \nwobei zum Nachweis der Angaben die entsprechenden Kaufbelege (n\u00e4mlich Rechnungen, hilfsweise Lieferscheine) in Kopie vorzulegen sind, wobei geheimhaltungsbed\u00fcrfte Details au\u00dferhalb der auskunftspflichtigen Daten geschw\u00e4rzt werden d\u00fcrfen;
    \nIV. die Beklagte zu verurteilen, der Kl\u00e4gerin in einem geordneten Verzeichnis dar\u00fcber Rechnung zu legen, in welchem Umfang die Beklagte die zu Ziffer II. bezeichneten Handlungen seit dem 14.02.2021 begangen hat, und zwar unter Angabe
    \na) der einzelnen Lieferungen, aufgeschl\u00fcsselt nach Liefermengen, -zeiten,\u00a0 preisen und Typenbezeichnungen sowie Namen und Anschriften der gewerblichen Abnehmer,
    \nb) der einzelnen Angebote, aufgeschl\u00fcsselt nach Angebotsmengen, -zeiten, -preisen und Typenbezeichnungen sowie den Namen und Anschriften der gewerblichen Angebotsempf\u00e4nger,
    \nc) der betriebenen Werbung, aufgeschl\u00fcsselt nach Werbetr\u00e4gern, deren Auflagenh\u00f6he, Verbreitungszeitraum und Verbreitungsgebiet,
    \nd) der nach den einzelnen Kostenfaktoren aufgeschl\u00fcsselten Gestehungskosten und des erzielten Gewinns,
    \nwobei der Beklagten vorbehalten bleibt, die Namen und Anschriften der nicht gewerblichen Abnehmer und der Angebotsempf\u00e4nger statt der Kl\u00e4gerin einem von der Kl\u00e4gerin zu bezeichnenden, ihr gegen\u00fcber zur Verschwiegenheit verpflichteten, in der Bundesrepublik Deutschland ans\u00e4ssigen, vereidigten Wirtschaftspr\u00fcfer mitzuteilen, sofern die Beklagte dessen Kosten tr\u00e4gt und ihn erm\u00e4chtigt und verpflichtet, der Kl\u00e4gerin auf konkrete Anfrage mitzuteilen, ob ein bestimmter Abnehmer oder Angebotsempf\u00e4nger in der Aufstellung enthalten ist;
    \nV. die Beklagte zu verurteilen, die im unmittelbaren oder mittelbaren Besitz oder Eigentum der Beklagten befindlichen, unter II. bezeichneten Erzeugnisse auf ihre Kosten zu vernichten oder an einen von der Kl\u00e4gerin zu benennenden Gerichtsvollzieher zum Zwecke der Vernichtung auf Kosten der Beklagten herauszugeben;
    \nVI. die Beklagte zu verurteilen, die vorstehend zu Ziffer II. bezeichneten, seit dem 14.02.2021 im Besitz Dritter befindlichen Erzeugnisse aus den Vertriebswegen zur\u00fcckzurufen, indem diejenigen Dritten, denen durch die Beklagte oder mit deren Zustimmung Besitz an den Erzeugnissen einger\u00e4umt wurde, unter Hinweis darauf, dass der Senat mit dem hiesigen Urteil auf eine Verletzung des Klagegebrauchsmusters erkannt hat, ernsthaft aufgefordert werden, die Erzeugnisse an die Beklagte zur\u00fcckzugeben, und den Dritten f\u00fcr den Fall der R\u00fcckgabe der Erzeugnisse eine R\u00fcckzahlung des gegebenenfalls bereits gezahlten Kaufpreises sowie die \u00dcbernahme der Kosten der R\u00fcckgabe zugesagt wird.
    \nVII. festzustellen, dass die Beklagte verpflichtet ist, der Kl\u00e4gerin allen Schaden zu ersetzen, der ihr durch die zu Ziffer I. bezeichneten, seit dem 14.02.2021 begangenen Handlungen entstanden ist und noch entstehen wird.<\/li>\n
  77. \nDie Beklagte beantragt,<\/li>\n
  78. \ndie Berufung zur\u00fcckzuweisen.<\/li>\n
  79. <\/li>\n
  80. \nSie tritt dem Berufungsvorbringen der Kl\u00e4gerin im Einzelnen entgegen und macht unter Wiederholung und Erg\u00e4nzung ihres erstinstanzlichen Vorbringens u.a. geltend:<\/li>\n
  81. \nDie angegriffene Ausf\u00fchrungsform sei weder im Klagegebrauchsmuster noch in der Stammanmeldung angedacht, weshalb die Antr\u00e4ge der Kl\u00e4gerin v\u00f6llig frei von der Ursprungsoffenbarung formuliert seien. Die zeige sich insbesondere darin, dass die Kl\u00e4gerin mit dem Merkmal 21* eine chemische Ver\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper geltend mache. Der Fachmann verstehe unter einer Phasen\u00e4nderung allerdings einen rein physikalischen Vorgang, der gerade keine chemische \u00c4nderung beinhalte, sondern von dieser strikt zu trennen sei. Die Phasen\u00e4nderung sei insbesondere keine Untergruppe von chemischen Ver\u00e4nderungen. Dementsprechend k\u00f6nne auch die Beschreibungsstelle des Absatzes [0113] des Klagegebrauchsmusters und des Absatzes [0109] der Stammanmeldung nur so verstanden werden, dass sich die chemischen Ver\u00e4nderungen allein auf die Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4chenenergie bez\u00f6gen, nicht hingegen auf die Phasen\u00e4nderung. Dieses Verst\u00e4ndnis werde durch die Ausf\u00fchrungen ihres Privatgutachters K. belegt. Die von der Kl\u00e4gerin angef\u00fchrten Ausnahmen seien hochspezielle Ph\u00e4nomene, die f\u00fcr den Fachmann im Rahmen der der Lehre des Klagegebrauchsmusters keine Rolle spielten. Soweit die Phasen\u00e4nderung \u2013 gem\u00e4\u00df Hilfsantr\u00e4gen 2 und 5 \u2013 eine Beschichtung betreffe, m\u00fcsse es sich hierbei um eine dauerhafte Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che handeln, die zudem als durchgehende und in sich geschlossene Fl\u00e4che ausgebildet sein m\u00fcsse.<\/li>\n
  82. \nAusgehend von dem vorstehenden Verst\u00e4ndnis verletze die angegriffene Ausf\u00fchrungsform das Klagegebrauchsmuster nicht. Die chemische Ver\u00e4nderung des Pr\u00e4kursorgases sei keine Ver\u00e4nderung der Spitze selbst, da die tempor\u00e4r angelagerten Gasmolek\u00fcle kein immanenter Bestandteil der Spitze seien und auch nicht als dauerhafte Beschichtung verstanden werden k\u00f6nnten, da ein andauernder Austausch stattfinde. Durch das Wachsen einer Kohlenstoffbr\u00fccke zwischen Spitze und Teilchen finde auch kein Einfangen \u201ean der Oberfl\u00e4che\u201c der Spitze statt, zumal der punktuelle Kontakt zur Kohlenstoffbr\u00fccke mangels hinreichenden Stoffschlusses nicht als mechanisches Einfangen verstanden werden k\u00f6nne. Vielmehr sei das Pr\u00e4kursorgas \u2013 bildlich gesprochen \u2013 ein Klebstoff, der durch den Beschuss mit Elektronen aktiviert werde.<\/li>\n
  83. \nDas Klagegebrauchsmuster sei zudem l\u00f6schungsreif. Die Stammanmeldung offenbare keine chemische Ver\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper, weshalb insoweit antrags\u00fcbergreifend eine unzul\u00e4ssige Erweiterung vorliege. Auch sei das Landgericht zutreffend davon ausgegangen, dass der Wortlaut der Beschreibungsstelle in Absatz [0109] der Stammanmeldung keine chemische Ver\u00e4nderung \u201ean der Oberfl\u00e4che\u201c offenbare. Die Merkmale 1.7* und 22* seien durch die D1 neuheitssch\u00e4dlich vorweggenommen. Es fehle weiterhin an einem erfinderischen Schritt im Hinblick auf eine Kombination der D1 und der D3 bzw. der D1 und der D4.<\/li>\n
  84. \nWegen des weiteren Sach- und Streitstandes wird auf den Inhalt der wechselseitigen Schrifts\u00e4tze der Parteien und der von ihnen vorgelegten Anlagen sowie Privatgutachten (insbesondere Privatgutachten R., Anlage B-K 27a; Privatgutachten B. (1) und (2), Anlagen B-K28 und B-K30; Privatgutachten K. (1) und (2), Anlagen B 13.1 und B 20) sowie auf den Tatbestand und die Entscheidungsgr\u00fcnde der angefochtenen Entscheidung Bezug genommen.<\/li>\n
  85. \nII.<\/li>\n
  86. \nDie zul\u00e4ssige Berufung der Kl\u00e4gerin hat keinen Erfolg.<\/li>\n
  87. \nDie angegriffene Ausf\u00fchrungsform macht von der technischen Lehre der geltend gemachten Schutzanspr\u00fcche des Klagegebrauchsmusters in der Fassung des Hauptantrags keinen Gebrauch, weshalb der Kl\u00e4gerin die geltend gemachten, auf diese Fassung gest\u00fctzten Anspr\u00fcche auf Unterlassung, Auskunft und Rechnungslegung, Vernichtung, R\u00fcckruf und Schadensersatz nicht zustehen. Das Klagebegehren ist auch nicht nach den von der Kl\u00e4gerin gestellten Hilfsantr\u00e4gen gerechtfertigt. Entweder macht die angegriffene Ausf\u00fchrungsform auch von der technischen Lehre dieser Anspruchsfassungen keinen Gebrauch oder die Kl\u00e4gerin kann aus den so formulierten Schutzanspr\u00fcchen keine Rechte herleiten, weil diese unzul\u00e4ssig erweitert sind.<\/p>\n

    A.<\/li>\n

  88. \nSoweit die Kl\u00e4gerin ihre Klage in zweiter Instanz im Hinblick auf den Hauptantrag und die Hilfsantr\u00e4ge 1, 2, 3 und 5 auf ge\u00e4nderte Schutzanspr\u00fcche st\u00fctzt, bestehen hiergegen keine Bedenken. Insbesondere liegt keine Klage\u00e4nderung nach \u00a7 264 ZPO vor. Denn trotz der Modifikation von Anspruchsmerkmalen bleibt der Klagegrund identisch, da das Begehren der Kl\u00e4gerin unver\u00e4ndert auf denselben Lebenssachverhalt und dasselbe Schutzrecht gest\u00fctzt wird. Die Kl\u00e4gerin verfolgt unver\u00e4ndert das Klageziel, der Beklagten das Anbieten, Inverkehrbringen etc. der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform wegen Verletzung desselben Gebrauchsmusters zu untersagen.<\/li>\n
  89. \nB.<\/li>\n
  90. \nDas Klagegebrauchsmuster betrifft eine Fremdk\u00f6rper- und Metrologievorrichtung und ein Teilchensammel- und Metrologiesystem. Es bezieht sich insbesondere auf Vorrichtungen und Systeme f\u00fcr die Entfernung von Fremdk\u00f6rpern w\u00e4hrend und\/oder nach Nanobearbeitungsprozessen. Au\u00dferdem k\u00f6nnen diese f\u00fcr das Entfernen von etwas beliebigem Fremden von einem Substrat angewendet werden (Absatz [0001]; die nachfolgenden Bezugnahmen betreffen jeweils die Klagegebrauchsmusterschrift, soweit nichts anderes angegeben ist).<\/li>\n
  91. \nWie die Klagegebrauchsmusterschrift in ihrer Einleitung zum technischen Hintergrund ausf\u00fchrt, beinhaltet die Nanobearbeitung definitionsgem\u00e4\u00df ein mechanisches Entfernen von Materialvolumen im Nanometerbereich, beispielsweise von einer Fotolithografiemaske, einem Halbleitersubstrat\/Wafer oder einer beliebigen Oberfl\u00e4che, auf der die Rastersondenmikroskopie (\u201escanning probe microscopy\u201c, kurz: SPM) durchgef\u00fchrt werden kann (Absatz [0002]).<\/li>\n
  92. \nEin Resultat der Nanobearbeitung ist das Erzeugen von Fremdk\u00f6rpern auf dem Substrat, insbesondere, wenn von dem Substrat Material entfernt wird. Diese Teilchen verbleiben nach Abschluss der Bearbeitung auf dem Substrat und lassen sich dort oft in Gr\u00e4ben und\/oder Hohlr\u00e4umen finden (Absatz [0005]). Dabei sind Techniken, bei denen keine Pellikel verwendet werden k\u00f6nnen, im Allgemeinen anf\u00e4llig f\u00fcr Fehler, die durch eine Verunreinigung mit Teilchen verursacht werden, und durch die die M\u00f6glichkeit, das Muster auf den Wafer zu \u00fcbertragen, blockiert wird. Hierunter fallen nach der Beschreibung des Klagegebrauchsmusters die Pr\u00e4gelithografie und die Extremultraviolettlithografie (EUV oder EUVL), bei denen es derzeit nicht m\u00f6glich sei, ein Pellikel zu verwenden, um Teilchen von der zu kopierenden Lithografiefl\u00e4che fernzuhalten (Absatz [0008]).<\/li>\n
  93. \nUm Fremdk\u00f6rper, Teilchen oder irgendetwas dem Substrat Fremdes zu entfernen, wurden \u2013 so die Klagegebrauchsmusterschrift weiter \u2013 insbesondere f\u00fcr Strukturen von Fotolithografiemasken mit hohem Aspektverh\u00e4ltnis und elektronische Schaltungen Techniken der Nassreinigung verwendet. Die hierunter fallenden chemischen Verfahren und Agitationsverfahren k\u00f6nnen jedoch sowohl Strukturen mit hohem Aspektverh\u00e4ltnis als auch Elemente f\u00fcr die optische Nahbereichskorrektur nachteilig ver\u00e4ndern oder zerst\u00f6ren (Absatz [0006]). Bei Formen und Strukturen mit hohem Aspektverh\u00e4ltnis liegt dies darin begr\u00fcndet, dass solche Formen und Strukturen definitionsgem\u00e4\u00df einen gro\u00dfen Oberfl\u00e4cheninhalt haben und deshalb thermodynamisch sehr instabil sind. Diese Formen und Strukturen sind als solche sehr anf\u00e4llig f\u00fcr eine Abl\u00f6sung und\/oder andere Arten der Zerst\u00f6rung, wenn chemische und\/oder mechanische Energie angewendet wird (Absatz [0007]).<\/li>\n
  94. \nAls anderes verf\u00fcgbares Verfahren zum Entfernen von Verunreinigungen von einem Substrat werden nach den Angaben der Klagegebrauchsmusterschrift kryogene Reinigungssysteme und -techniken verwendet. Beispielsweise kann das Substrat, das die Formen und\/oder Strukturen mit hohem Aspektverh\u00e4ltnis enth\u00e4lt, in wirksamer Weise \u201esandgestrahlt\u201c werden, wobei anstelle von Sand Kohlendioxidteilchen verwendet werden (Absatz [0009]). Allerdings k\u00f6nnen auch solche Reinigungssysteme und\u00a0 prozesse Strukturelemente mit hohem Aspektverh\u00e4ltnis in nachteiliger Weise ver\u00e4ndern oder zerst\u00f6ren. Sie beeinflussen zudem einen relativ gro\u00dfen Bereich eines Substrats, weshalb auch Bereiche des Substrats, von denen m\u00f6glicherweise keine Fremdk\u00f6rper entfernt werden m\u00fcssen, dem kryogenen Reinigungsprozess und den damit verbundenen, m\u00f6glicherweise die Strukturen zerst\u00f6renden Energien ausgesetzt sind.<\/li>\n
  95. \nVor dem geschilderten Hintergrund liegt dem Klagegebrauchsmuster die Aufgabe zugrunde, neue Vorrichtungen und Systeme zum Entfernen von Fremdk\u00f6rpern, Verunreinigungen, Teilchen oder irgendetwas Fremdem auf der Substratoberfl\u00e4che bereitzustellen, insbesondere neue Vorrichtungen und Systeme, die daf\u00fcr geeignet sind, Substrate mit Strukturen mit hohem Aspektverh\u00e4ltnis, Elemente f\u00fcr die optische Nahbereichskorrektur von Fotomasken, usw. zu reinigen, ohne solche Strukturen und\/oder Elemente im Nanobereich zu zerst\u00f6ren (Absatz [0019]).<\/li>\n
  96. \nZur L\u00f6sung dieser Problemstellung schl\u00e4gt das Klagegebrauchsmuster in dem von der Kl\u00e4gerin im Rahmen ihres Hauptantrags als Anspruch 1 geltend gemachten Schutzanspruch, der auf einer Kombination der eingetragenen Anspr\u00fcche 1, 2, 17, 21 und 22 basiert, eine Vorrichtung mit folgenden Merkmalen vor, wobei in der nachfolgenden Merkmalsgliederung ein Sternchen (*) an der Nummerierung solche Merkmale kennzeichnet, bei denen im Vergleich zu den eingetragenen Anspr\u00fcchen \u00c4nderungen vorgenommen worden sind (aus Gr\u00fcnden der \u00dcbersichtlichkeit und zur Vermeidung von Verwirrungen bel\u00e4sst es der Senat bei der Nummerierung des Landgerichts bzw. der Kl\u00e4gerin und verzichtet auf eine neue \u2013 fortlaufende \u2013 Nummerierung):<\/li>\n
  97. \n1.1 Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung (200) zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung (200) umfasst:<\/li>\n
  98. \n2.1 eine Substrathalteanordnung (102), die eine Halterung (108), die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat (18) zu halten, umfasst;<\/li>\n
  99. \n2.2* eine Spitzenhalteanordnung (104), die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) (12) umfasst, wobei die SPM-Spitze (12) \u00fcber einen Spitzencantilever (132) mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung (130) gekoppelt ist;<\/li>\n
  100. \n2.3 die Substrathalteanordnung (102) und die Spitzenhalteanordnung (104) werden von einer Basis (106) gehalten;<\/li>\n
  101. \n1.7* die Spitzenb\u00fchnenanordnung (130) ist daf\u00fcr ausgelegt, die SPM-Spitze (12) relativ zu der Basis (106) zu bewegen, um die SPM-Spitze (12) benachbart zu dem Teilchen zu positionieren, w\u00e4hrend sich das Teilchen auf dem Substrat befindet;<\/li>\n
  102. \n1.2* Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze (12);<\/li>\n
  103. \n2.4* die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze (12) sind daf\u00fcr ausgelegt, das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze zu \u00fcbertragen;<\/li>\n
  104. \n21.* die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze (12) umfassen eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  105. \n22. die externe Energiequelle ist daf\u00fcr ausgelegt, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen;<\/li>\n
  106. \n1.3 eine Strahlungsquelle (204), die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen auf der SPM-Spitze (12) mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen;<\/li>\n
  107. \n2.5 die Strahlungsquelle (204) ist daf\u00fcr ausgelegt, das Teilchen auf der SPM-Spitze (12) mit der ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen, w\u00e4hrend die SPM-Spitze (12) mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung (130) gekoppelt ist;<\/li>\n
  108. \n17.1 die Strahlungsquelle (204) umfasst eine Elektronenstrahlquelle;<\/li>\n
  109. \n1.4 einen Strahlungsdetektor (206), der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren;<\/li>\n
  110. \n17.2 der Strahlungsdetektor (206) umfasst einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor;<\/li>\n
  111. \n1.5 eine Steuerung (136), die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor (206), das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens auf der SPM-Spitze (12) zu identifizieren.<\/li>\n
  112. \nDer ferner geltend gemachte Schutzanspruch 17 basiert auf einer Kombination der eingetragenen Schutzanspr\u00fcche 23, 24, 26, 27, 31 und 34 und schl\u00e4gt die Kombination folgender Merkmale vor:<\/li>\n
  113. \n23.1 Teilchensammel- und Metrologiesystem (200), umfassend:<\/li>\n
  114. \n23.2 eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) (12);<\/li>\n
  115. \n23.3 eine B\u00fchne (110), die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat (18) zu halten;<\/li>\n
  116. \n23.4 ein Aktuatorsystem (118, 124, 126, 134), das funktionell mit mindestens einem von der B\u00fchne und der SPM-Spitze gekoppelt ist, wobei das Aktuatorsystem (118, 124, 126, 134) daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zu der B\u00fchne zu bewegen;<\/li>\n
  117. \n23.5 eine Strahlungsquelle (204) in optischer Kommunikation mit einem Messort;<\/li>\n
  118. \n24. der Messort ist auf zumindest einem Teil der SPM-Spitze (12) angeordnet;<\/li>\n
  119. \n34.1 die Strahlungsquelle (204) umfasst eine Elektronenstrahlquelle;<\/li>\n
  120. \n23.6 einen Strahlungsdetektor (206) in optischer Kommunikation mit dem Messort;<\/li>\n
  121. \n34.2 der Strahlungsdetektor (206) umfasst einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor;<\/li>\n
  122. \n23.7 eine Steuerung (136), die funktionell mit dem Aktuatorsystem (118, 124, 126, 134), der Strahlungsquelle (204) und dem Strahlungsdetektor (206) gekoppelt ist, wobei die Steuerung f\u00fcr Folgendes ausgelegt ist:<\/li>\n
  123. \n23.7.1 die SPM-Spitze (12) wird von einem Ort in der N\u00e4he des Substrats (18) zu dem Messort bewegt;<\/li>\n
  124. \n23.7.2 durch Bestrahlen des Messorts mit einer ersten einfallenden Strahlung von der Strahlungsquelle (204) wird eine erste Probenstrahlung verursacht;<\/li>\n
  125. \n23.7.3 ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor (206), das auf eine Antwort des Strahlungsdetektors (206) auf die erste Probenstrahlung von dem Messort hinweist, wird empfangen;<\/li>\n
  126. \n31.* die Steuerung (31) ist au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des einen Teilchens auf der SPM-Spitze (12) zu identifizieren;<\/li>\n
  127. \n26.1 die Steuerung (136) ist au\u00dferdem daf\u00fcr ausgelegt, vor dem Bewegen der SPM-Spitze von dem Ort in der N\u00e4he des Substrats zu dem Messort die SPM-Spitze (12) benachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat zu positionieren;<\/li>\n
  128. \n26.2* das Teilchensammel- und Metrologiesystem umfasst eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  129. \n27. die externe Energiequelle ist daf\u00fcr ausgelegt, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen.<\/li>\n
  130. \nDer au\u00dferdem geltend gemachte Anspruch 24 basiert auf dem eingetragenen Schutzanspruch 35 und schl\u00e4gt eine Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung mit folgenden Merkmalen vor:<\/li>\n
  131. \n35.1 Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung (200) zum Bestimmen einer Zusammensetzung eines Teilchens, wobei die Fremdk\u00f6rpersammel- und Metrologievorrichtung (200) umfasst:<\/li>\n
  132. \n35.2 eine Substrathalteanordnung (102), die eine Halterung (108), die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein Substrat (18) zu halten, umfasst;<\/li>\n
  133. \n35.3 eine Spitzenhalteanordnung (104), die eine Rastersondenmikroskopie-Spitze (SPM-Spitze) (12) umfasst, die \u00fcber einen Spitzencantilever (132) mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung (130) gekoppelt ist;<\/li>\n
  134. \n35.4 wobei die Substrathalteanordnung (102) und die Spitzenhalteanordnung (104) von einer Basis (106) gehalten werden;<\/li>\n
  135. \n35.5 Mittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat (18), das von der Halterung gehalten wird, unter Verwendung der SPM-Spitze (12);<\/li>\n
  136. \n35.10* die Mittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat (18) sind daf\u00fcr ausgelegt, die SPM-Spitze (12) benachbart zu dem Teilchen auf dem Substrat (18) zu positionieren;<\/li>\n
  137. \n35.11* die Mittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat (18) umfassen eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  138. \n35.12* die externe Energiequelle daf\u00fcr ist ausgelegt, einen geladenen Teilchenstrahl bereitzustellen;<\/li>\n
  139. \n35.6 eine Strahlungsquelle (204), die daf\u00fcr ausgelegt ist, das Teilchen mit einer ersten einfallenden Strahlung zu bestrahlen;<\/li>\n
  140. \n35.6.1 w\u00e4hrend die SPM-Spitze (12) mit der Spitzenb\u00fchnenanordnung (130) gekoppelt ist;<\/li>\n
  141. \n35.13* die Strahlungsquelle (204) umfasst eine Elektronenstrahlquelle;<\/li>\n
  142. \n35.7 einen Strahlungsdetektor (206), der daf\u00fcr ausgelegt ist, eine erste Probenstrahlung von dem Teilchen, die von der ersten einfallenden Strahlung verursacht wird, zu detektieren;<\/li>\n
  143. \n35.14* der Strahlungsdetektor (206) umfasst einen R\u00f6ntgenstrahlungsdetektor;<\/li>\n
  144. \n35.8 eine Steuerung (136), die daf\u00fcr ausgelegt ist, ein erstes Signal von dem Strahlungsdetektor (206), das eine Antwort auf die erste Probenstrahlung ist, zu empfangen, das erste Signal zu analysieren und eine oder mehrere Materialeigenschaften des Teilchens zu identifizieren.<\/li>\n
  145. \nDie von der Kl\u00e4gerin mit ihren Hilfsantr\u00e4gen 1 und 2 geltenden gemachten Fassungen der Schutzanspr\u00fcche 1, 17 und 24 sehen \u00c4nderungen bei den Merkmalen 21*, 26.2* und 35.11* dergestalt vor, dass es dort anstelle \u201eder (Spitzen)Oberfl\u00e4che\u201c jeweils \u201ean der (Spitzen)Oberfl\u00e4che\u201c hei\u00dft (Hilfsantrag 1) bzw. stattdessen auf \u201eeine zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung\u201c abgestellt wird (Hilfsantrag 2). Die betreffenden Merkmale lauten gem\u00e4\u00df Hilfsantrag 1<\/li>\n
  146. \n21.* die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze (12) umfassen eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu katalysieren, um das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  147. \n26.2* das Teilchensammel- und Metrologiesystem umfasst eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  148. \n35.11* die Mittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat (18) umfassen eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  149. \nund gem\u00e4\u00df Hilfsantrag 2<\/li>\n
  150. \n21.* die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze (12) umfassen eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung einer zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung der SPM-Spitze von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper zu katalysieren, um das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  151. \n26.2* das Teilchensammel- und Metrologiesystem umfasst eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung einer zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung der SPM-Spitze von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  152. \n35.11* die Mittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat (18) umfassen eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung einer zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung der SPM-Spitze von einem Fluid zu einem zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden.<\/li>\n
  153. \nDie ferner als Hilfsanspr\u00fcche 3, 4 und 5 geltend gemachten Fassungen der Anspr\u00fcche 1, 17 und 24 entsprechen dem Hauptantrag und den Hilfsantr\u00e4gen 1 und 2 mit der Ma\u00dfgabe, dass jeweils die W\u00f6rter \u201ezu umgeben und es\u201c in den Merkmalen 21*, 26.2* und 35.11* entfallen. Diese Merkmale lauten gem\u00e4\u00df Hilfsantrag 3<\/li>\n
  154. \n21.* die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze (12) umfassen eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  155. \n26.2* das Teilchensammel- und Metrologiesystem umfasst eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  156. \n35.11* die Mittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat (18) umfassen eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  157. \ngem\u00e4\u00df Hilfsantrag 4<\/li>\n
  158. \n21.* die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze (12) umfassen eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  159. \n26.2* das Teilchensammel- und Metrologiesystem umfasst eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  160. \n35.11* die Mittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat (18) umfassen eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  161. \nund gem\u00e4\u00df Hilfsantrag 5<\/li>\n
  162. \n21.* die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze (12) umfassen eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung einer zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung der SPM-Spitze von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper zu katalysieren, um das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  163. \n26.2* das Teilchensammel- und Metrologiesystem umfasst eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung einer zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung der SPM-Spitze von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che mechanisch einzufangen, um es zu binden;<\/li>\n
  164. \n35.11* die Mittel zum Entfernen des Teilchens von dem Substrat (18) umfassen eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, eine chemische Ver\u00e4nderung einer zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung der SPM-Spitze von einem Fluid zu einem zu katalysieren, um das Teilchen an der Spitzenoberfl\u00e4che mechanisch einzufangen, um es zu binden.<\/li>\n
  165. \nC.<\/li>\n
  166. \n1.
    \nDie Kl\u00e4gerin kann das Klagegebrauchsmuster im vorliegenden Rechtsstreit prinzipiell abweichend von den eingetragenen Schutzanspr\u00fcchen, n\u00e4mlich im Umfang der vorstehend wiedergegebenen Merkmale geltend machen. Dass sie keine neu formulierten Schutzanspr\u00fcche zur Gebrauchsmusterakte gereicht hat, ist unsch\u00e4dlich.<\/li>\n
  167. \nIn einem Verletzungsverfahren kann ein Gebrauchsmuster in einem auf das Verfahren und auf die angegriffene Ausf\u00fchrungsform zugeschnittenen Umfang geltend gemacht und verteidigt werden (vgl. BGH, GRUR 2003, 867, 868 \u2013 Momentanpol I; GRUR 2010, 904 Rn. 48 \u2013 Maschinensatz; Senat, Urt. v. 05.07.2024 \u2013 2 U 74\/23, GRUR-RS 2024, 22326 Rn. 52 \u2013 Fondant). Hintergrund ist die Befugnis der Verletzungsgerichte, innerhalb eines ausschlie\u00dflich zweiseitigen Verletzungsprozesses \u00fcber die Schutzf\u00e4higkeit eines Gebrauchsmusters zu befinden. Wer wegen Verletzung eines Gebrauchsmusters in Anspruch genommen wird, kann \u2013 anders als beim Patent \u2013 nicht nur in einem gesonderten beh\u00f6rdlichen Verfahren (\u00a7\u00a7 16 f. GebrMG), sondern auch im Verletzungsstreit geltend machen, dass Gebrauchsmusterschutz nach \u00a7 11 GebrMG durch die Eintragung nach \u00a7 13 Abs. 1 GebrMG nicht begr\u00fcndet worden ist. Dabei dient das weitgehend an das Patentnichtigkeitsverfahren angelehnte Gebrauchsmusterl\u00f6schungsverfahren \u00e4hnlich wie jenes der allgemeinverbindlichen Kl\u00e4rung der Rechtsbest\u00e4ndigkeit des Gebrauchsmusters. Mit der Berufung auf die fehlende Begr\u00fcndung von Gebrauchsmusterschutz nach \u00a7 13 Abs. 1 GebrMG im Verletzungsstreit ist dem aus dem Gebrauchsmuster in Anspruch Genommenen demgegen\u00fcber ein einfaches Mittel an die Hand gegeben, sich im Prozess unmittelbar auf einen Sachverhalt zu berufen, den er an sich auf aufwendigere Weise auch im L\u00f6schungsverfahren geltend machen k\u00f6nnte. Diese M\u00f6glichkeit dient damit allein der Verteidigung im Verletzungsrechtsstreit, anders als das L\u00f6schungsverfahren aber nicht einer \u2013 im Umfang der L\u00f6schung \u2013 allgemeinverbindlichen Kl\u00e4rung der Frage, ob und ggf. in welchem Umfang Gebrauchsmusterschutz besteht. Deshalb besteht kein Anlass und keine Notwendigkeit, die Pr\u00fcfung der Rechtsbest\u00e4ndigkeit des Gebrauchsmusters im Verletzungsstreit \u00fcber das f\u00fcr die Sachentscheidung Erforderliche hinaus auszudehnen. Es gen\u00fcgt deshalb zu pr\u00fcfen, ob sich der Gebrauchsmusterinhaber auf eine durch die ma\u00dfgebliche urspr\u00fcngliche Offenbarung gest\u00fctzte und im Rahmen der der Gebrauchsmustereintragung zu Grunde liegenden Schutzanspr\u00fcche liegende Fassung des Schutzbegehrens zur\u00fcckgezogen hat, die die angegriffene, Dritten nach \u00a7 11 Abs. 1 Satz 2 GebrMG verbotene Handlung erfasst. Dagegen besteht f\u00fcr die Entscheidung des Verletzungsstreits keine Notwendigkeit, den Gebrauchsmusterinhaber in Form einer wie auch immer gearteten, gegen\u00fcber der Allgemeinheit verbindlichen Erkl\u00e4rung darauf festzulegen, wieweit er das Gebrauchsmuster verteidigen will. Will der als Verletzer in Anspruch Genommene \u2013 etwa aus Gr\u00fcnden einer \u00fcber den Einzelfall hinausgehenden Rechtssicherheit \u2013 das erreichen, so steht es ihm frei, von sich aus das Gebrauchsmusterl\u00f6schungsverfahren zu betreiben; ist andererseits der Gebrauchsmusterinhaber daran interessiert, gegen\u00fcber der Allgemeinheit von sich aus zu erkl\u00e4ren, wieweit er das Gebrauchsmuster verteidigen will, so kann er sich hierf\u00fcr der von der Praxis entwickelten Instrumente bedienen. Ma\u00dfst\u00e4be daf\u00fcr, welche Verhaltensweisen dem Gebrauchsmusterinhaber auf die Geltendmachung mangelnder Rechtsbest\u00e4ndigkeit im Verletzungsprozess zur Verf\u00fcgung stehen, lassen sich hieraus nicht ableiten (BGH, GRUR 2003, 867, 868 \u2013 Momentanpol I; Senat, Urt. v. 05.07.2024 \u2013 2 U 74\/23, GRUR-RS 2024, 22326 Rn. 52 \u2013 Fondant).<\/li>\n
  168. \n2.
    \nIm Hinblick auf den Streit der Parteien bedarf insbesondere das Merkmal 21* des Schutzanspruchs 1 in der Fassung des Hauptantrags n\u00e4heren Erl\u00e4uterung, wobei die nachfolgenden Ausf\u00fchrungen entsprechend f\u00fcr die Merkmale 26.2* und 35.11* der ferner geltend gemachten Schutzanspr\u00fcche 17 und 24 in der Fassung des Hauptantrags gelten.<\/li>\n
  169. \na)
    \nVorab ist in diesem Zusammenhang darauf hinzuweisen, dass es bei der Auslegung des geltend gemachten Schutzanspruchs nicht auf die Frage ankommt, ob der neu formulierte Schutzanspruch eventuell unzul\u00e4ssig erweitert ist. Nach der Rechtsprechung des Bundesgerichtshofs darf ein Patentanspruch nicht \u2013 zur Vermeidung einer unzul\u00e4ssigen Erweiterung \u2013 nach Ma\u00dfgabe des urspr\u00fcnglich Offenbarten ausgelegt werden, ihm darf also nicht deshalb ein bestimmter Sinngehalt beigelegt werden, weil sein Gegenstand andernfalls gegen\u00fcber den Ursprungsunterlagen unzul\u00e4ssig erweitert w\u00e4re (BGH, GRUR 2012, 1124 Rn. 28 \u2013 Polymerschaum I; GRUR 2015, 875 Rn. 17 \u2013 Rotorelemente; OLG D\u00fcsseldorf, Urt. v. 17.10.2019 \u2013 2 U 11\/18, GRUR-RR 2020, 137 Rn. 136 \u2013 Bakterienkultivierung; Urt. v. 11.11.2021 \u2013 I-15 U 25\/20, GRUR-RS 2021, 37635 Rn. 88 \u2013 Sanit\u00e4re Einsetzeinheit; Urt. v. 24.05.2024 \u2013 I-2 U 67\/23, GRUR-RS 2024, 1618 Rn. 53 \u2013 Kinderreisesitzbasis, m.w.N.). Grundlage der Auslegung ist vielmehr allein die Patentschrift (BGH, GRUR 2004, 47 \u2013 blasenfreie Gummibahn I; GRUR 2012, 1124 Rn. 28 \u2013 Polymerschaum; OLG D\u00fcsseldorf, Urt. v. 17.10.2019 \u2013 2 U 11\/18, GRUR-RR 2020, 137 Rn. 136 \u2013 Bakterienkultivierung; Urt. v. 11.11.2021 \u2013 I-15 U 25\/20, GRUR-RS 2021, 37635 Rn. 88 \u2013 Sanit\u00e4re Einsetzeinheit; Urt. v. 25.08.2022 \u2013 I-2 U 31\/18, GRUR-RS 2022, 21391 Rn. 53 \u2013 Faserstrangherstellung; Urt. v. 24.05.2024 \u2013 I-2 U 67\/23, GRUR-RS 2024, 16189 Rn. 53 \u2013 Kinderreisesitzbasis, m.w.N.). Ein Gebrauchsmuster ist in derselben Weise wie ein Patent auszulegen (BGH, GRUR 2007, 1059 \u2013 Zerfallszeitmessger\u00e4t; Senat, Urt. v. 08.04.2021 \u2013 I-2 U 46\/20, GRUR-RS 2021, 9045 Rn. 54 \u2013 Roller; Urt. v. 18.07.2024 \u2013 I-2 U 27\/24, GRUR-RS 2024, 21335 Rn. 72 \u2013 Reinigungszentrifuge), weshalb f\u00fcr die Auslegung eines Gebrauchsmusteranspruchs nichts anderes gilt (Senat, Urt. v. 18.07.2024 \u2013 I-2 U 27\/24, GRUR-RS 2024, 21335 Rn. 72 \u2013 Reinigungszentrifuge). Wie ein Patentanspruch darf mithin auch ein Gebrauchsmusteranspruch nicht \u2013 zur Vermeidung einer unzul\u00e4ssigen Erweiterung \u2013 nach Ma\u00dfgabe des urspr\u00fcnglich Offenbarten ausgelegt werden, ihm darf also nicht deshalb ein bestimmter Sinngehalt beigelegt werden, weil sein Gegenstand anderenfalls gegen\u00fcber den Ursprungsunterlagen unzul\u00e4ssig erweitert w\u00e4re.<\/li>\n
  170. \nb)
    \nMerkmal 21* betrifft die Ausgestaltung der Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze, die gem\u00e4\u00df Merkmal 1.2* von der Fremdk\u00f6rpersammel- und Montagevorrichtung umfasst und gem\u00e4\u00df Merkmal 2.4* daf\u00fcr ausgelegt sind, das Teilchen von dem Substrat auf die SPM-Spitze zu \u00fcbertragen.<\/li>\n
  171. \naa)
    \nNach der Lehre des Klagegebrauchsmusters ist die Spitze das zentrale Bauteil, um ein Teilchen von einem Substrat zu entfernen, wobei das Klagegebrauchsmuster die Begriffe Teilchen, Fremdk\u00f6rper und Verunreinigung als austauschbar betrachtet, um etwas beliebiges Fremdes auf der Substratoberfl\u00e4che zu beschreiben (Absatz [0074]). Die Spitze ist gem\u00e4\u00df Merkmal 2.2* \u2013 in der Ausgestaltung einer Rastersondenmikroskopie-Spitze (\u201escanning probe microscopy tip\u201c, kurz: SPM-Spitze) \u2013 Bestandteil einer Spitzenhalteanordnung, die \u00fcber einen Spitzencantilever mit einer Spitzenb\u00fchnenanordnung gekoppelt ist, die gem\u00e4\u00df Merkmal 1.7* daf\u00fcr ausgelegt ist, die SPM-Spitze relativ zur Basis zu bewegen, um die SPM-Spitze benachbart zu dem Teilen zu positionieren. Im Gegensatz zu den einleitend als Stand der Technik beschriebenen und als nachteilig kritisierten Vorgehensweisen der Nassreinigung und der kryogenen Reinigung sollen die Teilchen damit \u201elokal\u201c (vgl. Abs\u00e4tze [0089], [0108]) und ohne die Gefahr von Besch\u00e4digungen am Substrat entfernt werden k\u00f6nnen. Das Klagegebrauchsmuster will sich mit dieser Technik des lokalen und zielgerichteten Aufsammelns von Fremdk\u00f6rpern von den im Stand der Technik verwendeten (gro\u00dffl\u00e4chigen) Sp\u00fcl- und Strahlmethoden abgrenzen, die den Nachteil der Gefahr von Zerst\u00f6rungen von auf dem Substrat befindlichen Strukturen mit sich bringen. Um das lokale Aufsammeln zu erm\u00f6glichen, muss die Spitze besonders ausgestaltet sein, wof\u00fcr das Klagegebrauchsmuster dem Fachmann in seiner Beschreibung eine Vielzahl von M\u00f6glichkeiten aufzeigt. Diese setzen beispielsweise auf ein mechanisches Einfangen durch an der Spitze befestige Fibrillen (vgl. z.B. Fig. 6 ff.), die vorliegend allerdings keine Rolle spielen, oder aber auf die Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4chenenergie der Spitze, wie beispielsweise in den nachfolgend eingeblendeten Figuren der Figurengruppe 1 dargestellt, die Querschnittsansichten einer Abfolge von Interaktionen gem\u00e4\u00df diesen Aspekten des Klagegebrauchsmusters zeigen (Absatz [0063]).<\/li>\n
  172. <\/li>\n
  173. \nAusweislich des Absatzes [0065] der Klagegebrauchsmusterschrift ist in diesen Figuren eine beispielhafte Vorrichtung zum Entfernen von Teilchen gezeigt. In der Ausgangssituation verunreinigt ein Teilchen (2) mit (relativ) hoher Oberfl\u00e4chenenergie ein Substrat (3) (Fig. 1A). Dieses wird im n\u00e4chsten Schritt von der Oberfl\u00e4che (6) einer Spitze (5) \u2013 die Oberfl\u00e4che ist dabei mit einer diffusiv beweglichen Beschichtung mit niedriger Oberfl\u00e4chenenergie versehen \u2013 festgehalten (Fig. 1B). Anschlie\u00dfend wird das Teilchen mechanisch in dem Material einer weichen Stelle (4) deponiert, wodurch \u2013 in diesem Ausf\u00fchrungsbeispiel \u2013 die Oberfl\u00e4che der Spitze zugleich wieder mit dem Material mit niedriger Oberfl\u00e4chenenergie beschichtet wird (Fig. 1C).<\/li>\n
  174. \nbb)
    \nGem\u00e4\u00df Merkmal 21* \u2013 in der von der Kl\u00e4gerin als Hauptantrag verfolgten Anspruchsfassung \u2013 umfassen die Mittel zum \u00dcbertragen des Teilchens auf die SPM-Spitze eine externe Energiequelle, die daf\u00fcr ausgelegt ist, \u201eeine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper)\u201c zu katalysieren. Diese Vorgabe wird durch eine (doppelte) Zweckangabe (\u201eum zu\u201c) erg\u00e4nzt, wonach die Katalyse der chemischen Ver\u00e4nderung herbeigef\u00fchrt wird, \u201eum das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden\u201c. Zweck- und Funktionsangaben in einem Sachanspruch beschr\u00e4nken dessen Gegenstand regelm\u00e4\u00dfig nicht auf den angegebenen Zweck oder die angegebene Funktion. Solche Angaben sind aber gleichwohl nicht bedeutungslos. Sie definieren \u2013 wie bei Patenten \u2013 den durch das Gebrauchsmuster gesch\u00fctzten Gegenstand regelm\u00e4\u00dfig dahin, neben der Erf\u00fcllung der weiteren r\u00e4umlich-k\u00f6rperlichen Merkmale auch so ausgebildet zu sein, dass er f\u00fcr den im Gebrauchsmusteranspruch angegebenen Zweck verwendet werden oder die angegebene Funktion erf\u00fcllen kann. Er muss mithin objektiv geeignet sein, den angegebenen Zweck oder die angegebene Funktion zu erf\u00fcllen (st. Rspr., vgl. nur BGH, GRUR 2018, 1128 Rn. 12 \u2013 Gurtstraffer; GRUR 2020, 961 Rn. 31 \u2013 FRAND-Einwand; GRUR 2021, 462 Rn. 49 \u2013 Fensterfl\u00fcgel; GRUR 2022, 982 Rn. 51 \u2013 SRS-Zuordnung).<\/li>\n
  175. \nDies vorausgeschickt bedarf es im Hinblick auf den Streit n\u00e4herer Erl\u00e4uterung, was der geltend gemachte Schutzanspruch 1 mit einer chemischen Ver\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper meint (dazu unter (1)), an welcher Stelle diese Ver\u00e4nderung anspruchsgem\u00e4\u00df stattfindet bzw. was chemisch ver\u00e4ndert wird (dazu unter (2)) und welche zeitliche Abfolge insoweit gelehrt wird (dazu unter (3)).<\/li>\n
  176. \n(1)
    \nDas Merkmal 21* des Schutzanspruchs 1 in der Fassung des Hauptantrags versteht der Fachmann dahin, dass durch die chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che eine Phasen\u00e4nderung von fl\u00fcssig zu fest herbeigef\u00fchrt wird, um das Teilchen mechanisch einzufangen und (zudem) chemisch und\/oder physikalisch zu binden, wobei das Teilchen von dem Stoff, der Gegenstand der Phasen\u00e4nderung ist, umgeben ist. Merkmal 21* differenziert damit zwischen der durch eine chemische Ver\u00e4nderung herbeigef\u00fchrten Phasen\u00e4nderung (dazu unter (1.1.)) und dem damit bezweckten Umgeben, (mechanischen) Einfangen und Binden des Teilchens (dazu unter (1.2.)).<\/li>\n
  177. \n(1.1)
    \nIm Lichte des Absatzes [0113] der Klagegebrauchsmusterschrift ist das in Rede stehende Merkmal 21* dahin auszulegen, dass die chemische Ver\u00e4nderung eine Phasen\u00e4nderung veranlasst (\u201ekatalysiert\u201c).<\/li>\n
  178. \n(1.1.1)
    \nStellt man allein auf den Anspruchswortlaut (\u201echemischen Ver\u00e4nderung [\u2026] von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper\u201c) ab, scheint der Schutzanspruch mit der geforderten Ver\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper eine \u201echemische Ver\u00e4nderung\u201c zu meinen. Die Formulierung \u201evon einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper\u201c k\u00f6nnte vom Fachmann allerdings zugleich auch als Hinweis auf eine Phasen\u00e4nderung aufgefasst werden. Unter einer Phasen\u00e4nderung versteht dieser allgemein \u2013 zumindest im Grundsatz \u2013 einen physikalischen Vorgang, bei dem sich die chemische Zusammensetzung des von der Aggregatszustands\u00e4nderung betroffenen Materials nicht ver\u00e4ndert (vgl. Privatgutachten K. (1) und (2), Anlage B 13.1, S. 7, Bl. 647 eA OLG bzw. Anlage B 20, S. 2 ff., Bl. 824 ff. eA OLG; differenzierend: Privatgutachten B. (1), Anlage B-K28, S. 9, Bl. 599 eA OLG). Stellt der Fachmann solche Erw\u00e4gungen an, k\u00f6nnte ihm das in Rede stehende Merkmal als widerspr\u00fcchlich erscheinen, da die durch die Formulierung \u201evon einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper\u201c ggf. angesprochene Phasen\u00e4nderung keine chemische Ver\u00e4nderung ist. Alternativ k\u00e4me ein Anspruchsverst\u00e4ndnis in Betracht, wonach mit der Formulierung \u201evon einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper\u201c keine Phasen\u00e4nderung im Sinne der vorstehend wiedergegebenen Definition verlangt wird, sondern es gen\u00fcgt, dass infolge einer chemischen Reaktion eines Fluids irgendein Festk\u00f6rper entsteht, ohne dass dies eine Phasen\u00e4nderung im eigentlichen Sinne sein muss.<\/li>\n
  179. \nZur Ergr\u00fcndung des technischen Sinngehalts des Merkmals 21* wird der Fachmann vor diesem Hintergrund die Gebrauchsmusterbeschreibung und die Zeichnungen heranziehen (\u00a7 12a S. 2 GebrMG). Gleiches gilt aber auch dann, wenn er den Anspruchswortlaut f\u00fcr eindeutig erachtet. Denn die Auslegung eines Patentanspruchs ist stets geboten und darf auch dann nicht unterbleiben, wenn dessen Wortlaut eindeutig zu sein scheint (siehe nur BGH, GRUR 2015, 875, 877 Rn. 16 \u2013 Rotorelemente, m.w.N.; GRUR 2021, 942 Rn. 21 \u2013 Anh\u00e4ngerkupplung II; Senat, Urt. v. 14.11.2024 \u2013 I-2 U 17\/24, GRUR-RS 2024, 33121 Rn. \u2013 Spenderteil). Die Auslegung soll nicht nur Unklarheiten beseitigen, sondern ist generell angebracht, um die unter Schutz gestellte technische Lehre in ihrem Inhalt und ihrer Reichweite zu erfassen (BGH, GRUR 2015, 875 Rn. 16 \u2013 Rotorelemente, m.w.N.). Zur Auslegung des Schutzanspruchs sind die Beschreibung und die Zeichnungen heranzuziehen. Denn die Beschreibung des Gebrauchsmusters kann \u2013 ebenso wie die Beschreibung eines Patents \u2013 Begriffe eigenst\u00e4ndig definieren und insoweit ein \u201epatenteigenes Lexikon\u201c darstellen (BGH, GRUR 1999, 909, 912 \u2013 Spannschraube; GRUR 2015, 875 Rn. 16 \u2013 Rotorelemente; GRUR 2015, 972 Rn. 22 \u2013 Kreuzgest\u00e4nge; GRUR 2016, 361 Rn. 14 \u2013 Fugenband; GRUR 2021, 942 Rn. 22 \u2013 Anh\u00e4ngerkupplung II; Senat, Urt. v. 29.02.2024 \u2013 I-2 U 6\/20, GRUR-RS 2024, 7537 Rn. 55 \u2013 Rohrbearbeitungsvorrichtung, m.w.N.).<\/li>\n
  180. \n(1.1.2)
    \nAusgangspunkt der Lehre des Klagegebrauchsmusters ist die Erkenntnis, dass die Spitze besonders ausgestaltet sein muss, damit ein Teilchen an dieser \u201ehaftet\u201c und auf diese Weise von der Substratoberfl\u00e4che entfernt werden kann. Das Klagegebrauchsmuster f\u00fchrt in diesem Zusammenhang in Absatz [0016] den Begriff der \u201eOberfl\u00e4chenenergie\u201c ein, der nach den Erl\u00e4uterungen der Gebrauchsmusterschrift verwendet wird, um auf die thermodynamischen Eigenschaften von Oberfl\u00e4chen zu verweisen, die zur Verf\u00fcgung stehen, um Arbeit auszu\u00fcben \u2013 im Rahmen des Klagegebrauchsmusters die Adh\u00e4sionsarbeit von Fremdk\u00f6rpern an Oberfl\u00e4chen des Substrats bzw. der Spitze. Eine Art, diese klassisch zu berechnen, ist dabei die Gibb’sche freie Energie. Die Anhaftung des Fremdk\u00f6rpers aufgrund unterschiedlicher Oberfl\u00e4chenenergien zwischen Spitze und Fremdk\u00f6rper wird dem Fachmann in den Abs\u00e4tzen [0065] ff. der Gebrauchsmusterbeschreibung dann n\u00e4her erl\u00e4utert, wobei diese Anhaftung \u2013 neben dem Einsammeln mittels Nanofibrillen( Borsten) (vgl. Abs\u00e4tze [0084], [0090]) \u2013 einen Schwerpunkt der Erl\u00e4uterungen der Klagegebrauchsmusterschrift darstellt. Im bereits angesprochenen Ausf\u00fchrungsbeispiel der Figurengruppe 1 wird beispielsweise die Spitze mit einer Beschichtung mit niedriger Oberfl\u00e4chenenergie versehen, um ein Teilchen mit (relativ) hoher Oberfl\u00e4chenenergie vom Substrat abzul\u00f6sen. Neben der Verwendung eines Materials mit niedriger Oberfl\u00e4chenenergie kommen nach der Gebrauchsmusterbeschreibung aber auch andere Varianten in Betracht, bei denen typischerweise ein Gradient der Oberfl\u00e4chenenergie (d. h. ein Gradient der Gibb’schen freien Energie) erzeugt wird, der das Teilchen zu der Spitze zieht und danach durch irgendeine andere Behandlung umgekehrt werden kann, um das Teilchen wieder von der Spitze zu l\u00f6sen (Absatz [0089]).<\/li>\n
  181. \nIn Absatz [0113] der Klagegebrauchsmusterbeschreibung werden verschieden Faktoren, die diesen Gradienten der Gibb’schen freien Energie beeinflussen k\u00f6nnen, benannt. Neben der Temperatur kann danach die elastische Spannung ein solcher Faktor sein, wobei das Klagegebrauchsmuster hierf\u00fcr u.a. beispielhaft auf Deformationen des Materials der Spitze (z.B. Aufrauhungen oder Nano-Borsten) zum Einfangen der Teilchen verweist. Als letzten Faktor erw\u00e4hnt die in Rede stehende Beschreibungsstelle die \u201echemische potenzielle Energie\u201c. Die Klagegebrauchsmusterschrift gibt hierzu an, dass es m\u00f6glich ist, den chemischen Zustand der Oberfl\u00e4chen der Spitze und\/oder der weichen Stelle (zum Abladen des Teilchens) zu modifizieren, um beg\u00fcnstigte chemische Reaktionen zum Verbinden des Materials der Fremdk\u00f6rper mit der Spitze (oder der weichen Stelle) zu erzeugen. Solche chemischen Bindungen k\u00f6nnen kovalenter oder ionischer Natur sein. Die Erl\u00e4uterungen in Absatz [0113] enden mit den folgenden beiden S\u00e4tzen:<\/li>\n
  182. \n\u201eChemische Ver\u00e4nderungen an der Oberfl\u00e4che der Spitze w\u00fcrden auch gezielte Ver\u00e4nderungen ihrer Oberfl\u00e4chenenergie sowie Phasen\u00e4nderungen (insbesondere von fluid zu fest) erm\u00f6glichen, die den Fremdk\u00f6rper an der Spitzenoberfl\u00e4che umgeben (um den Oberfl\u00e4cheninhalt dA zu maximieren) und ihn mechanisch einfangen k\u00f6nnen, um ihn zu binden. Diese chemischen Ver\u00e4nderungen (ob von der Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials oder irgendeiner dazwischenliegenden Beschichtung) k\u00f6nnen durch externe Energiequellen wie z. B. Hitze (Temperatur), ultraviolettes Licht und geladene Teilchenstrahlen katalysiert werden.\u201c<\/li>\n
  183. \nAus dem vorletzten Satz dieser Beschreibungsstelle geht hervor, dass chemische Ver\u00e4nderungen an der Oberfl\u00e4che der Spitze auch<\/li>\n
  184. \n– gezielte Ver\u00e4nderungen ihrer Oberfl\u00e4chenenergie sowie
    \n– Phasen\u00e4nderungen (insbesondere von fluid zu fest)<\/li>\n
  185. \nerm\u00f6glichen k\u00f6nnen. W\u00e4hrend in Absatz [0113] zuvor das Entstehen chemischer Bindungen zwischen Spitze und Fremdk\u00f6rper als gew\u00fcnschter Effekt der chemischen \u00c4nderung der Spitze beschrieben wird, werden dem Fachmann nunmehr als weitere m\u00f6gliche Effekte eine Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4chenenergie sowie eine Phasen\u00e4nderung (insbesondere von fest nach fl\u00fcssig) offenbart, also jeweils ein physikalischer Effekt. Dass es sich bei der \u00c4nderung der Oberfl\u00e4chenenergie (auch) nach dem Verst\u00e4ndnis des Klagegebrauchsmusters um einen physikalischen Effekt handelt, ergibt sich u.a. aus den einleitenden Erl\u00e4uterungen in Absatz [0016] der Klagegebrauchsmusterbeschreibung. Danach wird der Begriff der Oberfl\u00e4chenenergie in der Klagegebrauchsmusterbeschreibung n\u00e4mlich verwendet, \u201eum auf die thermodynamischen Eigenschaften von Oberfl\u00e4chen zu verweisen, die zur Verf\u00fcgung stehen, um Arbeit auszu\u00fcben (in diesem Fall die Adh\u00e4sionsarbeit von Fremdk\u00f6rpern an Oberfl\u00e4chen des Substrats bzw. der Spitze)\u201c. Absatz [0064] z\u00e4hlt zudem als Beispiele f\u00fcr eine Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4chenenergie \u201eKapillar-, Benetzungs- und\/oder Oberfl\u00e4chenspannungseffekte\u201c auf, die ebenfalls physikalische Effekte darstellen. Dass eine Phasen\u00e4nderung ebenfalls ein physikalischer Effekt ist, ist dem angesprochenen Durchschnittsfachmann aufgrund seines allgemeinen Fachwissens bekannt.<\/li>\n
  186. \nDas Klagegebrauchsmuster erl\u00e4utert in Absatz [0113] damit unterschiedliche Arten der Fremdk\u00f6rperbindung, die mittels einer chemischen Ver\u00e4nderung erreicht werden k\u00f6nnen. Zum einen sind dies chemische Bindungen, z.B. nach dem in Absatz [0113] erl\u00e4uterten Schloss und Schl\u00fcssel-Prinzip. Zum anderen sind dies physikalische Effekte, worunter das Klagegebrauchsmuster sowohl die \u00c4nderung der Oberfl\u00e4chenenergie als auch Phasen\u00e4nderungen (insbesondere von fluid zu fest) fasst. Die chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der Spitze hat danach die Funktion, die Spitze zum Festhalten des Teilchens zu ert\u00fcchtigen, wobei die angestrebte Bindung nach der Gebrauchsmusterbeschreibung mittels einer chemischen Bindung oder durch physikalische Effekte (Ver\u00e4nderung Oberfl\u00e4chenenergie, Phasen\u00e4nderung) erfolgen kann. Die chemische Ver\u00e4nderung ist daher nach der Gebrauchsmusterbeschreibung das Mittel zur Erm\u00f6glichung der Fremdk\u00f6rperbindung, die unterschiedlich ausgestaltet sein kann. Die Phasen\u00e4nderung von fluid zu fest ist damit nicht die chemische Ver\u00e4nderung an der Spitzenoberfl\u00e4che, sondern eine Folge von dieser. Die von der Beklagten vertretene Auffassung, dass in der in Rede stehenden Beschreibungsstelle strikt zwischen chemischen Ver\u00e4nderungen zur Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4chenenergie einerseits und Phasen\u00e4nderungen andererseits unterschieden wird, vermag vor diesem Hintergrund nicht zu \u00fcberzeugen.<\/li>\n
  187. \n(1.1.3)
    \nZieht der Fachmann \u2013 wie stets geboten \u2013 die Gebrauchsmusterbeschreibung zur Auslegung des Schutzanspruchs heran, erkennt er unschwer, dass das Merkmal 21* die in Absatz [0113] beschriebene chemische Ver\u00e4nderung zur Erm\u00f6glichung einer Phasen\u00e4nderung aufgreift. Er wird den Sinngehalt dieses Merkmals hiervon ausgehend dahin verstehen, dass die chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze eine Phasen\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper zum Zwecke des Umgebens und mechanischen Einfangens des Teilchens veranlassen soll. Die \u00c4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper ist demnach keine chemische Ver\u00e4nderung, was sich auch mit dem allgemeinen Fachwissen des Fachmanns deckt. Das Merkmal 21* ist im Lichte des Absatzes [0113] der Gebrauchsmusterbeschreibung vielmehr dahin zu lesen, dass die \u201echemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze eine Phasen\u00e4nderung (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper)\u201c katalysiert. Bei diesem Verst\u00e4ndnis besteht kein Widerspruch zwischen dem allgemeinen Fachverst\u00e4ndnis und dem vorletzten Satz des Absatzes [0113] der Gebrauchsmusterschrift, der \u2013 in \u00dcbereinstimmung mit dem allgemeinen Fachverst\u00e4ndnis \u2013 eine Phasen\u00e4nderung nicht als chemische Ver\u00e4nderung beschreibt, sondern als Folge einer solchen. Dass es nach dem Verst\u00e4ndnis des Fachmanns eine Schnittmenge zwischen chemischen \u00c4nderungen und \u201ePhasen\u00e4nderungen im weiteren Sinne\u201c geben mag, wie die Kl\u00e4gerin unter Bezugnahme auf die von ihr vorgelegten Privatgutachten B. (1) und (2) (vgl. Anlage B-K28, S. 9, Bl. 599 eA OLG; Anlage B-K30, S. 2 ff., Bl. 875 ff. eA OLG) geltend macht, was zwischen den Parteien allerdings im Einzelnen streitig ist (vgl. Privatgutachten K. (2), Anlage B20, S. 1 ff., Bl. 823 ff. eA OLG) und hier keiner weiteren Vertiefung bedarf, wird den Fachmann hingegen nicht veranlassen, nicht zwischen chemischer Ver\u00e4nderung und Phasen\u00e4nderung zu differenzieren. Denn solche \u00dcberschneidungen zwischen chemischen Ver\u00e4nderungen und Phasen\u00e4nderungen werden vom Klagegebrauchsmuster nicht erw\u00e4hnt, so dass der Fachmann keinen Anlass hat, der in Absatz [0113] zum Ausdruck kommenden Differenzierung zwischen der chemischen Ver\u00e4nderung und der hierdurch ausgel\u00f6sten Phasen\u00e4nderung keine Bedeutung beizumessen und diese Beschreibungsstelle bei der Auslegung des Merkmals 21* nicht zu ber\u00fccksichtigen.<\/li>\n
  188. \nVon der grunds\u00e4tzlichen Differenzierung zwischen den beiden Begrifflichkeiten (chemische Ver\u00e4nderung \/ Phasen\u00e4nderung) ist allerdings die Frage zu unterschieden, ob es eine Phasen\u00e4nderung im Sinne des Klagegebrauchsmusters stets erfordert, dass der Stoff chemisch unver\u00e4ndert bleibt oder ob auch F\u00e4lle erfasst werden, in denen die Phasen\u00e4nderung mit einer chemischen Ver\u00e4nderung einhergeht. Der Begriff der Phasen\u00e4nderung wird in der Gebrauchsmusterbeschreibung nicht n\u00e4her erl\u00e4utert. Der Fachmann wird deshalb entscheidend auf die Funktion des Merkmals 21*, dass er im Lichte des Absatzes [0113] interpretiert, abstellen und dieses funktionsorientiert auslegen. Merkmale eines Patent- oder Gebrauchsmusteranspruchs sind n\u00e4mlich grunds\u00e4tzlich entsprechend der Funktion auszulegen, die ihnen im Kontext der Erfindung zukommt (vgl. z.B. BGH, Urt. GRUR 2024, 1515 Rn. 35 \u2013 Stereofotogrammetrie; BGH, Urt. v. 09.07.2024 \u2013 X ZR 72\/22, GRUR-RS 2024, 21918 \u2013 Waage). Im Rahmen des Merkmals 21* hat die in dieses Merkmal hineinzulesende Phasen\u00e4nderung die Funktion, dass durch die Phasen\u00e4nderung eines Stoffes das Teilchen umgeben und mechanisch eingefangen und dadurch in seiner Bewegungsf\u00e4higkeit eingeschr\u00e4nkt werden soll (dazu sogleich unter (1.2)). Ausgel\u00f6st wird die Phasen\u00e4nderung durch die in Merkmal 21* angesprochene chemische Ver\u00e4nderung, damit das Umgeben und mechanische Einfangen (zeitlich und\/oder r\u00e4umlich) zielgerichtet vorgenommen werden kann, um das Teilchen gezielt mit der hierf\u00fcr positionierten Spitze aufnehmen zu k\u00f6nnen. Warum es hierf\u00fcr darauf ankommen sollte, dass sich durch die Phasen\u00e4nderung die chemische Zusammensetzung des Stoffes nicht ver\u00e4ndert, ist weder dargetan noch ersichtlich. Denkbar ist zwar, dass eine Phasen\u00e4nderung von fluid zu fest und umgekehrt vorgenommen werden soll, damit das Teilchen durch Wiederherstellung der urspr\u00fcnglichen Phase wieder von der Spitze entfernt werden kann, indem das mechanische Einfangen aufgel\u00f6st wird. Das k\u00f6nnte erfordern, dass der Stoff durch die erste Phasen\u00e4nderung chemisch nicht ver\u00e4ndert wird. Hierf\u00fcr findet der Fachmann in der Klagegebrauchsmusterschrift indes keinerlei Anhaltspunkte. Vielmehr kommt f\u00fcr die Reinigung beispielsweise auch ein mechanisches Abstreifen in Betracht, wie es in Figur 1C der Klagegebrauchsmusterschrift gezeigt wird. Angesichts dessen d\u00fcrfte der Fachmann den in Merkmal 21* hineinzulesenden Begriff der Phasen\u00e4nderung dahin verstehen, dass hierunter eine \u00c4nderung der Phase von fluid nach fest f\u00e4llt, wobei es unsch\u00e4dlich ist, wenn dadurch der Stoff zugleich auch chemisch ver\u00e4ndert wird. Mit Blick auf die angegriffene Ausf\u00fchrungsform muss diese Frage hier letztlich allerdings nicht abschlie\u00dfend entschieden werden, weil es hierauf f\u00fcr die Entscheidung des Streitfalles nicht ankommt. Insoweit kann nachfolgend zugunsten der Kl\u00e4gerin unterstellt werden, dass die Phasen\u00e4nderung gebrauchsmustergem\u00e4\u00df mit einer chemischen Ver\u00e4nderung einhergehen kann.<\/li>\n
  189. \n(1.2)
    \nDie herbeigef\u00fchrte Phasen\u00e4nderung hat nach der Lehre des Klagegebrauchsmusters den Zweck, dass das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze von dem Stoff, der Gegenstand der Phasen\u00e4nderung ist, umgeben und mechanisch eingefangen wird, um es (zudem) chemisch und\/oder physikalisch zu binden.<\/li>\n
  190. \nAusgehend von dem vorstehenden Verst\u00e4ndnis des Merkmals 21*, nach dem der Fachmann die Herbeif\u00fchrung einer Phasen\u00e4nderung mitliest, soll der Stoff, der eine Phasen\u00e4nderung von fluid zu fest erf\u00e4hrt \u2013 also das Oberfl\u00e4chenmaterial (dazu sogleich) \u2013 das Teilchen umgeben. Bei der Angabe \u201eum …\u201c handelt es sich um eine Zweckangabe, weshalb die Phasen\u00e4nderung dazu geeignet sein muss, dass das phasenge\u00e4nderte Oberfl\u00e4chenmaterial das Teilchen umgibt und mechanisch einf\u00e4ngt. Soweit der vorletzte Satz des Absatzes [0113] der Klagegebrauchsmusterschrift davon spricht, dass \u201ePhasen\u00e4nderungen\u201c den Fremdk\u00f6rper an der Spitzenoberfl\u00e4che umgeben, handelt es sich erkennbar um eine sprachliche Ungenauigkeit, da die Phasen\u00e4nderung ein physikalischer Vorgang ist, der als solcher den Fremdk\u00f6rper nicht umgeben kann, sondern nur der Stoff, der seine Phase \u00e4ndert.<\/li>\n
  191. \nEin Teilchen ist von einem solchen Stoff \u201eumgeben\u201c, wenn es durch diesen umh\u00fcllt bzw. umschlossen ist. Ein vollst\u00e4ndiges Umschlie\u00dfen ist dabei nicht erforderlich. Ein dahingehendes Erfordernis l\u00e4sst sich allein aus dem Wort \u201eumgeben\u201c nicht herleiten. Denn von einem \u201eUmgeben\u201c kann auch dann noch gesprochen werden, wenn ein K\u00f6rper im Wesentlichen bzw. zu einem Gro\u00dfteil von etwas umschlossen ist. Aus der Klagegebrauchsmusterschrift ergibt sich kein abweichendes Verst\u00e4ndnis. Daf\u00fcr, dass es auch hiernach \u201enur\u201c darauf ankommt, dass das aufzunehmende Teilchen im Wesentlichen bzw. zu einem Gro\u00dfteil umschlossen wird, spricht vielmehr Tatsache, dass sich das aufzunehmende Teilchen auf dem Substrat befindet, ggf. sogar in der Ecke eines Grabens, wie dies in der im Tatbestand eingeblendeten Figur 3 gezeigt ist. F\u00fcr ein vollst\u00e4ndiges Umschlie\u00dfen m\u00fcsste in diesem Fall das phasenge\u00e4nderte Oberfl\u00e4chenmaterial auch zwischen Teilchen und Substrat verbracht werden. Dazu, wie dies zu bewerkstelligen ist, l\u00e4sst sich der Klagegebrauchsmusterschrift nichts entnehmen, und ein solches Vorgehen wird der Fachmann auch eher als nachteilig ansehen, weil auf diese Weise ein Kontakt mit dem Substrat hergestellt werden muss, was mit der Gefahr von Besch\u00e4digungen des Substrats einhergehen k\u00f6nnte. Ein vollst\u00e4ndiges Umgeben des Teilchens ist schlie\u00dflich auch technisch nicht zwingend notwendig. Das von Schutzanspruch 1 in der Fassung des Hauptantrags ausdr\u00fccklich geforderte Umgeben soll, wie der Klammerzusatz (\u201eum den Oberfl\u00e4cheninhalt dA zu maximieren\u201c) in Absatz [0113] verdeutlicht, die Kontaktfl\u00e4che zwischen Spitze und Teilchen vergr\u00f6\u00dfern. Denn diese Kontaktfl\u00e4che kann ohne das Ergreifen zus\u00e4tzlicher Ma\u00dfnahmen sehr klein sein, wenn beispielsweise Spitze und Teilchen aus glattem Material bestehen und das Teilchen \u2013 wie in den Figuren der Klagegebrauchsmusterschrift gezeigt \u2013 eine kugelf\u00f6rmige Gestalt hat. Um dem zu begegnen, kann die Spitze \u2013 wie in Absatz [0113] beschrieben \u2013 beispielsweise aufgeraut werden, das Teilchen durch (starke) chemische Bindungen an die Spitze gebunden werden oder aber \u2013 wie in Merkmal 21* vorgesehen \u2013 das Teilchen durch einen erzeugten Feststoff umgeben und mechanisch eingefangen werden. Ein vollst\u00e4ndiges Umschlie\u00dfen ist hierf\u00fcr nicht notwendig.<\/li>\n
  192. \nGleichwohl muss der Feststoff den Fremdk\u00f6rper aber im Wesentlichen umgeben, damit \u00fcberhaupt von einer \u201eMaximierung\u201c des Oberfl\u00e4cheninhalts gesprochen werden kann. Durch den erl\u00e4uternden Hinweis in Absatz [0113] auf die Maximierung des Oberfl\u00e4cheninhalts bringt das Klagegebrauchsmuster zum Ausdruck, dass durch das Umgeben des Teilchens die Kontaktfl\u00e4che so weit wie m\u00f6glich vergr\u00f6\u00dfert werden soll. Der Fachmann wird hierunter im Zweifel eine mindestens \u00fcber eine gedachte Mittellinie des Teilchens reichende Umschlie\u00dfung verstehen, wodurch das Teilchen zugleich mechanisch eingefangen wird.<\/li>\n
  193. \n\u201eMechanisch eingefangen\u201c ist ein Teilchen, wenn dieses fixiert ist, also durch einen physischen Kontakt an einem bestimmten Ort gehalten wird, indem beispielsweise ein fl\u00fcssiges Material erstarrt und das erstarrte Material das Teilchen umgibt und festh\u00e4lt. Mechanisch eingefangen ist das Teilchen damit nur, wenn es durch einen unmittelbaren k\u00f6rperlichen Kontakt in seiner Bewegungsfreiheit eingeschr\u00e4nkt wird.<\/li>\n
  194. \nDas durch die Phasen\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che erm\u00f6glichte mechanische Einfangen beschreibt das Klagegebrauchsmuster in seinem \u2013 zur Auslegung des Schutzanspruchs 1 heranzuziehenden \u2013 Absatz [0113] dabei (nur) in Kombination mit einer Bindung. Es wird dort nicht etwa allein erl\u00e4utert, dass die Phasen\u00e4nderung es erm\u00f6glicht, den Fremdk\u00f6rper an der Spitzenoberfl\u00e4che zu umgeben und einzufangen. Vielmehr soll die Phasen\u00e4nderung das Umgeben und Einfangen des Fremdk\u00f6rpers erm\u00f6glichen, \u201eum ihn zu binden\u201c. Hieran kn\u00fcpft der ma\u00dfgebliche Schutzanspruch 1 in der Fassung des Hauptantrags an, wenn er vorgibt, dass eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) katalysiert werden soll, \u201eum das Teilchen an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze zu umgeben und es mechanisch einzufangen, um es zu binden\u201c. Das Klagegebrauchsmuster differenziert insoweit nicht nur zwischen einem Umgeben und mechanischen Einfangen einerseits und einer Bindung andererseits, sondern verkn\u00fcpft beides durch eine Zweckangabe (\u201eum zu\u201c). Der Fachmann entnimmt dem, dass die Phasen\u00e4nderung von fluid zu fest zum Umgeben und mechanischen Einfangen des Fremdk\u00f6rpers dient, der zudem gebunden wird. Da neben dem Umgeben und mechanischen Einfangen ausdr\u00fccklich eine Bindung gefordert wird (\u201eum es zu binden\u201c), muss zugleich eine Bindung erfolgen, wobei diese Bindung chemischer und\/oder physikalischer Natur sein kann. Denn der Schutzanspruch 1 spricht im Einklang mit der Gebrauchsmusterbeschreibung (Absatz [0113]) nicht von \u201ephysikalisch zu binden\u201c, sondern nur von \u201ebinden\u201c. Auch ist im Anspruch in Bezug auf das Einfangen des Teilchens von einem \u201emechanischen Einfangen\u201c und nicht etwa von einem \u201ephysikalischen Einfangen\u201c die Rede. Schutzanspruch 1 in der Fassung des Hauptantrags ist vor diesem Hintergrund unter Ber\u00fccksichtigung des Absatzes [0113] der Gebrauchsmusterbeschreibung dahin zu verstehen, dass ein durch eine Phasen\u00e4nderung von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper erm\u00f6glichtes Umgeben und Einfangen des Teilchens in Kombination mit einer chemischen und\/oder physikalischen Bindung gefordert wird, wobei der Ausl\u00f6ser f\u00fcr die Phasen\u00e4nderung eine chemische Ver\u00e4nderung ist.<\/li>\n
  195. \nMit dieser Kombination aus Umgeben und mechanischen Einfangen sowie dem Erzeugen einer Bindung will das Klagegebrauchsmuster sicherstellen, dass das Teilchen sicher vom Substrat entfernt werden kann. Durch die Vorgabe des Umgebens grenzt sich das Klagegebrauchsmuster hierbei von Methoden ab, die das Teilchen durch einen lediglich punktuellen bzw. kleinfl\u00e4chigen k\u00f6rperlichen Kontakt in seiner Bewegungsfreiheit mechanisch einschr\u00e4nken. Anspruchsgem\u00e4\u00df soll vielmehr ein Gro\u00dfteil des Teilchens umh\u00fcllt und hierdurch mechanisch eingefangen werden, so dass eine durch einen k\u00f6rperlichen Kontakt erreichte Bewegungseinschr\u00e4nkung in m\u00f6glichst viele Richtungen vorliegt. Das Umgeben gibt damit die Art des mechanischen Einfangens vor, die durch eine m\u00f6glichst gro\u00dffl\u00e4chige Umh\u00fcllung erfolgen soll, wodurch ein sicheres Einfangen des Teilchens erm\u00f6glicht wird.<\/li>\n
  196. \n(2)
    \nNach dem Wortlaut des Schutzanspruchs 1 in der Fassung des Hauptantrags soll eine chemische Ver\u00e4nderung \u201eder Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze\u201c (von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper) katalysiert werden. Das bedeutet, dass entweder das Oberfl\u00e4chenmaterial der SPM-Spitze selbst oder eine auf der Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials aufgebrachten Beschichtung chemisch ver\u00e4ndert werden soll. Die Angabe \u201eder Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze\u201c bezieht sich darauf, was chemisch ver\u00e4ndert werden soll, also auf den Gegenstand bzw. das Objekt der chemischen Ver\u00e4nderung. Dieses ist die \u201eOberfl\u00e4che der SPM-Spitze\u201c. Hiermit ist, wie sich aus der Gebrauchsmusterbeschreibung ergibt, das Oberfl\u00e4chenmaterial der SPM-Spitze oder eine auf der Oberfl\u00e4che der Spitze aufgebrachten Beschichtung gemeint. Hingegen gen\u00fcgt es nach dem Wortlaut des Schutzanspruchs 1 in der Fassung des Hauptantrags nicht, dass eine chemische Ver\u00e4nderung allein in r\u00e4umlicher N\u00e4he, also blo\u00df \u00f6rtlich \u201ean\u201c der Spitzenoberfl\u00e4che stattfindet.<\/li>\n
  197. \n(2.1)
    \nAus dem Wortlaut des Merkmals 21* in der Fassung des Hauptantrags (\u201echemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Oberfl\u00e4che\u201c) ergibt sich unmittelbar und eindeutig, dass die Spitzenoberfl\u00e4che selbst chemisch ver\u00e4ndert werden muss. Denn der Schutzanspruch 1 in der Fassung des Hauptantrags spricht ausdr\u00fccklich von einer chemischen Ver\u00e4nderung \u201eder Oberfl\u00e4che der SPM-Spritze\u201c, wohingegen im Anspruch unmittelbar im Anschluss im Hinblick auf das mechanische Einfangen des Teilchens von einem Einfangen \u201ean der Oberfl\u00e4che\u201c die Rede ist. Anspruchsgem\u00e4\u00df soll also eine chemische Ver\u00e4nderung der Spitzenoberfl\u00e4che stattfinden, um das Teilchen an \u2013 im Sinne von auf \u2013 der Oberfl\u00e4che einzufangen.<\/li>\n
  198. \nDie Heranziehung der Beschreibung des Klagegebrauchsmusters rechtfertigt keine andere Auslegung. Zwar ist im vorletzten Satz des Absatzes [0113] der Klagegebrauchsmusterschrift, der sich \u2013 wie bereits ausgef\u00fchrt \u2013 mit der Erm\u00f6glichung gezielter Ver\u00e4nderungen der Oberfl\u00e4chenenergie sowie Phasen\u00e4nderungen mittels chemischer Ver\u00e4nderungen befasst, von chemischen Ver\u00e4nderungen \u201ean der Oberfl\u00e4che der Spitze\u201c die Rede. Diese Formulierung l\u00e4sst sich bei isolierter Betrachtung dahin verstehen, dass nicht das Oberfl\u00e4chenmaterial selbst chemisch ver\u00e4ndert werden muss, sondern es vielmehr gen\u00fcgt, dass eine chemische Ver\u00e4nderung (\u00f6rtlich) an \u2013 im Sinne einer blo\u00dfen r\u00e4umlichen N\u00e4he \u2013 der Oberfl\u00e4che stattfindet. Der ma\u00dfgebliche Schutzanspruch 1 des Klagegebrauchsmusters in der Fassung des Hauptantrags verwendet diese Formulierung jedoch nicht. Er spricht ausdr\u00fccklich von einer chemischen Ver\u00e4nderung \u201eder Oberfl\u00e4che der Spitze\u201c. Den scheinbaren Widerspruch zwischen dem Anspruchswortlaut und dem vorletzten Satz des Absatzes [0113] erkl\u00e4rt sich der Fachmann damit, dass in der Gebrauchsmusterbeschreibung in dem letzten Satz des Absatzes [0113] (\u201eDiese chemischen Ver\u00e4nderungen (ob von der Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials oder irgendeiner dazwischenliegenden Beschichtung)…\u201c) weiter beschrieben wird, dass Gegenstand der chemischen Ver\u00e4nderung entweder die Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials oder eine dazwischenliegende Beschichtung ist. Mit dazwischenliegender Beschichtung ist hierbei eine Beschichtung der Spitze gemeint ist, die beispielsweise auch in den Abs\u00e4tzen [0040], [0065], [0067] ff., [0076], [0079] f.; [0083], [0087], [0102] f. erw\u00e4hnt wird und die von der in Absatz [0069] erl\u00e4uterten \u201eZwischenschicht\u201c (15) zu unterscheiden ist. Letztere Schicht liegt als weitere Schicht zwischen Spitze und Beschichtung und wird vom Klagegebrauchsmuster nicht als \u201eBeschichtung\u201c bezeichnet, da sie keine Schicht auf der Oberfl\u00e4che der Spitze darstellt. Der letzte Satz des Absatzes [0113] bezieht sich auf die in der vorangegangenen Beschreibung angesprochenen chemischen Ver\u00e4nderungen (\u201eDiese chemischen Ver\u00e4nderungen …\u201c), d.h. auf die unmittelbar zuvor im vorletzten Satz des Absatzes [0113] erw\u00e4hnten chemischen Ver\u00e4nderungen. Nach dem Klammerzusatz (\u201eob von der Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials oder irgendeiner dazwischenliegenden Beschichtung\u201c) im letzten des Absatzes [0113] beziehen sich die besagten chemischen Ver\u00e4nderungen auf die Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials oder eine dazwischenliegende Beschichtung, d.h. chemisch ver\u00e4ndert wird die Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials oder eine dazwischenliegende Beschichtung. Wenn in Schutzanspruch 1 in der Fassung des Hauptantrags von einer chemischen Ver\u00e4nderung \u201eder Oberfl\u00e4che der SPM-Oberfl\u00e4che\u201c die Rede ist, kn\u00fcpft der Anspruch mit dieser Formulierung an eben diese Definition bzw. Erl\u00e4uterung in dem letzten Satz des Absatzes [0113] an, so dass mit der vom Schutzanspruch geforderten chemischen Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Oberfl\u00e4che eine chemische Ver\u00e4nderung des Spitzen(oberfl\u00e4chen)materials selbst oder einer dazwischenliegenden Beschichtung gemeint ist. Soweit im vorletzten Satz des Absatzes [0113] von chemischen Ver\u00e4nderungen \u201ean der Oberfl\u00e4che der Spitze\u201c die Rede ist, interpretiert der Fachmann den Schutzanspruch 1 in der Fassung des Hauptantrags daher nicht etwa im Hinblick auf diese Beschreibungsstelle dahin, dass die chemische Ver\u00e4nderung blo\u00df \u00f6rtlich \u201ean\u201c der Spitzenoberfl\u00e4che stattfinden muss.<\/li>\n
  199. \nAuf den Streit der Parteien, ob mit der Formulierung \u201ean der Oberfl\u00e4che der Spitze\u201c in Absatz [0113] eine zutreffende \u00dcbersetzung der entsprechenden Beschreibungsstelle der Stammanmeldung (dort Absatz [0109]) vorgenommen wurde, kommt es im Rahmen der Auslegung des Schutzanspruchs 1 des Klagegebrauchsmusters in der Fassung des Hauptantrags nicht an, da die Stammanmeldung, aus der das Gebrauchsmuster abgezweigt wurde, nicht zu den in \u00a7 12a S. 2 GebrMG erw\u00e4hnten Auslegungsmitteln z\u00e4hlt und es bei der Auslegung nicht auf die Frage ankommt, ob der Schutzanspruch eventuell unzul\u00e4ssig erweitert ist (s.o.).<\/li>\n
  200. \nSoweit die Kl\u00e4gerin geltend macht, dass dem Fachmann nur SPM-Spitzen aus festem Material bekannt sind, f\u00fchrt dies zu keinem anderen Ergebnis. Damit mag zwar eine chemische Ver\u00e4nderung des Oberfl\u00e4chenmaterials der SPM-Spitze selbst von fluid zu fest technisch nicht m\u00f6glich sein. M\u00f6glich bleibt aber eine entsprechende chemische Ver\u00e4nderung einer auf der Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials aufgebrachten (geeigneten) Beschichtung. Dass im Schutzanspruch 1 in der Fassung des Hauptantrags nicht (nur) auf die Beschichtung, sondern \u2013 weiter \u2013 auf die Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze abgestellt wird, so dass theoretisch auch das Spitzen(oberfl\u00e4chen)material selbst Gegenstand der chemischen Ver\u00e4nderung sein kann, erkl\u00e4rt sich der Fachmann damit, dass das modifizierte Merkmal 21* auf den Absatz [0113] der Klagegebrauchsmusterschrift zur\u00fcckgeht. Die dort beschriebenen chemischen Ver\u00e4nderungen beschr\u00e4nken sich \u2013 im Gegensatz zum Schutzanspruch 1 \u2013 nicht auf die Herbeif\u00fchrung einer Phasen\u00e4nderung, sondern umfassen auch das Herbeif\u00fchren von Ver\u00e4nderungen der Oberfl\u00e4chenenergie. Dass die Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials fester SPM-Spitzen zum Zwecke der Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4chenenergie chemisch ver\u00e4ndert werden kann, steht zwischen den Parteien nicht im Streit. Soweit das Merkmal 21* eine Phasen\u00e4nderung infolge einer chemischen Ver\u00e4nderung verlangt (s.o.), erkennt der Fachmann, dass sich der Anspruchswortlaut insoweit an der Beschreibungsstelle des Absatzes [0113] orientiert und diese aufgreift. Er geht davon aus, dass sich die Phasen\u00e4nderung von fluid zu fest jedenfalls auf eine dazwischenliegende Beschichtung der SPM-Spitze bezieht, die ausdr\u00fccklich als zweite Alternative im Klammerzusatz des letzten Satzes des Absatzes [0113] genannt wird. Er hat deshalb keinen Anlass, den Begriff bzw. das Teilmerkmal \u201eder Oberfl\u00e4che\u201c im Sinne von \u201ean der Oberfl\u00e4che\u201c auszulegen.<\/li>\n
  201. \n(2.2)
    \nWie sich aus den vorstehenden Ausf\u00fchrungen ergibt, ist in der Klagegebrauchsmusbeschreibung auch die chemische Ver\u00e4nderung einer dazwischenliegenden Beschichtung offenbart (Absatz [0113] letzter Satz). Diese sieht Fachmann ohne weiteres als von dem Begriff bzw. Teilmerkmal \u201eder Oberfl\u00e4che\u201c als erfasst an, da die Beschichtung nach dem Auftragen die Oberfl\u00e4che der Spitze ist.<\/li>\n
  202. \nNach der Lehre des Klagegebrauchsmusters muss eine dazwischenliegende Beschichtung, die auch nur einen Teil der Spitze umfassen kann (vgl. Absatz [0076]), nicht fest sein. Zwar k\u00f6nnte der Fachmann unter einer Beschichtung nach seinem allgemeinen Verst\u00e4ndnis m\u00f6glicherweise ausschlie\u00dflich eine dauerhafte und fest aufgebrachte Schicht verstehen, bei der eine Phasen\u00e4nderung von fluid nach fest ausscheiden w\u00fcrde. Dies entspricht aber nicht dem Begriffsverst\u00e4ndnis des Klagegebrauchsmusters, das insoweit ein eigenes Lexikon darstellt. So ist in Absatz [0065] der Klagegebrauchsmusterschrift ausdr\u00fccklich eine \u201eSpitze 5 mit einer diffusiv beweglichen Beschichtung\u201c erw\u00e4hnt, die durch das mechanische Deponieren des Teilchens in dem Material der weichen Stelle zugleich \u201ewieder mit dem Material mit niedriger Oberfl\u00e4chenenergie beschichtet\u201c wird, wie es beispielsweise auch in Absatz [0079] beschrieben wird. Auch wenn zwischen den Parteien im Einzelnen umstritten ist, was eine diffusiv bewegliche Beschichtung in diesem Sinne ist, so kann sich diese auch nach Auffassung der Beklagten, die den Begriff restriktiv auslegt, bei einer Ber\u00fchrung der Spitze mit anderen Objekten l\u00f6sen und an den anderen Objekten anhaften. Die Beschichtung muss demnach nicht fest sein, sondern kann sich bei Ber\u00fchrung l\u00f6sen bzw. verschieben und durch Eintauchen in ein entsprechend ausgestaltetes Material der weichen Stelle erneuert werden. Weiterhin kennt das Klagegebrauchsmuster klebrige Beschichtungen (Absatz [0103]), die der Fachmann je nach Ausgestaltung ebenfalls nicht zwingend als fest ansehen wird. Der Gebrauchsmusterbeschreibung ist auch nicht zu entnehmen, warum Beschichtungen im Sinne des Klagegebrauchsmusters zur Erf\u00fcllung ihrer Funktion notwendigerweise fest bzw. dauerhaft vorhanden sein m\u00fcssten. Hierf\u00fcr ist kein technischer Grund ersichtlich. Vielmehr k\u00f6nnen f\u00fcr die Zwecke des Klagegebrauchsmusters prinzipiell auch tempor\u00e4re Anhaftungen bzw. Benetzungen eine Beschichtung darstellen, wenn sie daf\u00fcr geeignet sind, die Spitze zum Einsammeln des Teilchens zu ert\u00fcchtigen.<\/li>\n
  203. \nNach den Vorgaben des Merkmals 21* muss die Beschichtung fluid sein, damit der Phasenwechsel von fluid nach fest stattfinden kann. Dass es solche Beschichtungen mit einem Fluid gibt und solche dem Fachmann bekannt sind, best\u00e4tigt das Privatgutachten R.. Danach gibt es \u2013 wenn auch nur einige wenige \u2013 Beispiele f\u00fcr die Verwendung eines Fluids zusammen mit SPM-Spitzen, bei denen die Spitzen beispielsweise in ein Fluid eingetaucht werden und diese damit eine dazwischenliegende Beschichtung erhalten (Privatgutachten R., Anlage B-K27a, S. 8 f., Bl. 314 f. eA OLG). Soweit in dem vorgenannten Gutachten in diesem Zusammenhang darauf hingewiesen wird, dass dies allerdings keine fluide Spitze seien, kommt es hierauf vorliegend nicht an, da das Merkmal 21* keine Phasen\u00e4nderung der (gesamten) Spitze von fluid nach fest verlangt. Vielmehr muss nur die Oberfl\u00e4che der Spitze in Gestalt der Beschichtung ver\u00e4ndert werden.<\/li>\n
  204. \nBei dem Fluid kann es sich prinzipiell auch um ein Gas handeln. Im Schutzanspruch ist nicht von fl\u00fcssig, sondern von einem \u201eFluid\u201c die Rede. Ebenso spricht die Klagegebrauchsmusterbeschreibung in Absatz [0113] nicht von fl\u00fcssig, sondern von fluid, worunter nach der Klagegebrauchsmusterschrift auch gasf\u00f6rmige Substanzen fallen. Denn in Absatz [0013] werden Fluide durch einen Klammerzusatz (\u201esowohl in fl\u00fcssigen, gasf\u00f6rmigen, als auch gemischten Zust\u00e4nden)\u201c als Fl\u00fcssigkeiten und Gase und Mischformen hieraus definiert, was auch dem allgemeinen Verst\u00e4ndnis des Fachmanns entspricht.<\/li>\n
  205. \nOb auch an die Spitze angelagerte Gasmolek\u00fcle eine Beschichtung im Sinne des Klagegebrauchsmusters darstellen k\u00f6nnen, ist zwischen den Parteien streitig. Daf\u00fcr k\u00f6nnte sprechen, dass solche Gasmolek\u00fcle \u2013 auch wenn sie nur tempor\u00e4r an der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze haften und von dieser wieder unver\u00e4ndert gel\u00f6st werden k\u00f6nnen \u2013 zu dem Zeitpunkt, in dem die chemische Ver\u00e4nderung katalysiert wird, der Oberfl\u00e4che der Spitze zuzuordnen sind, da auf sie andere \u2013 von der SPM-Spitze \u2013 ausgehende Kr\u00e4fte wirken als auf die \u00fcbrigen Gasmolek\u00fcle. Insoweit best\u00e4tigt das von der Beklagten vorgelegte Privatgutachten K. (2) die im Privatgutachten R. vertretene Auffassung, dass die Adsorption (Lokalisierung auf einer Oberfl\u00e4che) von Fluidatomen an der Spitzenoberfl\u00e4che auf physikalisch wirkende Van-der-Waals-Kr\u00e4fte zur\u00fcckzuf\u00fchren ist (vgl. Privatgutachten K. (2), S. 11, Bl. 833 eA OLG). Zumindest einer solchen Zuordnung bedarf es, damit von einer Beschichtung ausgegangen und eine Abgrenzung zum \u00fcbrigen Gas vorgenommen werden kann. Denn auch bei einer weiten Auslegung des Begriffs bzw. Teilmerkmals der Beschichtung kann eine solche nur angenommen werden, wenn sich eine vom \u00fcbrigen Gas abgrenzbare Schicht definieren l\u00e4sst. Abschlie\u00dfend entschieden werden muss die Frage, ob auch (tempor\u00e4re) Gasanhaftungen eine Beschichtung im Sinne des Klagepatents darstellen k\u00f6nnen, hier mit Blick auf die angegriffene Ausf\u00fchrungsform allerdings nicht. Denn selbst wenn man dies bejaht, ist \u2013 wie noch ausgef\u00fchrt wird \u2013 eine Benutzung der technischen Lehre des Klagegebrauchsmusters in der Fassung des Hauptantrags durch die angegriffene Ausf\u00fchrungsform zu verneinen.<\/li>\n
  206. \n(3)
    \nDer zeitliche Ablauf des Teilcheneinsammelns gestaltet sich gem\u00e4\u00df Merkmal 21* hiervon ausgehend bei der unter Schutz gestellten Vorrichtung wie folgt: Zun\u00e4chst l\u00f6st die externe Energiequelle eine chemische Ver\u00e4nderung aus (\u201ekatalysiert\u201c). Diese chemische Ver\u00e4nderung f\u00fchrt ihrerseits zu einer Phasen\u00e4nderung des Oberfl\u00e4chenmaterials von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper, die dazu dient, dass das vom (phasenge\u00e4nderten) Oberfl\u00e4chenmaterial umgebene Teilchen mechanisch eingefangen wird. Au\u00dferdem geht mit dem durch die Phasen\u00e4nderung erreichten mechanischen Einfangen eine chemische oder physikalische Bindung einher, die zeitgleich mit dem mechanischen Einfangen oder diesem zeitlich nachgeordnet stattfinden kann. Soweit Merkmal 21* auch die chemische Ver\u00e4nderung einer zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegenden Beschichtung (\u201edazwischenliegende Beschichtung\u201c) umfasst, muss die chemische Ver\u00e4nderung eine bestehende (vorhandene) Beschichtung betreffen und diese von fluid nach fest \u00e4ndern, darf diese also nicht erst schaffen.<\/li>\n
  207. \nD.<\/li>\n
  208. \nDie angegriffene Ausf\u00fchrungsform macht von der technischen Lehre der Schutzanspr\u00fcche 1, 17 und 24 die in der Fassung des Hauptantrags keinen Gebrauch. Denn sie verwirklicht das Merkmal 21* des Schutzanspruchs 1 bzw. die Merkmale 26.2* und 35.11* der Schutzanspr\u00fcche 17 und 24 in der Fassung des Hauptantrags nicht wortsinngem\u00e4\u00df.<\/li>\n
  209. \n1.
    \nBei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform wird das Teilchen dergestalt eingesammelt, dass eine Spitze auf bzw. neben dem Teilchen platziert wird. Anschlie\u00dfend wird ein zwischen Teilchen und Spitze befindliches Pr\u00e4kursorgas, dessen Gasmolek\u00fcle sich an die Spitze angelagert haben, mit Elektronen beschossen. Durch diesen Beschuss mit Prim\u00e4relektronen werden Sekund\u00e4relektronen erzeugt, was eine chemische Reaktion zu Folge hat, bei der das Pr\u00e4kursorgas zerf\u00e4llt. Als Ergebnis dieser chemischen Reaktion entsteht u.a. ein Feststoff (Kohlenstoff), der zwischen Teilchen und Spitze eine Kohlenstoffverbindung ausbildet.<\/li>\n
  210. \nDer vorstehende Ablauf ist in der nachfolgend eingeblendeten Abbildung schematisch dargestellt (Anlage B-K9, Figur 5, S. 6, Bl. 289 Anlagenband_K eA LG), wobei Bild 2 den Beschuss durch den Elektronenstrahl (blau) und Bild 3 die zwischen Spitze und Teilchen entstandene Kohlenstoffverbindung (gelb) zeigt.<\/li>\n
  211. <\/li>\n
  212. \n2.
    \nDurch den Beschuss der Gasmolek\u00fcle mit Elektronen entsteht bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform zwar durch eine chemische Ver\u00e4nderung ein Feststoff. Denn es steht zwischen den Parteien au\u00dfer Streit, dass das elektronstrahlinduzierte Abscheiden von Kohlenstoff eine chemische Ver\u00e4nderung des Pr\u00e4kursorgases darstellt. Damit liegt eine chemische Ver\u00e4nderung vor, die das Entstehen eines Festk\u00f6rpers (Kohlenstoff) aus einem Fluid (Gas) verursacht. Ob in der Entstehung eines Festk\u00f6rpers infolge des Zerfalls eines Gases auch eine \u201ePhasen\u00e4nderung\u201c zu erblicken ist, ist indes zwischen den Parteien streitig. Diese Frage muss hier letztlich nicht entschieden werden. Gleicherma\u00dfen kann offenbleiben, ob die im Wege der Physisorption unmittelbar an der Spitze anhaftenden Gasmolek\u00fcle als eine Beschichtung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze im Sinne des Klagegebrauchsmusters anzusehen sind. Denn auch wenn man dies bejaht, ist die durch die chemische Ver\u00e4nderung herbeigef\u00fchrte Phasen\u00e4nderung einer solchen Beschichtung jedenfalls nicht geeignet, das Teilchen zu umgeben und mechanisch einzufangen, um es zu binden.<\/li>\n
  213. \na)
    \nGem\u00e4\u00df Merkmal 21* muss die Vorrichtung dazu in der Lage sein, dass bei ihr eine (phasenge\u00e4nderte) Spitzenoberfl\u00e4che bzw. Beschichtung infolge der durch eine chemische Ver\u00e4nderung herbeigef\u00fchrten Phasen\u00e4nderung das Teilchen umgibt und mechanisch einf\u00e4ngt, um es zu binden. Dies ist indes bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform nicht der Fall. Zur Verdeutlichung wird nachfolgend nochmals das Bild 3 der Figur 5 der Anlage B-K9 vergr\u00f6\u00dfert einblendet, bei dem die Kohlenstoffverbindung zwischen Spitze und Teilchen gelb eingef\u00e4rbt ist.<\/li>\n
  214. <\/li>\n
  215. \nAuch wenn die Kohlenstoffverbindung (\u201eKohlenstoffbr\u00fccke\u201c) zwischen Spitze und Teilchen danach nicht nur eine schmale Verbindung darstellt, sondern eher den Charakter einer fl\u00e4chigen Anh\u00e4ufung hat, kann augenscheinlich nicht davon gesprochen werden, dass das Teilchen vom Kohlenstoff \u201eumgeben\u201c wird. Dies w\u00fcrde voraussetzen, dass zumindest ein Gro\u00dfteil, also jedenfalls mehr als die H\u00e4lfte des Teilchens, von der Kohlenstoffanh\u00e4ufung umfasst wird. Davon kann bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform indes ersichtlich nicht die Rede sein. Zwar handelt es sich bei der vorstehend eingeblendeten Abbildung nur um eine schematische Darstellung. Dass bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform die Kohlenstoffanh\u00e4ufung das Teilchen tats\u00e4chlich weiter umfasst bzw. umfassen kann, ist jedoch weder dargetan noch ersichtlich. Hierzu hat die Kl\u00e4gerin auch im Verhandlungstermin vor dem Senat, in dem die Frage eines Umgebens des einzufangenden Teilchens bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform er\u00f6rtert worden ist, nichts vorgetragen.<\/li>\n
  216. \nAllein die Tatsache, dass durch die Kohlenstoffanh\u00e4ufung die Kontaktfl\u00e4che vergr\u00f6\u00dfert wird, f\u00fchrt nicht zu einer Verwirklichung des Merkmals 21*. Denn zum Zwecke der Entfernung des Teilchens vom Substrat muss nach der Lehre des Klagegebrauchsmusters in der Fassung des Hauptantrags die Kontaktfl\u00e4che des Teilchens so weit vergr\u00f6\u00dfert werden, dass von einem \u201eUmgeben\u201c des Teilchens und einer Maximierung des Oberfl\u00e4cheninhalts gesprochen werden kann. Zwar mag es Vorgehensweisen geben, bei denen dies nicht notwendig ist, da ein ausreichendes \u201eFesthalten\u201c des Teilchens auch anderweitig erreicht werden kann. So f\u00fchrt das Klagegebrauchsmuster in Absatz [0113] als m\u00f6gliche Methoden das Erzeugen chemischer Bindungen kovalenter oder ionischer Natur an. Im Zusammenhang mit der von den geltend gemachten Schutzanspr\u00fcchen in der Fassung des Hauptantrags allein beanspruchten Phasen\u00e4nderung von fluid zu fest bzw. von einem Fluid zu einem Festk\u00f6rper greift das Klagegebrauchsmuster aber auf die Kombination aus Umgeben und mechanischen Einfangen einerseits sowie einer zus\u00e4tzlichen Bindung andererseits zur\u00fcck. Bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform beruht die F\u00e4higkeit zur Entfernung eines Teilchens von dem Substrat aber gerade nicht auch auf einem Umgeben des Teilchens, sondern offensichtlich auf einer ausreichend starken chemischen Bindung zwischen Kohlenstoff und Teilchen bzw. Kohlenstoff und Spitze, wobei hier nicht gekl\u00e4rt werden muss, ob sich der Kohlenstoff kovalent an die Spitzenoberfl\u00e4che bindet, wie dies die Kl\u00e4gerin behauptet (vgl. Privatgutachten B. (1), Anlage B-K28, S. 16, Bl. 606 eA OLG), die Beklagten jedoch in Abrede stellt (vgl. Privatgutachten K. (2), Anlage B20, S. 13, Bl. 835 eA OLG). Ein \u201eUmgeben\u201c des Teilchens findet bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform jedenfalls nicht statt, weshalb diese nicht den Vorgaben des Klagegebrauchsmusters in der Fassung des Hauptantrags entspricht.<\/li>\n
  217. \nb)
    \nDie Beklagte hat im Verhandlungstermin zudem mit Recht darauf hingewiesen, dass selbst dann, wenn man davon ausgeht, dass die auf der Spitze haftende Monolage des Pr\u00e4kursorgases eine Beschichtung ist, diese einzelne Molek\u00fcllage f\u00fcr sich genommen weder geeignet ist, das Teilchen zu umgeben, noch mechanisch einzufangen, noch zu binden. Es liegt auf der Hand und ist von der Kl\u00e4gerin auch nicht in Abrede gestellt worden, dass die Phasen\u00e4nderung einer blo\u00dfen Gas-Monolage keine ausreichende Basis daf\u00fcr sein kann, ein Teilchen von dem Substrat einzusammeln. Denn eine Monolage aus Gasmolek\u00fclen ist f\u00fcr sich betrachtet nicht geeignet, das Teilchen vom Substrat zu entfernen, da sie zu d\u00fcnn ist. Vielmehr bedarf es hierf\u00fcr bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform der fl\u00e4chigen Anh\u00e4ufung von Kohlenstoff, auf die sich die Kl\u00e4gerin zur Begr\u00fcndung der von ihr geltend gemachten Gebrauchsmusterbenutzung st\u00fctzt. Entscheidend f\u00fcr deren Entstehung ist aber das \u00fcbrige Pr\u00e4kursorgas, bei dem es sich weder um die Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials noch um eine dazwischenliegende Beschichtung im Sinne des Klagegebrauchsmusters handelt. Dass sich nach den Ausf\u00fchrungen des Privatgutachters der Beklagten (Privatgutachten B.1), Anlage B-K28, S. 16, Bl. 606 eA OLG) pr\u00e4feriert Pr\u00e4kursormolek\u00fcle zersetzen, die an der Oberfl\u00e4che gebunden sind oder sich in deren unmittelbarer N\u00e4he befinden, f\u00fchrt zu keinem anderen Ergebnis. Denn eine blo\u00dfe r\u00e4umliche N\u00e4he gen\u00fcgt \u2013 wie bereits ausgef\u00fchrt \u2013 f\u00fcr die Verwirklichung des Merkmals 21* in der Fassung des Hauptantrags gerade nicht. Die angegriffene Ausf\u00fchrungsform macht damit nicht von der gebrauchsmustergem\u00e4\u00dfen Lehre, durch eine Phasen\u00e4nderung des Oberfl\u00e4chenmaterials der Spitze bzw. einer darauf aufgebrachten Beschichtung das Teilchen einzufangen, Gebrauch. Vielmehr verwendet sie die (unterstellte) Beschichtung nur in einem \u00e4u\u00dferst geringen, nicht wesentlichen Umfang, n\u00e4mlich in der Dicke einer blo\u00dfen Molek\u00fcllage, und nutzt im \u00dcbrigen zur Herstellung der Kohlenstoffverbindung das in den Raum eingebrachte Gas. Der auf der SPM-Spitze befindlichen Gas-Monolage fehlt damit die Eignung, das Teilchen nach seiner \u00c4nderung zu einem Feststoff zu umgeben und mechanisch einzufangen. Bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform kann schlie\u00dflich auch nicht etwas das gesamte Pr\u00e4kursorgas als gebrauchsmustergem\u00e4\u00dfe Beschichtung angesehen werden, weil es insoweit an einer abgrenzbaren Zuordnung zur SPM-Spitze fehlt.<\/li>\n
  218. \nE.<\/li>\n
  219. \nWie aus Gr\u00fcnden des Sachzusammenhangs bereits an dieser Stellte \u2013 vor der Er\u00f6rterung des Hilfsantrags 1 \u2013 festzustellen ist, macht die angegriffene Ausf\u00fchrungsform aus den vorstehenden Gr\u00fcnden auch von der technischen Lehre der geltend gemachten Schutzanspr\u00fcche 1, 17 und 24 in der Fassung des Hilfsantrags 2, nach welcher Anspruchsfassung eine zwischen Teilchen und SPM-Spitze liegende Beschichtung Gegenstand der chemischen Ver\u00e4nderung gem\u00e4\u00df Merkmal 21* (bzw. Merkmal 26.2* bzw. Merkmal 35.11*) ist, keinen Gebrauch. Da eine solche Beschichtung \u2013 wie ausgef\u00fchrt \u2013 bereits vom Merkmal 21* (bzw. Merkmal 26.2* und Merkmal 35.11*) in der Fassung des Hauptantrags umfasst wird, kann zur Vermeidung von Wiederholungen auf die vorstehenden Ausf\u00fchrungen Bezug genommen werden.<\/li>\n
  220. \nF.<\/li>\n
  221. \nDie Klageanspr\u00fcche sind auch nicht nach dem Hilfsantrag 1 begr\u00fcndet. Entweder macht die angegriffene Ausf\u00fchrungsform ebenfalls von der technischen Lehre der Schutzanspr\u00fcche 1, 17 und 24 in der Fassung dieses Hilfsantrags keinen Gebrauch oder diese Schutzanspr\u00fcche sind unzul\u00e4ssig erweitert, so dass die Kl\u00e4gerin aus diesen keine Rechte herleiten kann.<\/li>\n
  222. \n1.
    \nDie Schutzanspr\u00fcche 1, 17 und 24 in der Fassung des Hilfsantrags 1 unterscheiden sich \u2013 wie bereits ausgef\u00fchrt \u2013 von der Anspruchsfassung des Hauptantrags dadurch, dass es in den Merkmalen 21*, 26.2* und 35.11* anstelle \u201eder (Spitzen)Oberfl\u00e4che\u201c jeweils \u201ean der (Spitzen)Oberfl\u00e4che\u201c hei\u00dft.<\/li>\n
  223. \n2.
    \nIm Hinblick auf diese vom Hauptantrag abweichende Anspruchsfassung stellt sich hier die Frage, wie das modifizierte Teilmerkmal \u201ean der (Spitzen)Oberfl\u00e4che\u201c zu verstehen ist.<\/li>\n
  224. \na)
    \nDas Landgericht hat angenommen, dass es sich bei der Formulierung \u201ean der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze\u201c um eine allgemeine Ortsbestimmung handele, die klarstelle, dass die chemische Ver\u00e4nderung r\u00e4umlich an der Oberfl\u00e4che angeordnet stattzufinden habe. Es m\u00fcsse hingegen keine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che selbst stattfinden. Die Gebrauchsmusterbeschreibung nehme in Absatz [0113] ebenfalls explizit Bezug auf chemische Ver\u00e4nderungen an der Oberfl\u00e4che der Spitze. Soweit diese darin n\u00e4hergehend spezifiziert werden, dass sie entweder das Spitzenmaterial selbst oder eine dazwischenliegende Beschichtung betreffen, habe dies keinen Eingang in den Anspruchswortlaut gefunden.<\/li>\n
  225. \nb)
    \nDem Landgericht ist zuzugeben, dass der Anspruchswortlaut insoweit eindeutig erscheint, so dass hiernach eine chemische Ver\u00e4nderung nur in r\u00e4umlicher N\u00e4he, d.h. blo\u00df \u00f6rtlich \u201ean\u201c der Spitzenoberfl\u00e4che stattfinden muss.<\/li>\n
  226. \nVon chemischen Ver\u00e4nderungen \u201ean der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze\u201c ist \u2013 wie ausgef\u00fchrt \u2013 auch in der Gebrauchsmusterbeschreibung die Rede, n\u00e4mlich im vorletzten Satz des Absatzes [0113], der sich mit der Erm\u00f6glichung gezielter Ver\u00e4nderungen der Oberfl\u00e4chenenergie sowie Phasen\u00e4nderungen mittels chemischer Ver\u00e4nderungen befasst. Allerdings werden die besagten chemischen Ver\u00e4nderungen \u2013 wie ebenfalls bereits ausgef\u00fchrt worden ist \u2013 unmittelbar im Anschluss hieran im letzten Satz des Absatzes [0113] weiter dahin beschrieben, dass Gegenstand der chemischen Ver\u00e4nderung entweder die Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials oder eine dazwischenliegende Beschichtung ist. Es erscheint nicht ausgeschlossen, dass der Fachmann den entsprechenden Klammerzusatz im letzten Satz des Absatzes [0113] der Gebrauchsmusterbeschreibung als Definition bzw. Erl\u00e4uterung der auch im geltend gemachten Schutzanspruch enthaltenen Angabe \u201ean der Oberfl\u00e4che der Spitze\u201c begreift und dieses Teilmerkmal dementsprechend dahin auslegt, dass \u2013 trotz des scheinbar weiteren Anspruchswortlauts \u2013 die Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials selbst oder eine dazwischenliegende Beschichtung chemisch ver\u00e4ndert werden muss. Die Beschreibung des Gebrauchsmusters kann \u2013 wie ausgef\u00fchrt \u2013 Begriffe eigenst\u00e4ndig definieren und insoweit ein \u201eeigenes Lexikon\u201c darstellen. Auch der Grundsatz, dass bei Widerspr\u00fcchen zwischen Anspruch und Beschreibung der Anspruch Vorrang genie\u00dft, weil dieser und nicht die Beschreibung den gesch\u00fctzten Gegenstand definiert, schlie\u00dft nicht aus, dass sich aus der Beschreibung ein Verst\u00e4ndnis des Schutzanspruchs ergibt, das von demjenigen abweicht, das der blo\u00dfe Wortlaut des Anspruchs vermittelt. Funktion der Beschreibung ist es, die gesch\u00fctzte Erfindung zu erl\u00e4utern. Im Zweifel ist daher ein Verst\u00e4ndnis der Beschreibung und des Anspruchs geboten, das beide Teile der Patentschrift nicht in Widerspruch zueinander bringt, sondern sie als aufeinander bezogene Teile der dem Fachmann mit dem Patent oder Gebrauchsmuster zur Verf\u00fcgung gestellten technischen Lehre als eines sinnvollen Ganzen versteht. Nur wenn und soweit dies nicht m\u00f6glich ist, ist der Schluss gerechtfertigt, dass Teile der Beschreibung zur Auslegung nicht herangezogen werden d\u00fcrfen (BGH, GRUR 2015, 875 Rn. 16 \u2013 Rotorelemente; GRUR 2015, 868 Rn. 26 \u2013 Polymerschaum II; GRUR 2015, 1095 Rn. 13 \u2013 Bitdatenreduktion).<\/li>\n
  227. \nOb vorliegend ein solcher Fall vorliegt, wovon das Landgericht ausgegangen zu sein scheint, bedarf keiner weiteren Vertiefung und Entscheidung. Sollte der Fachmann das Teilmerkmal \u201ean der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze\u201c \u2013 entgegen der Auffassung des Landgerichts \u2013 dahin auslegen, dass die Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials selbst oder eine dazwischenliegende Beschichtung chemisch ver\u00e4ndert werden muss, macht die angegriffene Ausf\u00fchrungsform aus den zum Hauptantrag ausgef\u00fchrten Gr\u00fcnden auch von der technischen Lehre der geltend gemachten Schutzanspr\u00fcche in der Fassung des Hilfsantrags 1 keinen Gebrauch machen. Nimmt man hingegen \u2013 mit dem Landgericht \u2013 an, dass es sich bei der Angabe \u201ean der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze\u201c um eine allgemeine Ortsbestimmung handelt, so dass es gen\u00fcgt, dass die chemische Ver\u00e4nderung in r\u00e4umlicher N\u00e4he, also blo\u00df \u00f6rtlich \u201ean\u201c der Spitzenoberfl\u00e4che stattfindet, ist der Schutzanspruch unzul\u00e4ssig erweitert (dazu nachfolgend).<\/li>\n
  228. \nc)
    \nUnterstellt, das Merkmal 21* in der Fassung des Hilfsantrags 1 ist dahin auszulegen, dass es sich bei der Angabe \u201ean der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze\u201c um eine blo\u00dfe Ortsangabe f\u00fcr die chemische Ver\u00e4nderung handelt, ist der Schutzanspruch 1 in der Fassung des Hilfsantrags 1 unzul\u00e4ssig erweitert, so dass die Kl\u00e4gerin keine Rechte aus diesem Schutzanspruch herleiten kann. Entsprechendes gilt f\u00fcr die Schutzanspr\u00fcche 17 und 24 in der Fassung dieses Hilfsantrags im Hinblick auf das Merkmal 26.2* (Anspruchs 17) und das Merkmale 35.11* (Anspruch 24).<\/li>\n
  229. \naa)
    \nNachgereichte bzw. neu formulierte Schutzanspr\u00fcche gew\u00e4hren nur Rechte, wenn sie durch die eingetragene Fassung des Gebrauchsmusters und dessen Schutzumfang gedeckt sind (BGH, GRUR 2003, 867, 868 \u2013 Momentanpol I). Sind sie unzul\u00e4ssig erweitert, k\u00f6nnen aus ihnen keine Rechte hergeleitet werden (OLG D\u00fcsseldorf, GRUR-RR 2024, 61 Rn. 175 \u2013 Rollwagen). Es gibt daher zwei Voraussetzungen, die kumulativ vorliegen m\u00fcssen: Erstens muss der Schutzanspruch, wie er durch den Gebrauchsmusterinhaber im Verletzungsrechtsstreit geltend gemacht wird, durch die urspr\u00fcngliche Offenbarung in den Anmeldeunterlagen gedeckt sein, dieser darf mithin keine unzul\u00e4ssige Erweiterung (\u00a7 15 Abs. 1 Nr. 3 GebrMG) beinhalten. Zweitens muss sich der geltend gemachte Schutzbereich innerhalb des Schutzbereichs halten, wie er sich nach \u00a7 12a GebrMG aus den der Eintragung zugrunde liegenden Schutzanspr\u00fcchen im Fall ihrer Schutzf\u00e4higkeit h\u00e4tte ergeben k\u00f6nnen (OLG D\u00fcsseldorf, GRUR-RR 2024, 61 Rn. 175 \u2013 Rollwagen; BeckOK PatR\/Loth, 34. Ed. 15.10.2024, GebrMG \u00a7 12a Rn. 10; BeckOK PatR\/Loth, 34. Ed. 15.10.2024, PatG \u00a7 14 Rn. 241a; BeckOK PatR\/Wuttke\/Vo\u00df, 34. Ed. 15.04.2024, GebrMG Vor \u00a7\u00a7 24\u201324g (Verletzungsprozess) Rn. 3). In der Entscheidung \u201eMomentanpol\u201c hat der BGH f\u00fcr die \u2013 hier vorliegende \u2013 Fallkonstellation, dass der Gebrauchsmusterinhaber keine neu formulierten Schutzanspr\u00fcche zu Gebrauchsmusterakte gereicht hat, dementsprechend ausgef\u00fchrt, dass im Verletzungsrechtsstreit (nur) zu pr\u00fcfen ist, ob sich der Gebrauchsmusterinhaber auf eine durch die ma\u00dfgebliche urspr\u00fcngliche Offenbarung gest\u00fctzte und im Rahmen der der Gebrauchsmustereintragung zugrunde liegenden Schutzanspr\u00fcche liegende Fassung des Schutzbegehrens zur\u00fcckgezogen hat, die die angegriffene, Dritten nach \u00a7 11 Abs. 1 S. 2 GebrMG verbotene Handlung erfasst (BGH, GRUR 2003, 867, 868 \u2013 Momentanpol I). In dem von ihm entschiedenen Fall ist er \u2013 wie sich aus den Gr\u00fcnden seines Urteils ergibt (BGH, GRUR 2003, 867 \u2013 unter II. 2. a)) \u2013 davon ausgegangen, dass der Gebrauchsmusterschutz so, wie er durch den dortigen Kl\u00e4ger im Rechtsstreit (hilfsweise) geltend gemacht worden ist, durch die urspr\u00fcngliche Offenbarung in den Anmeldeunterlagen gedeckt ist und sich der Kl\u00e4ger deshalb zur Beseitigung einer Erweiterung grunds\u00e4tzlich auf diese Schutzanspr\u00fcche zur\u00fcckziehen konnte. Weiter hat der Bundesgerichtshof angenommen, dass sich der geltend gemachte Schutzumfang innerhalb des Schutzbereichs h\u00e4lt, wie er sich nach \u00a7 12a GebrMG aus den der Eintragung zugrunde liegenden Schutzanspr\u00fcchen im Fall ihrer Schutzf\u00e4higkeit h\u00e4tte ergeben k\u00f6nnen.<\/li>\n
  230. \nIst der Schutzanspruch, wie er durch den Gebrauchsmusterinhaber im Verletzungsrechtsstreit geltend gemacht wird, durch die urspr\u00fcngliche Offenbarung in den Anmeldeunterlagen nicht gedeckt, kann der Gebrauchsmusterinhaber aus diesem im Verletzungsrechtsstreit somit keine Rechte herleiten. Ein so gefasster Schutzanspruch w\u00e4re auf Antrag in einem L\u00f6schungsverfahren zu l\u00f6schen. Denn es liegt der L\u00f6schungsgrund des \u00a7 15 Abs. 1 Nr. 3 GebrMG vor. Hiermit kann sich der Beklagte im Verletzungsrechtsstreit verteidigen. In einem solchen Fall muss im Verletzungsrechtsstreit nicht (zus\u00e4tzlich) noch gepr\u00fcft werden, ob der Gegenstand des Schutzanspruchs ohne das nicht offenbarte Merkmal schutzf\u00e4hig ist, sofern ein entsprechender Schutzanspruch, der das betreffende Merkmal nicht enth\u00e4lt, vom Gebrauchsmusterinhaber mit seiner Klage nicht geltend gemacht wird.<\/li>\n
  231. \nbb)
    \nDen Vergleichsma\u00dfstab f\u00fcr eine unzul\u00e4ssige Erweiterung bilden die urspr\u00fcnglich eingereichten Unterlagen. Es gelten die gleichen Grunds\u00e4tze wie die im Patentrecht (BeckOK PatR\/Eisenrauch, 34. Ed. 15.10.2024, GebrMG \u00a7 15 Rn. 21), wonach f\u00fcr die Frage, ob ein erteilter Patentanspruch \u00fcber die urspr\u00fcnglichen Anmeldungsunterlagen hinausgeht, die Grunds\u00e4tze der Neuheitspr\u00fcfung zur Anwendung zu bringen. Danach ist erforderlich, dass der Fachmann die im Anspruch bezeichnete technische Lehre den Ursprungsunterlagen unmittelbar und eindeutig als m\u00f6gliche Ausf\u00fchrungsform der Erfindung entnehmen kann (vgl. hierzu z.B. BGH, Urt. v. 19.07.2016 \u2013 X ZR 36\/14, BeckRS 2016, 15769 Rn. 27 \u2013 Funkrufsystem mit Standortbekanntgabefunktion; Urt. v. 17.06.2021 \u2013 X ZR 39\/19, GRUR-RS 2021, 20698 Rn. 62 \u2013 Sprachcodierer). Im Falle einer Abzweigung nach \u00a7 5 GebrMG bilden die Unterlagen der Patentanmeldung, deren Anmeldetag in Anspruch genommen wird, den Vergleichsma\u00dfstab (BPatG, Beschl. v. 03.07.2023 \u2013 35 W (pat) 406\/22, GRUR-RS 2023, 16989 \u2013 Energie\u00fcbertragungsvorrichtung; BeckOK PatR\/Eisenrauch, 34. Ed. 15.10.2024, GebrMG \u00a7 15 Rn. 23 m.w.N.; vgl. auch BGH, GRUR 2012, 1243 Rn. 17 \u2013 Feuchtigkeitsabsorptionsbeh\u00e4lter). Ist, wie im vorliegenden Fall, das Klagegebrauchsmuster abgezweigt worden, so ist f\u00fcr die Pr\u00fcfung des L\u00f6schungsgrunds der unzul\u00e4ssigen Erweiterung daher der Offenbarungsgehalt der Stammanmeldung ma\u00dfgebend, aus der das Klagegebrauchsmuster abgezweigt worden ist.<\/li>\n
  232. \ncc)
    \nUnter Anwendung dieser Ma\u00dfst\u00e4be ist der Schutzanspruch 1 in der Fassung des Hilfsantrags 1 bei dem unterstellten Anspruchsverst\u00e4ndnis im Hinblick auf das Merkmal 21* gegen\u00fcber der Ursprungsanmeldung unzul\u00e4ssig erweitert, wobei entsprechendes f\u00fcr die Schutzanspr\u00fcche 17 und 24 in der Fassung dieser Hilfsantr\u00e4ge im Hinblick auf das Merkmal 26.2* bzw. das Merkmal 35.11* gilt.<\/li>\n
  233. \nZu Recht ist das Landgericht davon ausgegangen, dass das Merkmal 21* in der Fassung des erstinstanzlichen Hauptantrags, die hinsichtlich des Teilmerkmals der chemischen Ver\u00e4nderung \u201ean der Oberfl\u00e4che\u201c der SPM-Spitze der Anspruchsfassung gem\u00e4\u00df dem in der Berufungsinstanz gestellten Hilfsantrag 1 entspricht, bei dem von ihm zugrunde gelegten Verst\u00e4ndnis in der urspr\u00fcnglichen Anmeldung nicht unmittelbar und eindeutig offenbart ist.<\/li>\n
  234. \n(1)
    \nDer Streit der Parteien zum Offenbarungsgehalt der Stammanmeldung konzentriert sich auf den Absatz [0109] der englischsprachigen Stammanmeldung, deren letzte beiden S\u00e4tze wie folgt lauten:<\/li>\n
  235. \n\u201eChemical changes to the tip surface would also allow for targeted changes to its surface energy as well as phase changes (in particular from fluid to solid) that may surround (to maximize surface area dA) and mechanically entrap the debris at the tip surface in order to bond it. These chemical changes (whether to the tip material surface or some intermediary coating) may be catalyzed by external energy sources such as heat (temperature), ultraviolet light, and charged particle beams.\u201c<\/li>\n
  236. \nDem vorletzten Satz dieser Beschreibungsstelle ist zun\u00e4chst zu entnehmen, dass chemische Ver\u00e4nderung der Spitzenoberfl\u00e4che auch (\u201ealso\u201c) Ver\u00e4nderungen der Oberfl\u00e4chenenergie ebenso wie (\u201eas well as\u201c) Phasen\u00e4nderungen erm\u00f6glichen k\u00f6nnen, insbesondere von fluid zu fest. Wie das Klagegebrauchsmusterschrift (s.o.), beschreibt auch Absatz [0109] der Stammanmeldung zuvor das Herbeif\u00fchren chemischer Bindungen, w\u00e4hrend anschlie\u00dfend \u2013 als weitere m\u00f6gliche Effekte einer chemischen Ver\u00e4nderung der Spitzenoberfl\u00e4che \u2013 eine Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4chenenergie sowie eine Phasen\u00e4nderung (insbesondere von fest nach fl\u00fcssig) erw\u00e4hnt werden. Die chemische Ver\u00e4nderung ist daher das Mittel zur Erm\u00f6glichung der Fremdk\u00f6rperbindung, die unterschiedlich ausgestaltet sein kann. Eine M\u00f6glichkeit ist das Herbeif\u00fchren einer Phasen\u00e4nderung, die (auch) nach der Beschreibung der Stammanmeldung keine chemische Ver\u00e4nderung ist, sondern eine Folge hiervon.<\/li>\n
  237. \nDas Landgericht hat angenommen, dass in Absatz [0109] der Stammanmeldung allein eine chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze bzw. einer der SPM-Spitze zuzurechnenden Zwischenschicht offenbart ist, wobei es mit \u201eZwischenschicht\u201c offensichtlich die \u2013 in Absatz [0109] angesprochene \u2013 dazwischenliegende Beschichtung (\u201eintermediary coating\u201d) und nicht die in Absatz [0066] der Stammanmeldung erw\u00e4hnte Zwischenschicht (\u201eintermediate layer\u201c) zwischen der Oberfl\u00e4chenspitze und einer Beschichtung gemeint hat. Dem ist zuzustimmen.<\/li>\n
  238. \n(1.1)
    \nF\u00fcr dieses Verst\u00e4ndnis des Offenbarungsgehalts der Stammanmeldung spricht zun\u00e4chst die Differenzierung zwischen \u201eto the tip surface\u201c und \u201eat the tip surface\u201c im vorletzten Satz des Absatzes [0109] der Stammanmeldung, die nahelegt, dass mit der Formulierung \u201eto the tip surface\u201c im Zusammenhang mit \u201echemical changes\u201c auf die Spitzenoberfl\u00e4che selbst abgestellt wird, wie dies auch bei der chemischen Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4chenenergie der Fall ist, und nicht \u2013 wie im weiteren Verlauf des Satzes mit der Wendung \u201eat the tip surface\u201c \u2013 eine rein \u00f6rtliche Beschreibung erfolgen werden soll.<\/li>\n
  239. \n(1.2)
    \nZutreffend hat das Landgericht ferner darauf hingewiesen, dass der Klammerzusatz im letzten Satz des Absatzes [0109] daf\u00fcr spricht, dass die Formulierung \u201eto the tip surface\u201c keine blo\u00dfe Ortsangabe darstellt, sondern vielmehr die Pr\u00e4position \u201eto\u201c sowohl das Oberfl\u00e4chenmaterial (\u201ematerial surface\u201c) als auch die Beschichtung (\u201ecoating\u201c) betrifft und in beiden Varianten damit einheitlich eine Ver\u00e4nderung des Materials (Oberfl\u00e4chenmaterial der Spitze \/ Beschichtungsmaterial) selbst gemeint ist. Mangels anderweitiger Anhaltspunkte versteht der Fachmann die beiden letzten S\u00e4tze des Absatzes [0109] der Stammanmeldung im Gesamtzusammenhang dahin, dass die Angabe \u201eChemical changes to the tip surface\u201c im vorletzten Satz dieses Absatzes durch die nachfolgende Formulierung \u201eThese chemical changes (whether to the tip material surface or some intermediary coating)\u201c im letzten Satz des Absatzes [0109] konkretisiert bzw. erl\u00e4utert wird. Chemisch ver\u00e4ndert werden soll danach das Oberfl\u00e4chenmaterial der Spitze oder eine dazwischenliegende Beschichtung, womit eine Beschichtung der Spitze gemeint ist.<\/li>\n
  240. \n(1.3)
    \nHinweise auf anderweitige Ausgestaltungen bzw. Varianten, bei denen die chemischen Ver\u00e4nderungen nicht die Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials oder eine auf dieser vorgesehenen Beschichtung betreffen, finden sich in der Beschreibung der Stammanmeldung nicht. Es wird an keiner Stelle angegeben, was chemisch ver\u00e4ndert werden soll, wenn nicht das Spitzenmaterial selbst oder eine Beschichtung der Spitze.<\/li>\n
  241. \n(1.4)
    \nDie Stammanmeldung enth\u00e4lt schlie\u00dflich keinen \u2013 dem Schutzanspruch 1 des Klagegebrauchsmusters in der Fassung des 1. Hilfsantrags entsprechenden \u2013 Anspruch, in welchem \u2013 im Unterschied zu der Beschreibungsstelle in Absatzes [0109] \u2013 von chemischen Ver\u00e4nderungen an der Spitze (\u201eat the tip surface\u201c) die Rede ist. Der Fachmann hat aus diesem Grunde keinen Anlass zu der Annahme, die technische Lehre der Stammanmeldung gehe \u00fcber die in der Beschreibung erw\u00e4hnte chemische Ver\u00e4nderung der Oberfl\u00e4che des Spitzenmaterials oder einer auf dieser vorgesehenen Beschichtung zum Zwecke des Einsammelns des Teilchens hinaus. Unmittelbar und eindeutig offenbart sind in der Beschreibung (Absatz [0109]) nur chemische Ver\u00e4nderungen des Oberfl\u00e4chenmaterials der Spitze oder einer Beschichtung der Spitze. Die diesbez\u00fcgliche Beschreibung in Absatz [0109] der Stammanmeldung erscheint dem Fachmanns klar und eindeutig. Soweit im vorletzten Satz dieser Beschreibungsstelle zun\u00e4chst von \u201eChemical changes to the tip surface\u201c die Rede ist, versteht er diese Angabe jedenfalls im Hinblick auf die weitere Beschreibung im letzten Satz dieses Absatzes im Sinne von \u201echemische Ver\u00e4nderungen der Oberfl\u00e4che der Spitze\u201c und hat keinen Anlass, insoweit weitergehende funktionale \u00dcberlegungen anzustellen.<\/li>\n
  242. \n(2)
    \nWenn mit dem Hilfsantrag 1 Schutz f\u00fcr Ausf\u00fchrungsformen beansprucht wird, bei denen eine chemische Ver\u00e4nderung nur (\u00f6rtlich) an der Oberfl\u00e4che der SPM-Sitze stattfinden muss, geht dies damit \u00fcber dasjenige hinaus, was dem Fachmann nach dem gesamten Inhalt der Stammanmeldung als die technische Lehre erscheint, durch die das der \u201eErfindung\u201c zu Grunde liegende Problem gel\u00f6st wird.<\/li>\n
  243. \nG.<\/li>\n
  244. \nDie geltend gemachten Schutzanspr\u00fcche in der Fassung der Hilfsantr\u00e4ge 3, 4 und 5 sind ebenfalls unzul\u00e4ssig erweitert. Was den Hilfsantrag 4 anbelangt, gilt dies schon deshalb, weil auch die Schutzanspr\u00fcche in der Fassung dieses Hilfsantrags lediglich eine chemische Ver\u00e4nderung \u201ean der Oberfl\u00e4che der SPM-Spitze\u201c verlangen. Insoweit kann zur Vermeidung von Wiederholungen auf die vorstehenden Ausf\u00fchrungen verwiesen werden. Unzul\u00e4ssig erweitert sind die geltend gemachten Schutzanspr\u00fcche in der Fassung des Hilfsantrags 4 aber auch deshalb, weil ein mechanisches Einfangen des Teilchens ohne ein gleichzeitiges Umgeben in der Stammanmeldung nicht offenbart ist. Aus diesem Grunde sich auch die Schutzanspr\u00fcche 1, 17 und 24 in der Fassung des 3. und 5. Hilfsantrags unzul\u00e4ssig erweitert, weshalb die Kl\u00e4gerin auch aus diesen Schutzanspr\u00fcchen keine Rechte herleiten kann.<\/li>\n
  245. \n1.
    \nDer vorletzte Satz des Absatzes [0109] der Stammanmeldung lautet wie folgt (Hervorhebungen hinzugef\u00fcgt):<\/li>\n
  246. \n\u201eChemical changes to the tip surface would also allow for targeted changes to its surface energy as well as phase changes (in particular from fluid to solid) that may surround (to maximize surface area dA) and mechanically entrap the debris at the tip surface in order to bond it.\u201c<\/li>\n
  247. \nDie Stammanmeldung offenbart in dieser Beschreibungsstelle allein durch chemische Ver\u00e4nderungen erm\u00f6glichte Phasen\u00e4nderungen (insbesondere von fluid zu fest) \u201edie den Fremdk\u00f6rper an der Spitzenoberfl\u00e4che umgeben (um den Oberfl\u00e4cheninhalt dA zu maximieren) und ihn mechanisch einfangen k\u00f6nnen, um ihn zu binden\u201c, so wie sich dies auch in der Klagegebrauchsmusterschrift findet (vgl. dort Absatz [0113]). In den hilfsweise geltend gemachten Schutzanspr\u00fcchen in der Fassung der Hilfsantr\u00e4ge 3, 4 und 5 fehlt das Teilmerkmal des Umgebens ersatzlos, da es dort nur hei\u00dft: \u201emechanisch einzufangen und zu binden\u201c. Dem Teilmerkmal des Umgebens kommt nach der Lehre der Stammanmeldung jedoch eine eigenst\u00e4ndige Bedeutung zu, weil das Teilchen danach umgeben und mechanisch eingefangen werden soll. Die Stammanmeldung nennt beide Effekte kumulativ und nicht alternativ. Zwar mag ein mechanisches Einfangen des Teilchens prinzipiell auch ohne ein Umgeben im Sinne der Stammanmeldung erreicht werden k\u00f6nnen, n\u00e4mlich durch einen ausreichend stark punktuellen mechanischen Kontakt. Derartiges wird dem Fachmann indes in der Stammanmeldung nicht offenbart. Diese will das mechanische Einfangen des Teilchens vielmehr im Wege des Umgebens erreichen, um das Teilchen auf diese Weise sicher in seiner Bewegungsfreiheit einzuschr\u00e4nken. Daher verbietet sich die Annahme, dass es der Stammanmeldung im Hinblick auf den Einsatz einer chemisch induzierten Phasen\u00e4nderung nur auf ein mechanisches Einfangen ohne gleichzeitiges Umgeben ankommt. Schon gar nicht kann die technische Lehre der Stammanmeldung dergestalt verallgemeinert werden, dass es hiernach letztlich nur darauf ankommt, dass Teilchen \u201eirgendwie\u201c dazu zu bringen, an der Spitze zu haften. Denn im Zusammenhang mit dem Herbeif\u00fchren einer Phasen\u00e4nderung setzt die Stammanmeldung auf eine Kombination aus Umgeben und mechanischen Einfangen einerseits und einer (zus\u00e4tzlichen) Bindung andererseits.<\/li>\n
  248. \n2.
    \nDamit kann die Kl\u00e4gerin auch aus den von ihr hilfsweise geltend gemachten Schutzanspr\u00fcchen in der Fassung der Hilfsantr\u00e4ge 3, 4 und 5 keine Rechte herleiten.<\/li>\n
  249. \n3.
    \nDa aus unzul\u00e4ssig erweiterten Gebrauchsmusteranspr\u00fcchen keine Rechte hergeleitet werden k\u00f6nnen, kommt es nicht mehr darauf an, dass im Hinblick auf die geltend gemachten Schutzanspr\u00fcche in der Fassung der Hilfsantr\u00e4ge 3 und 5 auch eine Gebrauchsmusterbenutzung zu verneinen w\u00e4re. Diese Anspruchsfassungen enthalten zwar \u2013 anders als die Schutzanspr\u00fcche in der Fassung des Hauptantrags \u2013 das Teilmerkmal des Umgebens nicht. Allerdings weist \u2013 auch unter der Annahme, dass die Monolage aus Gasmolek\u00fclen eine Beschichtung darstellt und das Abscheiden des Kohlenstoffs eine Phasen\u00e4nderung ist \u2013 die aus einer Lage Gasmolek\u00fcle bestehende Beschichtung nicht die erforderliche Eignung auf, das Teilchen mechanisch einzufangen. Denn es ist weder vorgetragen noch ersichtlich, dass allein diese Monolage aus Gasmolek\u00fclen bzw. der aus ihr hervorgehenden Kohlenstoff allein geeignet w\u00e4re, das Teilchen mechanisch einzufangen, wie es in allen von der Kl\u00e4gerin geltend gemachten Schutzanspr\u00fcchen verlangt wird. Vielmehr bedarf es hierf\u00fcr der von der Kl\u00e4gerin angef\u00fchrten fl\u00e4chigen Anh\u00e4ufung von Kohlenstoff, die unzweifelhaft \u00fcber eine Monolage hinausgeht und f\u00fcr deren Entstehung ma\u00dfgeblich auf das \u00fcbrige im Raum befindliche Pr\u00e4kursorgas zur\u00fcckgegriffen werden muss.<\/li>\n
  250. \nIII.<\/li>\n
  251. \nDie Kostenentscheidung folgt aus \u00a7 97 ZPO.<\/li>\n
  252. \nDie Anordnungen zur vorl\u00e4ufigen Vollstreckbarkeit ergeben sich aus \u00a7\u00a7 708 Nr. 10, 711, 108 ZPO.<\/li>\n
  253. \nF\u00fcr eine Zulassung der Revision bestand keine Veranlassung, weil die in \u00a7 543 ZPO aufgestellten Voraussetzungen daf\u00fcr ersichtlich nicht gegeben sind. Es handelt sich um eine reine Einzelfallentscheidung ohne grunds\u00e4tzliche Bedeutung, mit der der Bundesgerichtshof auch nicht im Interesse einer Fortbildung des Rechts oder der Sicherung einer einheitlichen Rechtsprechung befasst werden muss (\u00a7 543 Abs. 2 ZPO).<\/li>\n
  254. <\/li>\n
  255. <\/li>\n<\/ol>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

    D\u00fcsseldorfer Entscheidungen Nr. 3419 Oberlandesgericht D\u00fcsseldorf Urteil vom 6. M\u00e4rz 2025,I-2 U 29\/24 Vorinstanz: 4b O 11\/22<\/p>\n","protected":false},"author":27,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[107,20],"tags":[],"class_list":["post-9617","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-107","category-olg-duesseldorf"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/9617","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/27"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=9617"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/9617\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":9618,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/9617\/revisions\/9618"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=9617"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=9617"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=9617"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}