{"id":7442,"date":"2017-12-14T17:00:33","date_gmt":"2017-12-14T17:00:33","guid":{"rendered":"https:\/\/www3.hhu.de\/duesseldorfer-archiv\/?p=7442"},"modified":"2018-05-02T11:36:01","modified_gmt":"2018-05-02T11:36:01","slug":"4a-o-74-16-mikromechanische-gehaeusung-i","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/d-prax.de\/?p=7442","title":{"rendered":"4a O 74\/16 – Mikromechanische Geh\u00e4usung I"},"content":{"rendered":"

D\u00fcsseldorfer Entscheidungsnummer: 2728<\/strong><\/span><\/p>\n

Landgericht D\u00fcsseldorf<\/span><\/p>\n

Urteil vom 14. Dezember 2017, Az.\u00a04a O 74\/16<\/span><\/p>\n

    \n
  1. I. Die Beklagten werden verurteilt:<\/li>\n
  2. 1. Es bei Meidung eines f\u00fcr jeden Fall der Zuwiderhandlung vom Gericht festzusetzenden Ordnungsgeldes bis zu EUR 250.000,-, ersatzweise Ordnungshaft, oder Ordnungshaft bis zu sechs Monaten, im Falle wiederholter Zuwiderhandlung bis zu insgesamt zwei Jahren, wobei die Ordnungshaft an den Gesch\u00e4ftsf\u00fchrern der Beklagten zu vollziehen ist, zu unterlassen,<\/li>\n
  3. in der Mikrosystemtechnik einsetzbare Bauteile mit einem Substrat und einer Kappenstruktur, die so miteinander verbunden sind, dass sie mindestens einen ersten und einen zweite Hohlraum umschlie\u00dfen, die gegeneinander und gegen die Au\u00dfenumgebung abgedichtet sind, wobei wenigstens in dem ersten Hohlraum ein Drehratensensor, Beschleunigungssensor, Aktuator, Resonator, Display, digitaler Mikrospiegel, Bolometer und\/ oder RF-Switch angeordnet ist,<\/li>\n
  4. in der Bundesrepublik Deutschland anzubieten, in den Verkehr zu bringen oder zu gebrauchen oder zu den genannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;<\/li>\n
  5. wobei der erste der beiden Hohlr\u00e4ume mit einem Gettermaterial versehen ist und aufgrund dieses Gettermaterials einen anderen Innendruck und\/ oder eine andere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum,<\/li>\n
  6. (Anspruch 1 von EP 2 004 XXX \u2013 unmittelbare Verletzung);<\/li>\n
  7. 2. Der Kl\u00e4gerin dar\u00fcber Auskunft zu erteilen, in welchem Umfang die Beklagten die zu Ziffer I. 1. bezeichneten Handlungen seit dem 11. Juni 2014 begangen haben, und zwar unter Angabe<\/li>\n
  8. a) der Namen und Anschriften der Hersteller, Lieferanten und anderer Vorbesitzer,<\/li>\n
  9. b) der Namen und Anschriften der gewerblichen Abnehmer sowie der Verkaufsstellen, f\u00fcr die die Erzeugnisse bestimmt waren, sowie<\/li>\n
  10. c) der Menge der hergestellten, ausgelieferten, erhaltenen oder bestellten Erzeugnisse sowie der Preise, die f\u00fcr die betreffenden Erzeugnisse bezahlt wurden,<\/li>\n
  11. wobei zum Nachweis der Angaben die entsprechenden Kaufbelege (Rechnungen, hilfsweise Lieferscheine) in Kopie vorzulegen sind, wobei geheimhaltungsbed\u00fcrftige Details au\u00dferhalb der auskunftspflichtigen Daten geschw\u00e4rzt werden d\u00fcrfen;<\/li>\n
  12. 3. Der Kl\u00e4gerin dar\u00fcber Rechnung zu legen, in welchem Umfang sie die zu Ziffer I. 1. bezeichneten Handlungen seit dem 01. Januar 2013 begangen haben, und zwar unter Angabe<\/li>\n
  13. a) der einzelnen Lieferungen, aufgeschl\u00fcsselt nach Liefermenge, -zeiten, -preisen und Typenbezeichnungen sowie der Namen und Anschriften der gewerblichen Abnehmer,<\/li>\n
  14. b) der einzelnen Angebote, aufgeschl\u00fcsselt nach Angebotsmengen, -zeiten, -preisen und Typenbezeichnungen sowie der Namen und der Anschriften der Angebotsempf\u00e4nger,<\/li>\n
  15. c) der betriebenen Werbung, aufgeschl\u00fcsselt nach Werbetr\u00e4gern, deren Auflagenh\u00f6he, Verbreitungszeitraum und Verbreitungsgebiet,<\/li>\n
  16. d) der nach den erzielten Kostenfaktoren aufgeschl\u00fcsselten Gestehungskosten und des erzielten Gewinns,<\/li>\n
  17. wobei den Beklagten vorbehalten bleibt, die Namen und Anschriften der nicht-gewerblichen Abnehmer und der Angebotsempf\u00e4nger statt der Kl\u00e4gerin einem von der Kl\u00e4gerin zu bezeichnenden, ihr gegen\u00fcber zur Verschwiegenheit verpflichteten, in der Bundesrepublik Deutschland ans\u00e4ssigen, vereidigten Wirtschaftspr\u00fcfer mitzuteilen, sofern die Beklagten dessen Kosten tragen und ihn erm\u00e4chtigen und verpflichten, der Kl\u00e4gerin auf konkrete Anfrage mitzuteilen, ob ein bestimmter Abnehmer oder Angebotsempf\u00e4nger in der Aufstellung enthalten ist,<\/li>\n
  18. wobei die Angaben unter lit. d) erst f\u00fcr die Zeit ab dem 11. Juli 2014 zu machen sind;<\/li>\n
  19. 4. Die in ihrem unmittelbaren oder mittelbaren Besitz oder Eigentum befindlichen, zu Ziff. I. 1. bezeichneten Erzeugnisse an einen von der Kl\u00e4gerin zu benennenden Gerichtsvollzieher zum Zwecke der Vernichtung auf Kosten der Beklagten herauszugeben oder selbst zu vernichten;<\/li>\n
  20. 5. Die zu Ziff. I. 1. bezeichneten und seit dem 11. Juni 2014 in Verkehr gebrachten Erzeugnisse gegen\u00fcber den gewerblichen Abnehmern unter Hinweis auf den gerichtlich festgestellten patentverletzenden Zustand der Sache und mit der verbindlichen Zusage zur\u00fcckzurufen, etwaige Entgelte zu erstatten, sowie notwendige Verpackungs- und Transportkosten sowie mit der R\u00fcckgabe verbundene Zoll- und Lagerkosten zu \u00fcbernehmen und die erfolgreich zur\u00fcckgerufenen Erzeugnisse wieder an sich zu nehmen.<\/li>\n
  21. II. Es wird festgestellt, dass die Beklagten verpflichtet sind:<\/li>\n
  22. 1. Der Kl\u00e4gerin f\u00fcr die zu Ziff. I. 1. bezeichneten, in der Zeit vom 1. Januar 2013 bis zum 10.Juli 2014 begangenen Handlungen eine angemessene Entsch\u00e4digung zu zahlen;<\/li>\n
  23. 2. Der Kl\u00e4gerin allen Schaden zu ersetzen, der dieser durch die zu Ziff. I. 1. bezeichneten Handlungen seit dem 11. Juli 2014 entstanden ist und noch entstehen wird.<\/li>\n
  24. III. Die Beklagten tragen die Kosten des Rechtsstreits.IV. Das Urteil ist gegen Sicherheitsleistung in H\u00f6he von EUR 500.000,- vorl\u00e4ufig vollstreckbar. Daneben ist das Urteil auch gesondert vorl\u00e4ufig vollstreckbar hinsichtlich Unterlassen (Ziff. I. 1. des Tenors), R\u00fcckruf (Ziff. I. 5. des Tenors) und Vernichtung (Ziff. I. 4. des Tenors) gegen Sicherheitsleistung in H\u00f6he von EUR 187.500,- f\u00fcr jede Beklagte, hinsichtlich Auskunft und Rechnungslegung (Ziff. I. 2. und Ziff. I. 3. des Tenors) gegen Sicherheitsleistung in H\u00f6he von EUR 50.000,- f\u00fcr jede Beklagte, und hinsichtlich des Kostenpunkts (Ziff. III. des Tenors) gegen Sicherheitsleistung in H\u00f6he von 115 % des jeweils zu vollstreckenden Betrages.<\/li>\n
  25. T a t b e s t a n d<\/strong><\/li>\n
  26. Die Kl\u00e4gerin macht als eingetragene Inhaberin (vgl. DPMA-Registerauszug vom 28.04.2016, Anlage K2) des auch mit Wirkung f\u00fcr die Bundesrepublik Deutschland erteilten Europ\u00e4ischen Patents 2 004 XXX B1 (im Folgenden: Klagepatent) gegen die Beklagten auf die Verletzung des Klagepatents gest\u00fctzte Anspr\u00fcche auf Unterlassen, R\u00fcckruf und Vernichtung, Auskunftserteilung und Rechnungslegung sowie Feststellung einer Entsch\u00e4digungs- und Schadensersatzpflicht dem Grunde nach geltend.<\/li>\n
  27. Das Klagepatent wurde unter Inanspruchnahme einer Priorit\u00e4t vom 06.04.2006 (DE 102006016XXX) am 04.04.2007 in deutscher Verfahrenssprache angemeldet. Die Offenlegung der Anmeldung datiert vom 24.12.2008, die Ver\u00f6ffentlichung des Hinweises auf die Patenterteilung vom 11.06.2014. Das Klagepatent hat eine \u201eMikromechanische Geh\u00e4usung mit mindestens zwei Kavit\u00e4ten mit unterschiedlichem Innendruck und\/ oder unterschiedlicher Gaszusammensetzung sowie Verfahren zu deren Herstellung\u201c zum Gegenstand.<\/li>\n
  28. Der f\u00fcr das vorliegende Verfahren ma\u00dfgebliche Klagepatentanspruch 1 hat folgenden Wortlaut:<\/li>\n
  29. \u201eIn der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil mit einem Substrat und einer Kappenstruktur,
    \ndie so miteinander verbunden sind, dass sie mindestens einen ersten und einen zweiten Hohlraum umschlie\u00dfen, die gegeneinander und gegen die Au\u00dfenumgebung abgedichtet sind,
    \nwobei wenigstens in dem ersten Hohlraum (5) ein Drehratensensor, Beschleunigungssensor, Aktuator, Resonator, Display, digitaler Mikrospiegel, Bolometer und\/ oder RF-Switch angeordnet ist,
    \ndadurch gekennzeichnet, dass
    \nder erste der beiden Hohlr\u00e4ume mit einem Gettermaterial versehen ist und aufgrund dieses Gettermaterials einen anderen Innendruck und\/ oder eine andere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum.\u201c<\/li>\n
  30. Wegen der weiteren Anspr\u00fcche wird auf die Klagepatentschrift (Anlage K1) Bezug genommen.<\/li>\n
  31. Nachfolgend wiedergegebene Figur 3 (verkleinert) zeigt beispielhaft den Aufbau eines erfindungsgem\u00e4\u00dfen Mikrosensorsystems mit zwei Submodulen:<\/li>\n
  32. Auf dem Sensorwafer 1 befinden sich die mikromechanischen, voneinander hermetisch abgedichteten Sensorsubsysteme 3 und 4. Mit dem Sensorwafer 1 wird der Kappenwafer 2 in einem Bondprozess fest verbunden, der Bondrahmen 7 dichtet die Sensorbereiche hermetisch von der Umgebung ab. In einer der durch das Zusammenf\u00fcgen des Sensor- und des Kappenwafers gebildeten Kavit\u00e4ten 5 und 6 befindet sich ein Gettermaterial 8, welches nach seiner Aktivierung Molek\u00fcle einer ersten, in den Kavit\u00e4ten eingeschlossenen Gassorte absorbieren kann.<\/li>\n
  33. Mit Nichtigkeitsschriftsatz vom 05.09.2016 (vgl. Anlagenkonvolut B&B3) erhob die in der Schweiz ans\u00e4ssige A International N.V., bei der es sich um die Beklagte in dem parallel anh\u00e4ngigen Verletzungsverfahren, 4a O 43\/16 handelt, und der die hiesigen Beklagten in dem hier vorliegenden Rechtsstreit den Streit verk\u00fcndet haben (nachfolgend daher: Streitverk\u00fcndete zu 2)) Nichtigkeitsklage gegen das Klagepatent beim Bundespatentgericht (nachfolgend: BPatG). Eine Entscheidung in dem Verfahren (Az.: 6 Ni 66\/16 (EP)) steht noch aus. Der deutsche Teil des Klagepatents (Az.: 50 2007 013 XXX.1) steht in Kraft.<\/li>\n
  34. Die Beklagte zu 1) ist die deutsche Zweigniederlassung der US-amerikanischen B C Incorporated mit Sitz in D (Texas). Sie vertreibt \u00fcber ihre Internetseite (www.B.de) unter anderem Produkte der Streitverk\u00fcndete zu 2), insbesondere Sensormodule der Streitverk\u00fcndeten zu 2) mit der Teilenummer \u201eE\u201c (im Folgenden: angegriffene Ausf\u00fchrungsform). Dabei handelt es sich um eine sog. \u201eInertiale Messeinheit\u201c mit einem Drei-Achsen-Beschleunigungs- und einem Drei-Achsen-Drehratensensor zur Bewegungsmessung.<\/li>\n
  35. Auch die Beklagte zu 2) bietet an und vertreibt \u00fcber ihre deutschsprachige Internetseite mit der Adresse www.de.F.com ein MEMS-Sensormodul, als dessen Hersteller \u201eA\u201c angegeben wird. Der Konzern, dem die Beklagte zu 2) neben der in UK ans\u00e4ssigen Premier F plc (Streitverk\u00fcndete zu 1)) und der Premier F UK Limited (Streitverk\u00fcndete zu 3)) angeh\u00f6rt, wird von der Streitverk\u00fcndeten zu 2) mit der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform beliefert.<\/li>\n
  36. Zwischen der Beklagten zu 1) und der Streitverk\u00fcndeten zu 2) besteht eine Vertriebsvereinbarung, in deren Rahmen die Streitverk\u00fcndete zu 2) der Beklagten zu 1) alle zum Vertrieb der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform notwendigen Vertriebs- und Nutzungsrechte einr\u00e4umt, wobei zwischen den Parteien streitig ist, ob die Streitverk\u00fcndete zu 2) dazu berechtigt ist.<\/li>\n
  37. Seit der ersten Jahresh\u00e4lfte 2002 bis zum Jahre 2005 arbeiteten unter anderem die Kl\u00e4gerin und die A Italy, eine in Italien ans\u00e4ssige Schwestergesellschaft der Streitverk\u00fcndeten zu 2), auf der Grundlage eines europ\u00e4ischen Rahmenprogramms (\u201eInformation Society Technologies\u201c; \u201eIST\u201c) an einem gemeinsamen Forschungsprojekt mit der Bezeichnung \u201eG\u201c. Das G-Projekt war insbesondere innerhalb der Schl\u00fcsselaktion (\u201ekey action\u201c) Nr. IV des IST Programms angeordnet, die essentielle Technologien und Infrakstrukturen des Programms f\u00fcr Technologien der Informationsgesellschaft zum Gegenstand hatte. Dem G-Projekt kam in diesem Rahmen die Aufgabe zu, die Leistung und Verl\u00e4sslichkeit existierender Systeme und Produkte beispielsweise f\u00fcr Informations- und Telekommunikationsanwendungen sowie Anwendungen im Automobil- und medizinischen Bereich, zu verbessern.<\/li>\n
  38. Im Zusammenhang mit dem G-Projekt unterzeichneten unter anderem die Kl\u00e4gerin und die A Italy im Jahre 2003 ein sog. \u201eConsortium Agreement\u201c (nachfolgend: Konsortialvertrag; vorgelegt mit Anlagenkonvolut B&B1, dort Anlage FBD B3a; nachfolgend auch abgek\u00fcrzt: \u201eKV\u201c). Die A Italy ist \u2013 wie die Streitverk\u00fcndete zu 2) \u2013 eine hundertprozentige Tochtergesellschaft der in den Niederlanden ans\u00e4ssigen A N.V. Neben der Kl\u00e4gerin und der A Italy waren auch die Universit\u00e4t H, die I SA, die J S.p.A. und die K an dem Projekt beteiligt.<\/li>\n
  39. Vor dem Hintergrund der Einbettung des Projekts in ein europ\u00e4isches Rahmenprogramm besteht neben dem Konsortialvertrag ein Projektvertrag Nr. IST-2001-34224 mit der Europ\u00e4ischen Gemeinschaft (nunmehr: Union), der als Anlage FBD B3b zum Anlagenkonvolut B&B1 vorliegt (im Folgenden: Projektvertrag oder auch abgek\u00fcrzt: \u201ePV\u201c). Zu dem Projektvertrag besteht ein als Anlage FBD B3c zum Anlagenkonvolut B&B1 vorgelegter Annex II (im Folgenden: Annex II). Der Konsortialvertrag ist das speziellste der drei Vertragswerke, er spezifiziert und erg\u00e4nzt die Regelungen des Annex II, bei dem es sich um ein von der EU entworfenen Mustervertrag handelt. Die Vertr\u00e4ge werden nachfolgend auch zusammenfassend als \u201eG-Projektvertr\u00e4ge\u201c bezeichnet.<\/li>\n
  40. Nachfolgenden werden einzelne Passagen des Konsortialvertrags und des Annex II wiedergegeben:<\/li>\n
  41. Art. 8.5 lit. c) KV (deutsche \u00dcbersetzung):<\/li>\n
  42. \u201eJede Partei gew\u00e4hrt hiermit Zugangsrechte f\u00fcr alle verbundenen Unternehmen jeder anderen Partei, wie wenn diese verbundenen Unternehmen Parteien w\u00e4ren, sofern diese verbundenen Unternehmen allen Parteien (und deren verbundenen Unternehmen) Zugangsrechte gew\u00e4hren und (unbeschadet den Verpflichtungen der Parteien, das Projekt auszuf\u00fchren und die Projektleistung zu liefern) der Vertraulichkeit und anderen Verpflichtungen nachkommen, die die Parteien nach dem Vertrag oder diesem Konsortialvertrag eingegangen sind, wie wenn diese verbundenen Unternehmen Parteien w\u00e4ren.\u201c<\/li>\n
  43. Art. 10.1.1 KV (deutsche \u00dcbersetzung):<\/li>\n
  44. \u201eSofern im Verlauf der Durchf\u00fchrung des Projekts eine gemeinschaftliche Erfindung, Muster oder Werke entstehen (und eine oder mehrere Parteien dazu beigetragen haben), und wenn die Merkmale dieser\/s gemeinschaftlichen Erfindung, Muster oder Werkes solcher Art sind, dass es nicht m\u00f6glich ist, sie zum Zwecke der Anmeldung, f\u00fcr Erlangung von und\/ oder Aufrechterhaltung des jeweiligen Patentschutzes oder eines anderen Rechts des geistigen Eigentums zu trennen, vereinbaren die betroffenen Parteien, dass sie gemeinsam die Anmeldung vornehmen k\u00f6nnen, um das jeweilige Recht gemeinsam mit den anderen betroffenen Parteien (die f\u00fcr gew\u00f6hnlich Nebenvertragspartner sein werden) zu erhalten und\/ oder aufrechtzuerhalten.<\/li>\n
  45. Die betroffene Parteien sollen von Fall zu Fall zwischen ihnen und den anderen betroffenen Parteien eine Vereinbarung anstreben f\u00fcr die Anmeldung, Erlangung und\/ oder Aufrechterhaltung eines solchen Rechts. Sofern die betroffenen Parteien ausschlie\u00dflich Parteien sind, sollen die betroffenen Parteien dazu berechtigt sein, dieses Recht zu nutzen und zu lizensieren ohne finanzielle Entsch\u00e4digung f\u00fcr oder die Zustimmung von einer der anderen betroffenen Parteien, solange ein solches Recht in Kraft ist.\u201c<\/li>\n
  46. Art. 10.4.2 des KV (deutsche \u00dcbersetzung):<\/li>\n
  47. \u201eZugangsrechte f\u00fcr die Nutzung, welche lizenzgeb\u00fchrenfrei gew\u00e4hrt werden sollen, gelten ab dem Tag, der in Artikel 2 des Vertrages bestimmt ist, f\u00fcr die Lebenszeit der jeweiligen Kenntnisse als erteilt.\u201d<\/li>\n
  48. Art. 16.1 des KV (deutsche \u00dcbersetzung):<\/li>\n
  49. \u201eS\u00e4mtliche Streitigkeiten oder Meinungsverschiedenheiten, die im Zusammenhang mit diesem Konsortialvertrag entstehen und welche nicht g\u00fctlich beigelegt werden k\u00f6nnen, sollen abschlie\u00dfend im Wege eines Schiedsverfahrens in Paris nach der Schiedsordnung der Internationalen Handelskammer durch einen oder mehrere Schiedsrichter beigelegt werden, die gem\u00e4\u00df den Regeln der Schiedsordnung ernannt werden. In jedem Schiedsverfahren mit drei Schiedsrichtern soll der Vorsitzende juristisch ausgebildet sein.\u201c<\/li>\n
  50. Art. 13. 1 des Annex II lautet:<\/li>\n
  51. \u201ePrinzipale Vertragsparteien haben ein Recht auf Zugangsrechte zu allen Kenntnissen, die aus dem Projekt entstehen, um diese Kenntnisse zu nutzen oder um Kenntnisse zu nutzen, die sie selbst gewonnen haben. Sie sollen lizenzgeb\u00fchrenfrei gew\u00e4hrt werden. [\u2026].\u201c<\/li>\n
  52. Wegen des weiteren Inhalts der G-Vertr\u00e4ge wird insbesondere auf den Konsortialvertrag (Anlagenkonvolut B&B1, Anlage FBD B 3a) sowie auf Annex II zu dem Projektvertrag (Anlagenkonvolut B&B1, Anlage FBD B3c) Bezug genommen.<\/li>\n
  53. Am 02.09.2016 leiteten die Streitverk\u00fcndete zu 2) und die A Italy ein Schiedsverfahren bei der Internationalen Handelskammer in Paris ein. In dem Schiedsverfahren machen die A Italy und die Streitverk\u00fcndete zu 2) geltend, dass sie aufgrund der in dem Annex II und dem Konsortialvertrag getroffenen Vereinbarungen zur Nutzung der Lehre des Klagepatents berechtigt sind, und der A Italy im Hinblick auf diese eine Miterfinderrolle zukomme (Anlagenkonvolut B&B1, Anlage FBD B5b, deutsche \u00dcbersetzung: Anlage B5b, S. 26 und S. 29 \u2013 32). Eine Entscheidung in dem unter dem Aktenzeichen 22241\/FS gef\u00fchrten Schiedsverfahren steht noch aus, jedoch erfolgte am 02.02.2017 die Zulassung des Schiedsverfahrens durch den ICC Court.<\/li>\n
  54. Die Kl\u00e4gerin ist der Auffassung, die angegriffene Ausf\u00fchrungsform mache von der Lehre des Klagepatents unmittelbar wortsinngem\u00e4\u00df Gebrauch.<\/li>\n
  55. In diesem Zusammenhang behauptet sie insbesondere, die angegriffene Ausf\u00fchrungsform enthalte zwei durch eine sog. Glasfritten-Versiegelung hermetisch voneinander und von der Au\u00dfenumgebung abgedichtete Kavit\u00e4ten, in denen sich jeweils einer der genannten Sensoren befinde. Nachfolgend werden zur Verdeutlichung ein Querschnitt des angegriffenen Sensormoduls (obere Abbildung) sowie zwei Querschnitt-Detailaufnahme der Ber\u00fchrungsfl\u00e4chen von Substrat und Kappe (untere Abbildung) wiedergegeben:<\/li>\n
  56. In dem als \u201eErster Hohlraum\u201c bezeichneten Raum befinde sich des Weiteren eine Zirkonium-Kobal-Seltenen-Erden-Legierung, bei der es sich um ein Gettermaterial (ZrCoLaCe-Getter) handele. Aufgrund der Aktivierung des Gettermaterials sei der Innendruck in dem n\u00e4her bezeichneten Hohlraum geringer als in dem Hohlraum ohne Gettermaterial. Die Beklagte zu 2) bestreitet diese Ausgestaltung der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform mit Nichtwissen.<\/li>\n
  57. Die angegriffene Ausf\u00fchrungsform werde \u2013 was die Beklagte zu 2) ebenfalls mit Nichtwissen bestreitet \u2013 hergestellt, indem Substrat und Kappe auf Wafer-Ebene zu einem Mehrfachbauteil verbunden, und aus diesem durch Vereinzelung die angegriffene Ausf\u00fchrungsform herausgearbeitet werde. Entgegen der Auffassung der Beklagten seien solche Ausf\u00fchrungsformen aus dem Schutzbereich des Klagepatents nicht ausgenommen.<\/li>\n
  58. Die Beklagte zu 1) k\u00f6nne sich auch auf kein von der Streitverk\u00fcndeten zu 2) einger\u00e4umtes Nutzungsrecht berufen, weil schon der Streitverk\u00fcndeten zu 2) ein solches nicht zustehe.<\/li>\n
  59. Die Kl\u00e4gerin beantragt:<\/li>\n
  60. Die Beklagten zu verurteilen:<\/li>\n
  61. Wie erkannt;<\/li>\n
  62. Wegen der weiteren in Form von \u201eInsbesondere-Antr\u00e4gen\u201c gestellten Antr\u00e4gen wird auf die Klageschrift vom 11.07.2016 (Bl. 2, 3 GA) Bezug genommen.<\/li>\n
  63. Die Beklagte zu 1) beantragt:<\/li>\n
  64. Die Klage abzuweisen;<\/li>\n
  65. Hilfsweise:
    \nDen Rechtsstreit bis zu einer rechtskr\u00e4ftigen Entscheidung \u00fcber die den deutschen Teil des Klagepatents EP 2 004 XXX am 05.09.2016 erhobene Nichtigkeitsklage, Az.: 6 Ni 66\/16, auszusetzen;<\/li>\n
  66. Weiter Hilfsweise:
    \nDen Rechtsstreit bis zu einer Entscheidung des Schiedsgerichts in dem anh\u00e4ngigen Schiedserfahren der International Chamber of Commerce, Az.: 22241\/FS, zwischen der Kl\u00e4gerin und der Streitverk\u00fcndeten zu 2) \u00fcber die Berechtigung am Gegenstand des Klagepatents auszusetzen.<\/li>\n
  67. Die Beklagte zu 2) beantragt:<\/li>\n
  68. Die Klage abzuweisen;<\/li>\n
  69. Hilfsweise:
    \nDen Rechtsstreit bis zu einer rechtskr\u00e4ftigen Entscheidung \u00fcber die den deutsch Teil des Klagepatents EP 2 004 XXX am 05.09.2016 erhobene Nichtigkeitsklage, Az.: 6 Ni 66\/16, auszusetzen.<\/li>\n
  70. Die Beklagten sind der Auffassung, die angegriffene Ausf\u00fchrungsform verletze die Lehre des Klagepatents nicht.Vor dem Hintergrund, dass das angegriffene mikroelektromechanische System nicht als \u201eEinzel-Bauteil\u201c sondern als Mehrfachbauelement auf einem Wafer- Substrat mit einem Kappenwafer hergestellt werde, fehle es an einem aus einem \u201eEinzelsubstrat\u201c und einer \u201eEinzel-Kappenstruktur\u201c zusammengesetzten \u201eEinzel-Bauteil\u201c wie die Lehre des Klagepatents es verlange.<\/li>\n
  71. Die Beklagte zu 1) ist weiter der Ansicht, ihr stehe auf der Grundlage der mit der Streitverk\u00fcndeten zu 2) getroffenen Vertriebsvereinbarung ein Recht zur Benutzung der klagepatentgem\u00e4\u00dfen Lehre zu. In diesem Zusammenhang ist sie weiter der Ansicht, die Streitverk\u00fcndete zu 2) seit aufgrund der Konsortialvereinbarung zwischen der Kl\u00e4gerin und der A Italy auch zur Erteilung von Unterlizenzen berechtigt.<\/li>\n
  72. Das Klagepatent werde sich nach Auffassung der Beklagten des Weiteren im Rahmen des von der Streitverk\u00fcndeten zu 2) eingeleiteten Nichtigkeitsverfahrens, Az.: 6 Ni 66\/16 (EP), als nicht rechtsbest\u00e4ndig erweisen. Der gesch\u00fctzten Lehre fehle es sowohl an der Neuheit als auch an der erfinderischen T\u00e4tigkeit.<\/li>\n
  73. Die Beklagte zu 1) ist weiter der Ansicht, dass das hiesige Verfahren im Hinblick auf das zwischen der Kl\u00e4gerin und der Streitverk\u00fcndeten zu 2) laufende Schiedsverfahren jedenfalls auszusetzen sei.<\/li>\n
  74. Wegen des weiteren Sach- und Streitstandes wird auf die wechselseitig zur Akte gereichten Schrifts\u00e4tze nebst Urkunden und Anlagen sowie das Protokoll zu Sitzung vom 16.11.2017 Bezug genommen.<\/li>\n
  75. E n t s c h e i d u n g s g r \u00fc n d e<\/strong><\/li>\n
  76. Die zul\u00e4ssige Klage ist auch begr\u00fcndet.<\/li>\n
  77. Da die von den Beklagten im Inland vertriebene (dazu unter Ziff. IV.) angegriffene Ausf\u00fchrungsform von der Lehre des Klagepatents Gebrauch macht (dazu unter Ziff. III.) und sich die Beklagten auf eine Berechtigung zur Nutzung der gesch\u00fctzten Lehre nicht berufen k\u00f6nnen (dazu unter Ziff. V.), stehen der Kl\u00e4gerin gegen die Beklagten Anspr\u00fcche auf Unterlassen, Auskunftserteilung und Rechnungslegung, R\u00fcckruf und Vernichtung sowie Entsch\u00e4digungs- und Schadensersatzpflicht dem Grunde nach zu (dazu unter Ziff. VI.), Art. 64 Abs. 1, 3 EP\u00dc i. V. m. \u00a7\u00a7 139 Abs. 1, 2, 140a Abs. 1, 3, 140b PatG, \u00a7\u00a7 242, 259 BGB und Art. II \u00a7 1 Abs. 1 Satz 1 IntPat\u00dcG.<\/li>\n
  78. Eine Aussetzung der Verhandlung gem. \u00a7 148 ZPO kommt weder vor dem Hintergrund der anh\u00e4ngigen Nichtigkeitsklage (dazu unter Ziff. VII.) noch aufgrund des laufenden Schiedsverfahrens (dazu unter Ziff. VIII.) in Betracht.<\/li>\n
  79. I.
    \nDas Klagepatent befasst sich mit der Geh\u00e4usung mikromechanischer Systeme (Abs. [0001] des Klagepatents; Abs\u00e4tze ohne Bezeichnung sind im Folgenden solche des Klagepatents).<\/li>\n
  80. Mikrosystemtechnik
    \nDem Klagepatent zufolge handelt es sich bei der Mikrosystemtechnik (MST) um einen Technologiezweig, der \u2013 orientiert an den leistungsf\u00e4higen Produktionsprozessen der Halbleiterindustrie \u2013 mit mikrotechnischen Verfahren makroskopische Technologiesysteme in die Mikrowelt \u00fcbertr\u00e4gt (Abs. [0002]). Mit Hilfe der Mikrosystemtechnik gefertigte Bauteile (MEMS) seien seit l\u00e4ngerem f\u00fcr die miniaturisierte und kosteng\u00fcnstige Herstellung von Sensoren und Aktoren etabliert (Abs. [0002]). Anwendungsbereiche dieser Produkte seien die Industrieautomation, die Kommunikations- und Medizintechnik, die Automobilindustrie oder Life Science Produkte (Abs. [0002]).<\/li>\n
  81. Dabei schildert das Klagepatent insbesondere f\u00fcr den Bereich der Automobilindustrie und des Maschinenbaus einen Bedarf f\u00fcr komplexe, integriert aufgebaute Mikrosystembauteile, die vielf\u00e4ltigste Mess- und Regelfunktionen autonom und mit geringem Energiebedarf durchf\u00fchren (Abs. [0003]). Die unterschiedlichen Sensorsysteme w\u00fcrden je nach Auslegung einen entsprechenden Arbeitsdruck erfordern. Bei resonanten Systemen m\u00fcsse die mechanische D\u00e4mpfung durch umgebendes Gas durch einen entsprechenden geringeren Arbeitsdruck in der Kavit\u00e4t, in der sich das jeweilige Sensorsystem befindet, minimiert werden (Abs. [0003]). Beschleunigungssensoren bed\u00fcrften demgegen\u00fcber teilweise einer starken D\u00e4mpfung (Abs. [0003]). Nachfolgend nennt das Klagepatent f\u00fcr verschiedene Mikrosysteme den jeweils typischen Betriebsdruck (Abs. [0003]).<\/li>\n
  82. Nachfolgend (verkleinert) wiedergegebene Figur 2 zeigt den Aufbau eines vorbekannten mikrosystemtechnisch hergestellten, resonanten Inertialsensors:<\/li>\n
  83. Der unten liegende, oberfl\u00e4chenmikromechanische Sensor enth\u00e4lt die aktive Sensorstruktur (MEMS Active Layer). In dem oberen Deckel-Chip (Cap) ist \u00fcber der Sensorstruktur eine 60 \u03bcm tiefe Kavit\u00e4t eingebracht, darin ist Gettermaterial zur Absorption und chemischen Bindung von Gasmolek\u00fclen abgeschieden (Abs. [0004]). Zwischen Kappen- und Sensorwafer wird auf Wafer-Ebene (sog. \u201eWafer-Level-Packaging\u201c) durch ein Gold-Silizium Eutektikum eine feste Verbindung hergestellt (Abs. [0004]). Der Bondrahmen sorgt f\u00fcr eine hermetische Kapselung, wodurch der bei dem eutektischen Verbindungsprozess eingestellte Druck erhalten bleibt (Abs. [0004]).<\/li>\n
  84. Geh\u00e4usung von Mikrosensoren
    \nDas Klagepatent beschreibt in diesem Zusammenhang weiter die Geh\u00e4usung von Mikrosensoren als eines der im Technikstand am wenigsten entwickelten, jedoch als eines der wichtigsten und herausforderndsten Technologiefelder (Abs. [0005]). Insbesondere bei der hermetischen Geh\u00e4usung handele es sich um eine Schl\u00fcsseltechnologie, weil der Mikrosensor dadurch vor sch\u00e4dlichen Umwelteinfl\u00fcssen (Staub, mechanischer oder chemischer Sch\u00e4digung) abgeschirmt und dadurch seine zuverl\u00e4ssige Funktion und Lebensdauer gesteigert werde (Abs. [0005]). Dar\u00fcber hinaus w\u00fcrden moderne resonant betriebene Mikrosensoren ein spezifisches Arbeitsgas oder einen definiert eingestellten Umgebungsdruck in der Geh\u00e4usekavit\u00e4t ben\u00f6tigen, um die geforderte Funktionalit\u00e4t zu erf\u00fcllen (Abs. [0005]).<\/li>\n
  85. Das Klagepatent betrachtet sodann das vorbekannte Wafer-Level Packaging (WLP) genauer, bei welchem die Verkapselung der offenen Sensoren auf Waferebene durchgef\u00fchrt werde (Abs. [0006]). Dabei werde der Kappenwafer, der die individuellen, funktionellen Elemente der Geh\u00e4usung enthalte, mit dem Sensorwafer zusammengef\u00fcgt, so dass jeder Sensorchip mit einem entsprechenden Geh\u00e4usechip fest verbunden werde (Abs. [0006]). Erst nach dieser F\u00fcgung auf Waferebene werde dann das Waferpaar in einzelne Chips vereinzelt (Abs. [0006]). Durch diese massiv parallele Arbeitsweise habe die Geh\u00e4usung auf Waferebene gegen\u00fcber derjenigen auf Chipebene enorme Vorteile hinsichtlich Kosten, Bauteilintegrationsdichte und Ausbeute (Abs. [0006]). Im Folgenden benennt das Klagepatent konkrete Verfahren f\u00fcr die WLP Technologie (Abs. [0007]).<\/li>\n
  86. Bei der Geh\u00e4usung auf Waferebene werden, so das Klagepatent weiter, das in der Prozesskammer befindliche Gas sowie der Prozessdruck in der Kavit\u00e4t eingeschlossen, wodurch alle Bauteile des Wafers im Rahmen der Prozessuniformit\u00e4t mit dem gleichen Kavit\u00e4tendruck versehen werden, wobei sowohl Atmosph\u00e4rendruck, Subatmosph\u00e4rendruck als auch \u00dcberdruck in die Kavit\u00e4t eingeschlossen werden k\u00f6nnen (Abs. [0008]). Geringere Arbeitsdr\u00fccke als 1 \u2013 10 mbar seien in der Regel nicht einstellbar, weshalb, um einen niedrigeren Druckbereich als 1 mbar zu erhalten, zus\u00e4tzliche funktionelle Schichten, sogenannte Getterschichten, eingebracht werden m\u00fcssten (Abs. [0008]). Diese w\u00fcrden gezielt Gasmolek\u00fcle absorbieren (Abs. [0008]). Eine gro\u00dfe Anzahl solcher Gettermaterialien \u2013 von dem Klagepatent in Abschnitt [0009] konkret benannt \u2013 sei vorbekannt.<\/li>\n
  87. Vorbekannte mit Hilfe der Mikrosystemtechnik gefertigte Bauteile (MEMS)
    \nDas Klagepatent nimmt sodann auf einzelne vorbekannte Mikrovorrichtungen Bezug.<\/li>\n
  88. Die EP 0 794 558 A1 offenbare ein elektronisches Bauelement mit einem Substrat und einer Kappe in Form eines mikroelektromechanischen Systems oder MEMS, das Bauelement weise einen ersten Haupthohlraum und einen zweiten Hohlraum auf (Abs. [0010]). In dem zweiten Hohlraum befinde sich ein Getter, um dort absichtlich einen Unterdruck zu erzeugen (Abs. [0010]).<\/li>\n
  89. Aus der US 2005\/0023629 A1 sei eine Mikrovorrichtung mit einem hermetisch gedichteten Hohlraum zur Aufnahme einer Mikrostruktur mit einem Substrat und einer Kappe bekannt (Abs. [0011]). Es seien Isolationsgr\u00e4ben zwischen der Kappe und einer nebenliegenden Kontaktinsel, die ungef\u00fcllt oder mit einem isolierenden Material gef\u00fcllt sind, vorgesehen (Abs. [0011]).<\/li>\n
  90. Die WO 2005\/050751 A2 offenbare eine Verkappungseinrichtung (Deckel) f\u00fcr elektronische Vorrichtungen mit einem Substrat und einem aktiven Bereich zur im Wesentlichen hermetischen Abdichtung der elektronischen Vorrichtung (Abs. [0012]). Der Deckel weise einen Innenbereich auf, der von einer ersten Barrierestruktur umgeben sei, um die herum mit einem Zwischenraum eine zweite Barrierestruktur angeordnet sei (Abs. [0012]). In dem Innenbereich und dem Zwischenraum w\u00fcrden sich erste und zweite Schichten eines Gettermaterials befinden (Abs. [0012]).<\/li>\n
  91. Schlie\u00dflich nimmt das Klagepatent auf die US 2004\/0183214 A1 Bezug, aus der ein Schichtbauteil mit mehreren aufeinander geschichteten Einzelbauteilen, die jeweils in gesonderten Verfahrensschritten hergestellt wurden, bekannt sei (Abs. [0013]). In einem der Schichtbauteile w\u00fcrden zwei Kavit\u00e4ten mit gleicher F\u00fcllung und gleichem Zustand vorliegen (Abs. [0013]).<\/li>\n
  92. II.
    \nOhne den dargestellten Stand der Technik ausdr\u00fccklich zu kritisieren, beschreibt es das Klagepatent als seine Aufgabe, f\u00fcr die Mikrosystemtechnik vorgesehene Bauteile (MEMS) mit mindestens zwei Kavit\u00e4ten oder Hohlr\u00e4umen sowie Vielfach-Bauelement-Systeme (z. B. Wafer) mit einem Substrat und einer Kappenstruktur bereitzustellen, aus denen sich die genannten Bauteile durch Trennen (S\u00e4gen oder dgl.) herstellen lassen (Abs. [0014]). Letztlich beabsichtigt das Klagepatent auch, ein Verfahren zur Herstellung dieses Vielfach-Bauelement-Systems zu entwickeln (Abs. [0014]).<\/li>\n
  93. Daraus ist die objektive Aufgabenstellung (technisches Problem) ableitbar, eine h\u00f6here Integrationsdichte f\u00fcr MEMS zu erzielen, und so den Anteil der effektiv nutzbaren Fl\u00e4chen erheblich zu vergr\u00f6\u00dfern (Abs. [0042]). Daneben soll die nachtr\u00e4gliche Justage von Submodulen vereinfacht werden (Abs. [0042]).<\/li>\n
  94. Zu diesem Zweck offenbart Anspruch 1 eine Vorrichtung mit den folgenden Merkmalen:<\/li>\n
  95. 1. In der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil,<\/li>\n
  96. 1.1. mit einem Substrat und einer Kappenstruktur,<\/li>\n
  97. 1.1.1 die so miteinander verbunden sind, dass sie mindestens einen ersten und einen zweiten Hohlraum umschlie\u00dfen,<\/li>\n
  98. 1.1.2 die gegeneinander und gegen die Au\u00dfenumgebung abgedichtet sind,<\/li>\n
  99. 1.2 wobei wenigstens in dem ersten Hohlraum ein Drehratensensor, Beschleunigungssensor, Aktuator, Resonator, Display, digitaler Mikrospiegel, Bolometer und\/oder RF-Switch angeordnet ist,<\/li>\n
  100. dadurch gekennzeichnet, dass<\/li>\n
  101. 1.3 der erste der beiden Hohlr\u00e4ume mit einem Gettermaterial versehen ist,<\/li>\n
  102. 1.4 und aufgrund dieses Gettermaterials einen anderen Innendruck und\/oder eine andere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum.<\/li>\n
  103. III.
    \nDie angegriffene Ausf\u00fchrungsform macht von der Lehre des Klagepatents unmittelbar wortsinngem\u00e4\u00df Gebrauch. Insbesondere sind auch die zwischen den Parteien streitigen Merkmale 1 und 1.1 verwirklicht. Gleiches gilt im Hinblick auf die Merkmale 1.3 und 1.4. Die Beklagte zu 1) bringt insoweit keine weiteren Nichtverletzungsargumente vor. Die Verwirklichung der \u00fcbrigen Merkmale ist zwischen den Parteien zu Recht unstreitig, weshalb weitere Ausf\u00fchrungen unterbleiben.<\/li>\n
  104. 1.
    \nIm Hinblick auf den Streit der Parteien ist eine Auslegung der Merkmale 1 und 1.1 erforderlich.<\/li>\n
  105. Grundlage daf\u00fcr, was durch ein europ\u00e4isches Patent gesch\u00fctzt ist, ist gem. Art. 69 EP\u00dc der Inhalt der Patentanspr\u00fcche in der ma\u00dfgeblichen Verfahrenssprache (Art. 70 Abs. 1 EP\u00dc), wobei die Beschreibung und die Zeichnungen zur Auslegung der Patentanspr\u00fcche heranzuziehen sind (BGH, NJW-RR 2000, 259 (260) \u2013 Spannschraube). F\u00fcr die Auslegung entscheidend ist die Sicht des in dem jeweiligen Fachgebiet t\u00e4tigen Fachmanns. Begriffe in den Patentanspr\u00fcchen und in der Patentbeschreibung sind deshalb so zu deuten, wie sie der angesprochene Durchschnittsfachmann nach dem Gesamtinhalt der Patentschrift unter Ber\u00fccksichtigung von Aufgabe und L\u00f6sung der Erfindung versteht (BGH, ebd., (261)).<\/li>\n
  106. Vorliegend ist auf den Verst\u00e4ndnishorizont eines Ingenieurs der Elektrotechnik bzw. eines Physikers mit Hochschulabschluss, deren Ausbildungsschwerpunkt im Bereich der Halbleitertechnologie zu verorten ist, und die eine mehrj\u00e4hrige Berufserfahrung in der Entwicklung von mikromechanischen Bauteilen aufweisen.<\/li>\n
  107. Nach dieser Ma\u00dfgabe ergibt sich f\u00fcr die streitigen Merkmale das folgende Verst\u00e4ndnis:<\/li>\n
  108. a)
    \nAusweislich des nach Artt. 69, 70 EP\u00dc ma\u00dfgeblichen Wortlauts des Merkmals 1 sch\u00fctzt das Klagepatent ein<\/li>\n
  109. \u201ein der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil\u201c.<\/li>\n
  110. Orientiert an diesem Wortlaut weist der gesch\u00fctzte Gegenstand bereits alle Elemente auf, die erforderlich sind, um eine Funktion, die einem Bauteil in der Mikrosystemtechnik zukommen kann, zu \u00fcbernehmen. Der Gegenstand stellt mithin eine funktional eigenst\u00e4ndige Einheit dar, wor\u00fcber auch zwischen den Parteien kein Streit besteht. Das Merkmal erf\u00e4hrt insoweit auch eine Konkretisierung durch Merkmal 1.2, in welchem gerade Elemente des Bauteils genannt sind, die Funktionen im Bereich der Mikrosystemtechnik \u00fcbernehmen (Drehratensensor, Beschleunigungssensor, Aktuator, Resonator, Display, digitale Mikrospiegel, Bolometer, RF-Schwitch).<\/li>\n
  111. Das Bauteil nach Merkmal 1 ist \u2013 wie Merkmal 1.1 erhellt \u2013<\/li>\n
  112. \u201eaus einem Substrat und einer Kappenstruktur\u201c,<\/li>\n
  113. zusammengesetzt.<\/li>\n
  114. Diese sind so miteinander verbunden, dass die in Merkmal 1.1.1 und in Merkmal 1.1.2 genannten r\u00e4umlich-k\u00f6rperlichen Vorgaben erf\u00fcllt sind. Die Unterteilung des Hohlraums in einen ersten und einen zweiten Hohlraum (Merkmal 1.1.1) und die Abdichtung der Hohlr\u00e4ume zueinander und nach au\u00dfen (Merkmal 1.1.2) sind die Grundvoraussetzung f\u00fcr den erfindungswesentlich angestrebten Erfolg, eine h\u00f6here Integrationsdichte der mikrosystemischen Bauteile zu schaffen (Abs. [0042]). In den Hohlr\u00e4umen soll durch Anbringen eines Gettermaterials in (mindestens) einem der Hohlr\u00e4ume (Merkmale 1.3 und 1.4) jeweils ein unterschiedlicher Innendruck vorliegen,<\/li>\n
  115. \u201eErfindungsgem\u00e4\u00df kann \u00fcber die Zusammensetzung der urspr\u00fcnglichen Gasmischung (A+B) und die Menge und die Art des Gettermaterials in mindestens den ersten Kavit\u00e4ten, das sich von der Menge und\/ oder der Art des Gettermaterials in den zweiten Kavit\u00e4ten unterscheiden muss (sofern dort \u00fcberhaupt Gettermaterial vorhanden sein soll), der Enddruck der verschiedenen Subsysteme eingestellt werden.\u201c (Abs. [0020]).<\/li>\n
  116. Dadurch k\u00f6nnen Mikrosysteme, die jeweils einen unterschiedlichen Innendruck in der sie umgebenden Kavit\u00e4t erfordern (Abs. [0003], Abs. [0005]), in einem Bauteil kombiniert werden (Abs. [0001]), was wiederum die Integrationsdichte erh\u00f6ht:<\/li>\n
  117. \u201eDurch die integrierte Geh\u00e4usung von zwei oder mehreren Sensortypen mit unterschiedlichem Betriebsdruck auf einem Wafer k\u00f6nnen folgende Vorteile erzielt werden:<\/li>\n
  118. \u2022 Eine h\u00f6here Integrationsdichte ist erreichbar. Bei einer individuellen Prozessierung der unterschiedlichen Sensorsubsysteme sind periphere Fl\u00e4chen wie S\u00e4gestrasse, zus\u00e4tzliche Bondpads, Sicherheitsabst\u00e4nde etc. zu ber\u00fccksichtigen. Diese fallen bei einem kombinierten Design weg. [\u2026].\u201c (Abs. [0043]).<\/li>\n
  119. Das Klagepatent bezeichnet die gesch\u00fctzten Bauteile in seinem beschreibenden Teil auch als \u201eaktive Strukturen\u201c (Abs. [0016], Abs. [0027]) und nennt beispielhaft f\u00fcr ein solches Bauteil einen \u201eChip\u201c (Abs. Abs. [0014], [0022], Abs. [0026]).<\/li>\n
  120. b)
    \nEine Beschr\u00e4nkung der Lehre des Klagepatents auf Bauteile, bei denen eine Verbindung auf Chipebene herbeigef\u00fchrt worden ist, kann der Lehre des Klagepatents weder auf der Grundlage des Anspruchswortlauts noch bei gebotener funktionsorientierter Betrachtung entnommen werden.<\/li>\n
  121. aa)
    \nIm Hinblick auf den Herstellungsprozess des Bauteils macht der Anspruchswortlaut des Vorrichtungsanspruchs keine einschr\u00e4nkenden Vorgaben. Nach dem Beschreibungsinhalt ist diese ausdr\u00fccklich in das Belieben des Fachmannes gestellt:<\/li>\n
  122. \u201eDie Herstellung der MEMS-Bauteile erfolgt, wie bereits erw\u00e4hnt, vorzugsweise auf Mehrfachbauelement-, z.B. auf Waferebene, worauf der Wafer oder das sonstige Mehrfachbauelement in die einzelnen Bauteile (z.B. Chips) getrennt wird. Alternativ k\u00f6nnen die Bauteile nat\u00fcrlich auch einzeln aus einem geeigneten, die aktive(n) Struktur(en) tragenden Einzelsubstrat (z.B. als Basischip) und einem die mindestens zwei Kavit\u00e4ten 5, 6 abdeckenden und dabei gleichzeitig voneinander hermetisch trennenden Deckelteil (z.B. Kappenchip) erzeugt werden.\u201c (Abs. [0026]).<\/li>\n
  123. Danach ist es insbesondere unerheblich, ob das gesch\u00fctzte Bauteil mit seinen einzelnen Elementen separat, mithin wie vorbekannt auf Chipebene (Abs. [0004] hergestellt, oder ob dieses aus einem Mehrfachbauelement, mithin \u2013 wie ebenfalls vorbekannt \u2013 auf Wafer-Ebene (Abs. [0006]), nach dessen Herstellungsprozess nachtr\u00e4glich durch Trennung (z.B. Zers\u00e4gen, Abs. [0028]) erzeugt wird.<\/li>\n
  124. bb)
    \nAuch eine an der Funktion orientierte Betrachtung gebietet ein einschr\u00e4nkendes Verst\u00e4ndnis nicht.<\/li>\n
  125. Der Lehre des Klagepatents geht es um das Vorliegen eines Bauteils, welches mit den n\u00e4her beschriebenen und bereits dargelegten Eigenschaften zur Herbeif\u00fchrung des erfindungswesentlich angestrebten Erfolgs ausgestattet sein muss. Wie dieses zur Herstellung gelangt, ist dabei unerheblich. Sofern sich Bauteile, die auf Waferebene hergestellt worden sind, von denjenigen, die auf Chipebene erzeugt worden sind, voneinander unterscheiden, ist nicht erkennbar, dass dieser Unterschied f\u00fcr das Verst\u00e4ndnis der klagepatentgem\u00e4\u00dfen Lehre eine Relevanz hat. Insbesondere ergibt sich daraus nicht, dass die Herstellung des gesch\u00fctzten Bauteils aus einem Vielfach-Bauelement den klagepatentgem\u00e4\u00df beabsichtigten Erfolg negiert. Auf der Grundlage des bereits wiedergegebenen Abschnitts [0042] beabsichtigt das Klagepatent solche \u201eperipheren Fl\u00e4chen\u201c zu vermeiden, die durch die individuelle Prozessierurung unterschiedlicher Sensorsubsysteme zustande kommen, nicht aber solche Fl\u00e4chen, die aufgrund der Zerteilung eines Vielfach-Bauelements entstehen.<\/li>\n
  126. Auch Abschnitt [0029],<\/li>\n
  127. \u201eEine Ausgestaltung, die nicht zur Erfindung geh\u00f6rt, betrifft insbesondere ein Vielfach-Bauelement, vorgesehen zum sp\u00e4teren Vereinzeln unter Ausbildung aktiver Strukturen enthaltender Bauteile, wobei das Vielfach-Bauelement ein fl\u00e4chiges Substrat und eine ebenfalls fl\u00e4chig ausgebildete Klappenstruktur aufweist, die so miteinander verbunden sind, dass [\u2026.].\u201c (Hervorhebung diesseits),<\/li>\n
  128. gibt keinen Anlass f\u00fcr eine Beschr\u00e4nkung der Lehre des Klagepatents. Der Passus ist vielmehr \u2013 im Einklang mit dem Anspruchswortlaut \u2013 dahingehend zu verstehen, dass lediglich das Vielfach-Bauelement selbst, aus dem einzelne Bauteile geschaffen werden, von dem Schutzbereich ausgenommen ist, nicht aber die einzelnen Bauteile.<\/li>\n
  129. Soweit Klagepatentanspruch 7 ein Verfahren zur Herstellung der in den Anspr\u00fcchen 1 \u2013 6 gesch\u00fctzten Bauteile zum Gegenstand hat, und dieses einen Schritt des Vereinzelns nicht enth\u00e4lt, so ergibt sich auch daraus die in Rede stehende Beschr\u00e4nkung des Anspruchs 1 nicht. Dies mag den Schutzbereich des Anspruchs 7 dahingehend beschr\u00e4nken, dass mit dem gesch\u00fctzten Verfahren lediglich solche Bauteile hergestellt werden k\u00f6nnen, die auf Chipebene zusammengesetzt werden. In diesem Zusammenhang ber\u00fccksichtigt der Fachmann jedoch, dass es sich bei Anspruch 1 um einen gegen\u00fcber dem Anspruch 7 selbstst\u00e4ndigen Anspruch handelt, dessen Schutzbereich deshalb auch weiter gefasst sein kann.<\/li>\n
  130. cc)
    \nAuch ein Vergleich mit der internationalen Anmeldung des Klagepatents (WO 2007\/113325 A1; vorgelegt mit Anlagenkonvolut B&B1 als Anlage FBD B2) f\u00fchrt zu keinem anderen (engeren) Verst\u00e4ndnis.<\/li>\n
  131. Es ist bereits fraglich, ob es sich bei der Offenlegungsschrift um im Rahmen der Auslegung zu ber\u00fccksichtigendes Material handelt (ablehnend: K\u00fchnen, Hdb. d. Patentverletzung, 9. Auflage, 2017, Rn. A.77).<\/li>\n
  132. Unbeschadet dessen, lassen sich der Offenlegungsschrift aber auch keine Anhaltspunkte f\u00fcr die von den Beklagten vertretene enge Auslegung des Klagepatents entnehmen. Die Offenlegungsschrift enth\u00e4lt zwar die beschr\u00e4nkenden Abschnitte [0029] ff. nicht. Daraus l\u00e4sst sich jedoch nicht schlussfolgern, dass mit der Aufnahme derselben eine Beschr\u00e4nkung auf auf Chipebene hergestellte Bauteile erfolgen sollte. Die der Offenlegungsschrift zu entnehmenden urspr\u00fcnglichen Anspr\u00fcche 1 \u2013 9 (Anlagenkonvolut B&B1, Anlage FBD B2, S. 13 \u2013 14) sch\u00fctzen \u2013 anders als diejenigen des erteilten Patents \u2013 auch ein Vielfach-Bauelement. Ein einzelnes einsetzbares Bauteil ist hingegen erst Gegenstand der Anspr\u00fcche 12 \u2013 20 (Anlagenkonvolut B&B1, Anlage FBD B2, S. 14, 15). Dies ber\u00fccksichtigend st\u00fctzt die Streichung der auf das Vielfach-Bauelement gerichteten Anspr\u00fcche in der erteilten Patentschrift das hier im Hinblick auf die sich aus Abschnitt [0029] ergebende Beschr\u00e4nkung vertretene Verst\u00e4ndnis.<\/li>\n
  133. Auch einer Ansicht, wonach die urspr\u00fcnglichen Anspr\u00fcche 1 \u2013 9 als \u201eProduct-by-process\u201c-Anspr\u00fcche\u201c zu verstehen seien und als solche lediglich das einzelne Bauteil (und nicht das Vielfach-Bauelement) sch\u00fctzen, kann nicht beigetreten werden. Diesem Verst\u00e4ndnis steht schon der Wortlaut des urspr\u00fcnglichen Anspruchs 1, wonach ausdr\u00fccklich ein \u201eVielfach-Bauelement\u201c gesch\u00fctzt ist, entgegen. Die weitergehende Formulierung \u201evorgesehen zum sp\u00e4teren Vereinzeln unter Ausbildung aktiver Strukturen enthaltender Bauteile\u201c stellt sich insoweit lediglich als Eignungsangabe dar. Im \u00dcbrigen ist nicht erkennbar, inwiefern die klagepatentgem\u00e4\u00dfe Lehre (nach dem Offenbarungsgehalt der Offenlegungsschrift) mit der Herstellung auf Waferebene Produkteigenschaften verbindet, die gerade den erfindungswesentlich beabsichtigten Erfolg herbeif\u00fchren. Dagegen spricht zudem, dass auch bereits nach der Offenlegungsschrift beide Herstellungsverfahren, Chip- und Waferebene, erfasst sein sollten (Anlagenkonvolut B&B1, Anlage FBD B2, S. 8, Z. 26 \u2013 32).<\/li>\n
  134. Das von den Parteien in Bezug genommene Erteilungsverfahren, insbesondere der EPA-Bescheid vom 10.02.2011 und der EPA-Bescheid vom 29.04.2013 (beide vorgelegt mit Anlagenkonvolut B&B2), l\u00e4sst im \u00dcbrigen keine konkrete Stellungnahme des Pr\u00fcfers erkennen, die in einem Widerspruch zu dem vorliegend angenommenen Auslegungsergebnis steht und die als fachm\u00e4nnische \u00c4u\u00dferung von dem Verletzungsgericht zu ber\u00fccksichtigen w\u00e4re und Anlass zu einem anderen Verst\u00e4ndnis gibt.<\/li>\n
  135. 2.
    \nDie angegriffene Ausf\u00fchrungsform macht auf der Grundlage der von der Kl\u00e4gerin beschriebenen Ausgestaltung auch von den Merkmalen 1 und 1.1 unmittelbar wortsinngem\u00e4\u00df Gebrauch.<\/li>\n
  136. a)
    \nBei der Beurteilung der Verwirklichung der klagepatentgem\u00e4\u00dfen Lehre ist die Ausgestaltung der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform zugrunde zu legen, die die Kl\u00e4gerin beschreibt. Die Beklagte zu 1) tritt dem Vortrag der Kl\u00e4gerin auch insoweit nicht entgegen. Soweit die Beklagte zu 2) diesen Vortrag der Kl\u00e4gerin mit Nichtwissen bestreitet, wird sie damit ihrer Vortragslast nicht gerecht.<\/li>\n
  137. Die Beklagte zu 2) kann sich nicht darauf beschr\u00e4nken, den substantiierten Vortrag der Kl\u00e4gerin zur Ausgestaltung der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform lediglich pauschal zu bestreiten (vgl. Grabinski\/ Z\u00fclch, PatG, Kommentar, 11. Auflage, 2015, \u00a7 139, Rn. 116; K\u00fchnen, Hdb. der Patentverletzung, 9. Auflage, 2017, Kap. E.141, E.143). Bei der W\u00fcrdigung des Gegenvortrags sind zwar auch die Erkenntnism\u00f6glichkeiten, die der vermeintliche Verletzter im Hinblick auf die angegriffene Ausf\u00fchrungsform hat, zu ber\u00fccksichtigen (a.a.O.). Diese lassen vorliegend jedoch nicht erkennen, dass der Beklagten zu 2) ein konkreter Vortrag hinsichtlich der Ausgestaltung der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform nicht m\u00f6glich ist.<\/li>\n
  138. Die Beklagte zu 2) vertreibt die angegriffene Ausf\u00fchrungsform selbst, hat mithin eine M\u00f6glichkeit zur Inaugenscheinnahme und Untersuchung derselben (vgl. dazu auch: K\u00fchnen, ebd., Kap. E.147). Dass dies f\u00fcr die Beklagte zu 2) mit einem unzumutbaren Aufwand verbunden ist, ist weder vorgetragen noch erkennbar.<\/li>\n
  139. Des Weiteren kann die Beklagte zu 2) bei ihrem Lieferanten Erkundigungen \u00fcber die Ausgestaltung der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform einholen, weshalb ihr auch ein Bestreiten mit Nichtwissen gem. \u00a7 138 Abs. 3 ZPO (bis zu dem erfolglosen Versuch, die Erkundigung einzuholen) nicht m\u00f6glich ist (K\u00fchnen, ebd., Kap. E.145). In diesem Zusammenhang ist auch zu beachten, dass die Streitverk\u00fcndete zu 2), die dem die Beklagte zu 2) beliefernden Konzern angeh\u00f6rt, den Vortrag der Kl\u00e4gerin im Hinblick auf die Ausgestaltung der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform in dem Verfahren 4a O 43\/16 nicht bestreitet. Auch die Beklagte zu 2) nimmt auf den Akteninhalt dieses Parallelverfahrens im \u00dcbrigen umfangreich Bezug.<\/li>\n
  140. Soweit die Beklagte zu 2) einen Zusammenhang zwischen dem von der Kl\u00e4gerin untersuchten Produkt und dem von ihr angebotenen Produkt auch deshalb in Frage stellt, weil die Bezeichnung des Produkts der Beklagten zu 2) \u201eH\u201c laute, w\u00e4hrend die Kl\u00e4gerin ein Produkt mit der Bezeichnung \u201eI\u201c nenne, steht auch dies einem schl\u00fcssigen Vortrag der Kl\u00e4gerin nicht entgegen. Denn die Kl\u00e4gerin hat erg\u00e4nzend und nachvollziehbar vorgebracht, dass das K\u00fcrzel \u201eTR\u201c f\u00fcr \u201eTray\u201c stehe und lediglich eine bestimmte Gebindeform, in der das Bauteil I verkauft werde, bezeichne, mithin damit keine unterschiedliche Ausgestaltung der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform einhergehe. Daf\u00fcr spricht auch das Datenblatt der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform (Anlage K9), in der dortigen Tabelle 1 (Table 1. Device Summary) unterscheiden sich die Angaben im Hinblick auf das Produkt mit der Bezeichnung \u201eH\u201c und dasjenige mit der Bezeichnung \u201eI\u201c nur im Hinblick auf die \u201ePackage\u201c-Angabe.<\/li>\n
  141. Schlie\u00dflich hat die Kl\u00e4gerin, wof\u00fcr die als Anlage K8 vorgelegte Rechnung spricht, auch eine angegriffene Ausf\u00fchrungsform aus dem Konzern der Streitverk\u00fcndeten zu 2) bezogen.<\/li>\n
  142. b)
    \nDie angegriffene Ausf\u00fchrungsform ist eine Vorrichtung, die dazu in der Lage ist, die Funktion eines Bauteils der Mikrosystemtechnik zu \u00fcbernehmen, indem sie mit einem Beschleunigungs- und Drehratensensor ausgestattet ist. Sie weist eine Kappe und ein Substrat auf, welche zwei Hohlr\u00e4ume ausbilden, die gegeneinander und gegen die Au\u00dfenumgebung abgedichtet sind. Dass die angegriffene Ausf\u00fchrungsform durch Vereinzelung des Bauteils aus einem Vielfach-Bauelement entstanden ist, f\u00fchrt aus der Lehre des Schutzbereichs, der den Herstellungsprozess nicht betrifft, nicht heraus.<\/li>\n
  143. IV.
    \nEs liegen auch inl\u00e4ndische Angebots- und Lieferungshandlungen der Beklagten zu 1) und der Beklagten zu 2) im Sinne von \u00a7 9 Satz 2 Nr. 1 PatG vor.<\/li>\n
  144. Die Beklagte zu 1) bietet die angegriffene Ausf\u00fchrungsform im Gebiet der Bundesrepublik Deutschland \u00fcber ihre Internetseite www.B.de an und vertreibt diese. Dies wird von der Beklagten zu 1) nicht bestritten und ergibt sich zudem auch aus dem screenshot von der Internetseite (vgl. Klageschrift v. 11.07.2016, S. 10, Bl. 10 GA, unten).<\/li>\n
  145. Auch Angebots- und Vertriebshandlungen der Beklagten zu 2) ergeben sich schl\u00fcssig aus dem von der Kl\u00e4gerin in Bezug genommenen screenshot von der Internetseite der Beklagten zu 2) mit der Adresse de.F.com (vgl. Klageschrift vom 11.07.2016, S. 11, Bl. 11 GA, unten). Das dort angebotene Produkt wird als \u201eA E\u201c MEMS-Modul beschrieben. Des Weiteren wird als Hersteller \u201eA\u201c und die Herstellernummer der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform (E) genannt. Bestandteil des streitgegenst\u00e4ndlichen Angebots ist auch eine Bestellnummer, sowie eine Verlinkung mit einer Option \u201eKaufen\u201c.<\/li>\n
  146. V.
    \nDie Beklagten sind unter keinem rechtlichen Gesichtspunkt zur Nutzung der durch das Klagepatent gesch\u00fctzten Lehre berechtigt.<\/li>\n
  147. 1.
    \nDie Beklagte zu 1) kann sich nicht aufgrund einer zwischen ihr und der Streitverk\u00fcndeten zu 2) bestehenden Vertriebsvereinbarung auf ein Nutzungsrecht berufen. Denn die Streitverk\u00fcndete zu 2) ist, soweit die Lehre des Klagepatents betroffen ist, zur Einr\u00e4umung von Nutzungsrechten nicht berechtigt.<\/li>\n
  148. Es kann schon nicht festgestellt werden, dass die Streitverk\u00fcndete zu 2) nach Ma\u00dfgabe des zwischen der Kl\u00e4gerin und der A Italy geschlossenen Konsortialvertrags ihrerseits zur Nutzung der klagepatentgem\u00e4\u00dfen Lehre berechtigt ist.<\/li>\n
  149. a)
    \nZwar sieht Art. 10.1.1 KV vor, dass die vertragsschlie\u00dfenden Parteien jeweils berechtigt sind, eine gemeinsam im Rahmen des G-Projekts entwickelte, durch ein Patent gesch\u00fctzte Lehre zu nutzen und Unterlizenzen zu erteilen, was dann gem. Art. 8.5 lit. c) KV auch f\u00fcr mit den beteiligten Parteien verbundene Unternehmen Geltung entfalten kann.<\/li>\n
  150. Auf der Grundlage des Beklagtenvorbringens, wie sich dieses bei Ber\u00fccksichtigung des kl\u00e4gerischen Gegenvortrags (jeweils unter Einbeziehung des Parteivortrags in der beigezogenen Akte des Verfahrens 4a O 43\/16) analog \u00a7 286 Abs. 1 Satz 1 ZPO darstellt, bestehen jedoch keine hinreichenden Anhaltpunkte daf\u00fcr, dass die Lehre des Klagepatents der gemeinsamen Arbeit des G-Projektes entstammt.<\/li>\n
  151. aa)
    \nDie anf\u00e4ngliche Problemstellung der G-Forschungsarbeiten stimmt mit dem technischen Problem, deren L\u00f6sung das Klagepatent beabsichtigt, nicht \u00fcberein \u2013 was die Kammer als ein Indiz gegen eine \u00dcbereinstimmung der Projektergebnisse mit dem Gegenstand der gesch\u00fctzten Lehre w\u00fcrdigt.<\/li>\n
  152. W\u00e4hrend das Klagepatent anstrebt, die Integrationsdichte von MEMS zu erh\u00f6hen, indem ein einsetzbares Bauteil zwei aktive Strukturen mit unterschiedlichem Bedarf an Innendruck in den Kavit\u00e4ten beherbergen kann (vgl. ausf\u00fchrlich dazu unter Ziff. I. und Ziff. II.), war es die Zielsetzung des G-Projekts, in einem MEMS \u00fcberhaupt ein langlebiges Hochvakuum (Hochvakuum von \u02c2 10-4 mbar) mit einem bestimmten Druck erzeugen zu k\u00f6nnen.<\/li>\n
  153. Die G-Projektarbeiten gingen dabei insbesondere von dem Problem aus, dass im Rahmen des Bondings, das hei\u00dft der Verbindung zwischen Sensorsubstrat und Kappe, eine starke Erhitzung stattfindet, wodurch die in der Bondingkammer befindlichen Materialien Gase absonderten. Durch diese sog. Ausgasung ver\u00e4nderte sich der Gasdruck innerhalb der Kammer, so dass ein spezifisches Druckverh\u00e4ltnis nicht eingestellt werden konnte.<\/li>\n
  154. bb)
    \nDie Kammer vermag dar\u00fcber hinaus aber auch die aus den Projektarbeiten resultierenden Ergebnisse nicht in einem ausreichenden Umfang mit dem Gegenstand des Klagepatents in \u00dcbereinstimmung zu bringen.<\/li>\n
  155. (1)
    \nIm Rahmen des G-Projekts wurde unstreitig reaktives Gettermaterial in Kavit\u00e4ten eingesetzt, um Gas zu absorbieren. In diesem Zusammenhang gelangten auch Testwafer, wie nachfolgend abgebildet (links: Grobansicht; rechts: Detailansicht):<\/li>\n
  156. zum Einsatz, bei denen von zwei nebeneinanderliegenden Hohlr\u00e4umen einer mit einem Gettermaterial versehen war (Merkmal 1.3), und die gegeneinander und gegen die Au\u00dfenumgebung abgedichtet waren (Merkmal 1.1.2.). Ergebnis der G-Projektarbeiten in diesem Zusammenhang war weiter eine spezielle Bonding-Technik, insbesondere die Wafer-Klebetechnologie mittels Gold-Silizium Eutektikum (\u201eAu-Si-Bonding\u201c). Auch die Kl\u00e4gerin r\u00e4umt insoweit ein, dass sich die Merkmale 1.1.2, 1.2 und 1.3 des Klagepatents den G-Projektarbeiten entnehmen lassen.<\/li>\n
  157. In diesem Zusammenhang sieht die Kammer zwar, dass die Druckverh\u00e4ltnisse in zwei nebeneinanderliegenden Hohlr\u00e4umen auch im Sinne des Merkmals 1.4 unterschiedlich gewesen sein k\u00f6nnen, so dass sich die Lehre des Klagepatents bei Vereinzelung des Test-Wafers \u201ereflexartig\u201c aus den Forschungsarbeiten zu G ergeben mag (vgl. insoweit auch die Gegen\u00fcberstellung der Projektergebnisse mit den Merkmalen des Klagepatentanspruchs, Anlagenkonvolut B&B1, Anlage FBD B14 sowie die technischen Zeichnungen, Anlagenkonvolut B&B4, Anlage FBD B21a, Rn. 29, Rn. 30 und Rn. 42). Dass jedoch der Innendruck in den benachbarten Kavit\u00e4ten im Rahmen von G im Sinne einer technischen Ausf\u00fchrbarkeit beeinflusst worden ist, vermag die Kammer daraus nicht abzuleiten. Der Problemansatz des G-Projekts spricht vielmehr daf\u00fcr, dass die eingesetzten Testwafer in erster Linie dazu dienten, zu untersuchen, inwiefern das Gettermaterial zur Absorption von Gasmolek\u00fclen verwendet werden kann, um den Innendruck in einem Hohlraum \u00fcberhaupt (nicht hingegen unterschiedlich zu einem Innendruck in einem benachbarten Raum) einzustellen.<\/li>\n
  158. (2)
    \nZweifel daran, dass die klagepatentgem\u00e4\u00dfe Lehre in technisch ausf\u00fchrbarer Weise aus den Projektarbeiten folgte, ergeben sich f\u00fcr die Kammer insbesondere daraus, dass das Klagepatent \u2013 wie die Anspr\u00fcche 7 \u2013 9 sowie der Abschnitt [0028] zeigen \u2013 darauf basiert, dass auch ein Verfahren zur Herstellung der gesch\u00fctzten Vorrichtung offenbart wird.<\/li>\n
  159. Schritt d) des nach Anspruch 7 gesch\u00fctzten Verfahrens lautet insbesondere:<\/li>\n
  160. \u201eFluten der Prozesskammer mit einem Prozessgas, enthaltend eine oder bestehend aus einer Gassorte A, die von dem oder einem ersten Gettermaterial absorbiert werden kann, und ggf. einer Gassorte B, die von diesem Gettermaterial nicht oder in substantiell geringem Ausma\u00df absorbiert werden kann, wobei die Gassorte A mit dem Partialdruck PA und Gassorte B mit dem Partialdruck PB vorliegt,\u201c.<\/li>\n
  161. Die abh\u00e4ngigen Verfahrensanspr\u00fcche 7 und 8 konkretisieren den Einsatz der Gassorten in den Prozesskammen und deren Zusammenspiel im Hinblick auf die in den benachbarten Kammern herrschenden Druckverh\u00e4ltnisse weiter. Die Abschnitte [0036] \u2013 [0039] enthalten zudem Beispiele f\u00fcr Versuche im Hinblick auf die in die Bondkammer eingebrachten Gasmischungen.<\/li>\n
  162. Den von der Beklagten zu 1) in Bezug genommenen Projektarbeiten l\u00e4sst sich demgegen\u00fcber nicht entnehmen, dass vergleichbare, zur Ausf\u00fchrbarkeit der technischen Lehre f\u00fchrende Versuche vorgenommen und entsprechende Ergebnisse erzielt worden sind.<\/li>\n
  163. Auch das im Rahmen des Schiedsverfahrens von der Streitverk\u00fcndeten zu 2) und der A Italy zu der Frage, ob die beanspruchte Lehre des Klagepatents ein Resultat der G Projektergebnisse darstellt, und ob A Italy zu diesen beigetragen hat, vorgelegte Privatgutachten des Prof. Dr. J K (deutsche \u00dcbersetzung vorgelegt mit Anlagenkonvolut B&B4, Anlage FBD B22a) veranlasst die Kammer insoweit zu keiner andere W\u00fcrdigung des Parteivorbringens.<\/li>\n
  164. Das Privatgutachten verh\u00e4lt sich auf den Seiten 16 \u2013 27 zun\u00e4chst dazu, dass sich die in Anspruch 1 des Klagepatents zum Ausdruck gebrachte Lehre aus den Forschungsarbeiten ergebe. Weiter verkennt die Kammer nicht, dass der private Gutachter auf den Seiten 28 \u2013 35 mit Blick auf die Klagepatentanspr\u00fcche 7 \u2013 9 dazu ausf\u00fchrt, inwieweit auch im Rahmen der G-Forschungsarbeiten Gase in Kavit\u00e4ten eingebracht worden sind.<\/li>\n
  165. Die in Bezug genommenen Gutachtenpassagen gehen jedoch nicht \u00fcber den hiesigen Beklagtenvortrag hinaus, weshalb auch diese nicht hinreichend erkennen lassen, dass
    \neine Vorrichtung im Sinne des Klagepatents anhand der Ergebnisse des Forschungsprojekts ausf\u00fchrbar war. Insbesondere kann das von dem Gutachter beschriebene Einbringen von Gasen in eine Kammer nicht hinreichend in eine Verbindung mit dem Herstellen unterschiedlicher Druckverh\u00e4ltnisse in benachbarten Kammern gebracht werden.<\/li>\n
  166. (3)
    \nAuch ergibt sich aus Sicht der Kammer aus der Tatsache, dass die Kl\u00e4gerin die zuk\u00fcnftige Verwendung der Projektergebnisse in einem Ergebnisbericht zu dem Projekt (Bericht zum Arbeitsergebnis D6.3) unter anderem mit der nachfolgenden Abbildung angab (vgl. Anlagenkonvolut B&B4, Anlagenkonvolut FBD B20a; deutsche \u00dcbersetzung: Anlagenkonvolut FBD 20b, dort S. 7, Abbildung 3):<\/li>\n
  167. kein f\u00fcr sich oder in einer Gesamtschau ausreichendes Indiz f\u00fcr die Richtigkeit des Beklagtenvorbringens.<\/li>\n
  168. Denn auch aus der Abbildung l\u00e4sst sich eine ausf\u00fchrbare Lehre nicht hinreichend ableiten. Vielmehr spricht der zu der Abbildung geh\u00f6rende Beschreibungstext,<\/li>\n
  169. \u201eDie k\u00fcnftigen Arbeiten werden die Integration von 3D-Beschleunigungsmessern und 3D-Gyrometern in einer Verpackungsl\u00f6sung beinhalten \u2013 siehe dazu Abbildung 3.\u201c (Anlagenkonvolut B&B4, Anlagenkonvolut FBD B20b, S. 7),<\/li>\n
  170. daf\u00fcr, dass \u2013 worauf sich die Kl\u00e4gerin auch beruft \u2013 die Schaffung von Hohlr\u00e4umen mit unterschiedlichen Kavit\u00e4ten in einem Bauteil eine zuk\u00fcnftig noch zu l\u00f6sende Forschungsaufgabe darstellt.<\/li>\n
  171. b)
    \nDa schon das Parteivorbringen keine hinreichenden Anhaltspunkte daf\u00fcr erkennen l\u00e4sst, dass die Lehre des Klagepatents dem G-Projekt entstammt, war von einer Erhebung der angebotenen Beweise abzusehen. Denn eine solche h\u00e4tte sich als in unzul\u00e4ssigerweise ausforschend dargestellt.<\/li>\n
  172. c)
    \nVor dem Hintergrund, dass nicht festgestellt werden kann, dass sich die technische Lehre des Klagepatents aus den G-Projektarbeiten ergibt, kann auch dahinstehen, ob sich ein Nutzungsrecht der Streitverk\u00fcndeten zu 2) sowie ein Recht zur Unterlizenzierung weiter auch aus Art. 13.1 Annex II, Art. 10.4.2 KV i. V. m. Art. 8.5 lit. c) KV ergibt. Denn auch insoweit bestehen Nutzungsrechte lediglich an solchen Patenten, deren gesch\u00fctzte Lehre unmittelbar aus den Forschungsarbeiten erw\u00e4chst, Art. 1.1 KV i. V. m. Art. 1.21 Annex II.<\/li>\n
  173. d)
    \nSoweit sich die Beklagte zu 1) weiter auch darauf beruft, dass der Streitverk\u00fcndeten zu 2) als Miterfinderin \u201eorigin\u00e4re Nutzungs- und Verwertungsrechte\u201c zustehen w\u00fcrden, so steht dem einerseits entgegen, dass nicht die Streitverk\u00fcndete zu 2), sondern die A Italy G-Projektpartnerin war und eine Beteiligung der Streitverk\u00fcndeten zu 2) an den Projektarbeiten vor diesem Hintergrund nicht erkennbar ist. Andererseits ist aber auch eine etwaige Stellung als Miterfinder allein zur Begr\u00fcndung einer Nutzungsberechtigung nicht ausreichend, solange ausschlie\u00dflich die Kl\u00e4gerin Inhaberin des Klagepatents ist.<\/li>\n
  174. 2.
    \nDie Beklagte zu 2) hat sich schon nicht auf eine Rechteeinr\u00e4umung durch die Streitverk\u00fcndete zu 2) berufen. Sie hat auch keine hinreichenden Tatsachen vorgebracht, aus denen sich ein Ersch\u00f6pfungstatbestand ergibt.<\/li>\n
  175. Der Einwand der Ersch\u00f6pfung kommt dann in Betracht, wenn das patentierte Erzeugnis in einem Vertragsstaat der EU bzw. des EWR (Schweiz geh\u00f6rt nicht dazu) mit Billigung des Berechtigten willentlich in den Verkehr gebracht worden ist (K\u00fchnen, ebd., Rn. E.490, E.497). Ausreichend ist auch, wenn ein Dritter das Erzeugnis mit \u2013 ausdr\u00fccklicher oder konkludenter \u2013 Billigung des Schutzrechtsinhabers in den Verkehr gebracht hat, weil der Dritte beispielsweise bei dem Inverkehrbringen des Erzeugnisses innerhalb einer ihm einger\u00e4umten Lizenz handelt (a.a.O.).<\/li>\n
  176. Unbeschadet dessen, dass vorliegend schon nicht anzunehmen ist, dass die Streitverk\u00fcndete zu 2) die angegriffene Ausf\u00fchrungsform im Rahmen einer ihr einger\u00e4umten Lizenz in den Verkehr bringt (dazu unter Ziff. 1.), ist vorliegend auch nicht erkennbar, dass sich die \u00dcbergabe der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform an den Konzern der Beklagten zu 2) in einem Vertragsstatt der EU bzw. des EWR vollzieht. Vor dem Hintergrund, dass die Streitverk\u00fcndete zu 2) jedenfalls auch in der Schweiz ans\u00e4ssig ist, kann nicht ausgeschlossen werden, dass ein Inverkehrbringen der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform durch die Streitverk\u00fcndete zu 2) auch dort erfolgt.<\/li>\n
  177. VI.
    \nAufgrund der festgestellten Benutzung der Lehre des Klagepatents, zu der die Beklagten nicht berechtigt sind, stehen der Kl\u00e4gerin die geltend gemachten Anspr\u00fcche zu.<\/li>\n
  178. 1.
    \nDie Beklagten sind gem. Art. 64 Abs. 1, 3 EP\u00dc i. V. m. \u00a7 139 Abs. 1 PatG zur Unterlassung verpflichtet.<\/li>\n
  179. 2.
    \nDie Beklagten sind weiter gem. Art. 64 Abs. 1, 3 EP\u00dc i. V. m. \u00a7 140b Abs. 1, 3 PatG zur Erteilung der mit dem Antrag Ziff. I. 2. begehrten Ausk\u00fcnfte ab Ver\u00f6ffentlichung des Hinweises auf die Patenterteilung (11.06.2014) sowie zur Belegvorlage in dem begehrten Umfang verpflichtet. Anhaltspunkte daf\u00fcr, dass die Inanspruchnahme der Beklagten unverh\u00e4ltnism\u00e4\u00dfig im Sinne von \u00a7 140b Abs. 4 PatG ist, bestehen nicht.<\/li>\n
  180. Eine Verpflichtung der Beklagten zur Rechnungslegung, wie mit dem Antrag Ziff. I. 3. begehrt, besteht gem. Art. 64 Abs. 1, 3 EP\u00dc i. V. m. \u00a7\u00a7 242, 259 BGB, damit die Kl\u00e4gerin in die Lage versetzt wird, die ihr nach Ma\u00dfgabe der Ausf\u00fchrungen unter Ziff. 4. zustehenden Entsch\u00e4digungs- und Schadensersatzanspr\u00fcche zu beziffern. Die Kl\u00e4gerin ist auf die tenorierten Angaben angewiesen, \u00fcber die sie ohne eigenes Verschulden nicht verf\u00fcgt. Die Beklagten werden durch die von ihnen verlangte Auskunftserteilung auch nicht erkennbar unzumutbar belastet.<\/li>\n
  181. 3.
    \nDie Kl\u00e4gerin hat gegen die Beklagten gem. Art. 64 Abs. 1, 3 EP\u00dc i. V. m. \u00a7 140a Abs. 3 Satz 1 PatG einen R\u00fcckrufanspruch und gem. Art. 64 Abs 1, 3 EP\u00dc i. V. m. \u00a7 140a Abs. 1 PatG einen Anspruch auf Vernichtung. Tatsachen, die die Unverh\u00e4ltnism\u00e4\u00dfigkeit der Vernichtung oder des R\u00fcckrufs begr\u00fcnden, sind weder vorgetragen noch erkennbar.<\/li>\n
  182. 4.
    \nDer Kl\u00e4gerin steht ein Entsch\u00e4digungsanspruch gem. Art. II \u00a7 1 Abs. 1 Satz 1 IntPat\u00dcG zu.<\/li>\n
  183. Die Vorschrift gew\u00e4hrt dem Patentinhaber f\u00fcr die Benutzung des Gegenstandes einer offengelegten europ\u00e4ischen Patentanmeldung (hier 24.12.2008) einen Entsch\u00e4digungsanspruch, wenn der Benutzer wusste oder wissen musste, dass die von ihm benutzte Erfindung Gegenstand einer offen gelegten Anmeldung ist (K\u00fchnen, ebd., Rn. D.339). Da die Anmeldung vorliegend in deutscher Verfahrenssprache erfolgte, kommt es auf den Zeitpunkt des Vorliegens einer deutschen \u00dcbersetzung gem. Art. II \u00a7 1 Abs. 2 IntPat\u00dcG nicht an.<\/li>\n
  184. Der Schadensersatzanspruch der Kl\u00e4gerin folgt aus Art. 64 Abs. 1, 3 EP\u00dc i. V. m. \u00a7 139 Abs. 2 PatG.<\/li>\n
  185. Als Fachunternehmen h\u00e4tte es den Beklagten jeweils oblegen, zu pr\u00fcfen, ob die angebotenen und gelieferten Produkte Schutzrechte Dritter, unter anderem das Klagepatent, verletzen. Bei einer entsprechenden \u00dcberpr\u00fcfung w\u00e4re dies f\u00fcr sie auch ohne weiteres zu erkennen gewesen. Indem sie eine entsprechende Pr\u00fcfung unterlie\u00dfen, haben die Beklagten die im Verkehr erforderliche Sorgfalt missachtet, \u00a7 276 Abs. 2 BGB.<\/li>\n
  186. Die Kl\u00e4gerin hat an der begehrten Feststellung auch das erforderliche rechtliche Interesse im Sinne von \u00a7 256 Abs. 1 ZPO. Die Entstehung eines Schadens auf Seiten der Kl\u00e4gerin ist hinreichend wahrscheinlich. Eine Bezifferung dieses Schadens ist ihr nicht m\u00f6glich, weil sie ohne Verschulden \u00fcber die Informationen, die sie mit dem Klageantrag Ziff. I. 3. begehrt, in Unkenntnis ist.<\/li>\n
  187. VII.
    \nEine Aussetzung der Verhandlung aufgrund des anh\u00e4ngigen Nichtigkeitsverfahrens gem. \u00a7 148 ZPO kommt nicht in Betracht.<\/li>\n
  188. 1.
    \nNach \u00a7 148 ZPO kann das Gericht bei der Vorgreiflichkeit eines anderen Verfahrens einen Rechtsstreit aussetzen. Die Vorgreiflichkeit ist aufgrund der festgestellten, unstreitigen Verletzung des Klagepatents hinsichtlich des anh\u00e4ngigen Nichtigkeitsverfahrens gegeben. Die Erhebung einer Nichtigkeitsklage stellt jedoch ohne weiteres noch keinen Grund dar, den Verletzungsrechtsstreit auszusetzen. Die Patenterteilung ist auch f\u00fcr die (Verletzungs-) Gerichte bindend. Wegen der gesetzlichen Regelung, die f\u00fcr die Anspr\u00fcche nach \u00a7\u00a7 139\u2009ff. PatG lediglich ein in Kraft stehendes Patent verlangt und f\u00fcr die Beseitigung dieser Rechtsposition nur die in die ausschlie\u00dfliche Zust\u00e4ndigkeit des Patentgerichts fallende Nichtigkeitsklage bzw. den Einspruch vor dem jeweiligen Patentamt zur Verf\u00fcgung stellt, kann der Angriff gegen das Klagepatent nicht als Einwand im Verletzungsverfahren gef\u00fchrt werden. Jedoch darf dies nicht dazu f\u00fchren, dass diesem Angriff jede Auswirkung auf das Verletzungsverfahren versagt wird. Die Aussetzung des Verletzungsstreits im Rahmen der nach \u00a7 148 ZPO zu treffenden Ermessenentscheidung ist vielmehr grunds\u00e4tzlich, aber auch nur dann geboten, wenn mit hinreichender Wahrscheinlichkeit zu erwarten ist, dass das Klagepatent der erhobenen Nichtigkeitsklage oder dem erhobenen Einspruch nicht standhalten wird (BGH, GRUR 2014, 1237, 1238 \u2013 Kurznachrichten; OLG D\u00fcsseldorf, Urteil vom 11.06.2015 \u2013 Az. 2 U 64\/14, S. 29 f.).<\/li>\n
  189. 2.
    \nOrientiert an diesem Ma\u00dfstab kann vorliegend nicht mit der f\u00fcr eine Aussetzung erforderlichen Wahrscheinlichkeit angenommen werden, dass das Klagepatent vernichtet wird.<\/li>\n
  190. a)
    \nInsbesondere ist eine Vernichtung des Klagepatents wegen fehlender Neuheit gem. Art. 138 Abs. 1, Art. 54 Abs. 1 EP\u00dc nicht hinreichend wahrscheinlich.<\/li>\n
  191. Eine Entgegenhaltung ist dann neuheitssch\u00e4dlich, wenn sich die gesamte als Erfindung beanspruchte Lehre des Klagepatents aus dieser Schrift, deren Gesamtinhalt zu ermitteln ist, f\u00fcr den Fachmann am Priorit\u00e4tstag in einer Weise ergibt, dass ihm die dort vorgestellte technische L\u00f6sung unmittelbar und eindeutig s\u00e4mtliche Merkmale der Erfindung offenbart (BGH, GRUR 2009, Rn. 25 \u2013 Olanzapin). Dabei beschr\u00e4nkt sich die technische Lehre bei Patentschriften nicht auf den Inhalt der Anspr\u00fcche, sondern schlie\u00dft die gesamte technische Information ein, die ein Durchschnittsfachmann Anspr\u00fcchen, Beschreibung und Abbildungen entnehmen kann (a. a. O.).<\/li>\n
  192. Dies ber\u00fccksichtigend ergibt sich im Hinblick auf die einzelnen Entgegenhaltungen, die in dem Verfahren 4a O 43\/16 von der Beklagten (jeweils ohne vollst\u00e4ndige deutsche \u00dcbersetzung) vorgelegte werden, und auf welche sich die Beklagten in dem hiesigen Verfahren beziehen, Folgendes:<\/li>\n
  193. aa)
    \nDer in Abschnitt [0004] des Klagepatents erw\u00e4hnte Ver\u00f6ffentlichung \u201ePSM-X2: Polysilicon surface micromachining process platform for vacuum-packaged sensors\u201c von P. Merz, W. Reinert, K. Reimer und B. Wagner, Konferenzband Mikrosystemtechni-Kongress, 2005, VDE-Verlag, 2005, S. 467 \u2013 470 (nachfolgend und im Nichtigkeitsverfahren: E1, vorgelegt mit Anlagenkonvolut B&B3), mittels derer mikroelektromechanische Systeme gekapselt werden k\u00f6nnen, kann jedenfalls eine eindeutige und unmittelbare Vorwegnahme des Merkmals 1.1.1 und des Merkmals 1.1.2 sowie des Merkmals 1.4 nicht entnommen werden.<\/li>\n
  194. Es kann deshalb auch dahinstehen, ob die E1 als Stand der Technik zu ber\u00fccksichtigen ist \u2013 wof\u00fcr spricht, dass sich aus der Akzessionsbescheinigung der TIB Hannover (Anlage B&B6) ergibt, dass die Entgegenhaltung am 11.01.2006 in den Bibliotheksbestand aufgenommen worden ist, so dass die \u00d6ffentlichkeit \u2013 was ausreichend ist (Melullis, in: Benkard, PatG, Kommentar, 11. Auflage, 2015, \u00a7 3, Rn. 84) \u2013 die M\u00f6glichkeit zur Kenntnisnahme hatte.<\/li>\n
  195. (1)
    \nDie Figur 1 der E1 (nachfolgend verkleinert wiedergegeben):<\/li>\n
  196. l\u00e4sst ein Substrat (A) Sensor) und eine Kappenstruktur (B) cap) im Sinne des Merkmals 1.1 erkennen, jedoch umschlie\u00dfen diese lediglich einen Hohlraum und nicht, wie von Merkmal 1.1.1 verlangt, mindestens zwei Hohlr\u00e4ume.<\/li>\n
  197. Auch unter Hinzunahme der Passage auf Seite 470 der Ver\u00f6ffentlichung (dort unter Pkt. 7),<\/li>\n
  198. \u201eZuk\u00fcnftige Arbeit wird die Integration von 3D Beschleunigungsmessern und 3D Gyrometern in einer Einchip-L\u00f6sung umfassen.\u201c,<\/li>\n
  199. ist die klagepatentgem\u00e4\u00df vorgesehene Struktur mindestens zweier Hohlr\u00e4ume, die durch ein Substrat und eine Kappenstruktur umschlossen sind, nicht hinreichend deutlich ableitbar. Aus Sicht der Kammer verbleibt danach vielmehr die naheliegende M\u00f6glichkeit, dass zwar eine Einchip-L\u00f6sung als w\u00fcnschenswert dargestellt wird, damit jedoch keine konkrete technische Ausgestaltung verbunden ist. Daf\u00fcr spricht auch die Tatsache, dass mit Figur 1 eine Struktur aufgezeigt wird, bei welcher durch die Verbindung von Substrat und Kappe lediglich ein Hohlraum entsteht.<\/li>\n
  200. (2)
    \nVor dem Hintergrund, dass der E1 schon die Ausbildung zweier oder mehrerer Hohlr\u00e4ume durch das Substrat und die Kappenstruktur nicht zu entnehmen ist, l\u00e4sst sich auch eine Abgrenzung dieser nach au\u00dfen und gegeneinander (Merkmal 1.1.2) sowie ein unterschiedlicher Innendruck durch Einsatz eines Gettermaterials in einem Hohlraum (Merkmal 1.4) nicht erkennen.<\/li>\n
  201. In der E1 findet eine hermetische Abgrenzung durch sog. \u201ewafer-level-packaging\u201c zwar eine Erw\u00e4hnung (S. 468 unter Pkt. 2, C). Diese Passage kann sich jedoch ebenso auf die \u00e4u\u00dfere Abgrenzung nur eines Hohlraums beziehen, was vor dem Hintergrund des Offenbarungsgehalts der Figur 1, die in unmittelbarem Zusammenhang mit dem in Bezug genommenen Passus steht, auch naheliegender ist. Im \u00dcbrigen f\u00fchren die Beklagten lediglich an, dass zwei Hohlr\u00e4ume schon aus funktionalen Gr\u00fcnden auch gegeneinander abgedichtet sein m\u00fcssten. Gegen ein solches zwingendes Verst\u00e4ndnis spricht vorliegend, dass \u2013 wie die Kl\u00e4gerin gegen die Notwendigkeit unterschiedlichen Drucks in zwei Hohlr\u00e4umen anf\u00fchrt \u2013 Gyroskop und Beschleunigungssensor auch in einer Kammer untergebracht sein k\u00f6nnen, weil beide einen niedrigen Umgebungsdruck ben\u00f6tigen.<\/li>\n
  202. Vergleichbar stellt sich der Offenbarungsgehalt der E1 im Zusammenhang mit einer Vorwegnahme des Merkmals 1.4 dar. Der blo\u00dfe Umstand, dass beschrieben ist, dass ein Gettermaterial geeignet ist, die Druckverh\u00e4ltnisse in einem Hohlraum auch unter 1 mbar zu \u00e4ndern (S. 469, Pkt. 5), sagt nichts \u00fcber die Verwendung des Gettermaterials in zwei durch eine Substrat- und eine Kappenstruktur gebildeten Hohlr\u00e4umen aus.<\/li>\n
  203. bb)
    \nIm Hinblick auf die vorgelegte US-Patentschrift 6,853,067 B1 (nachfolgend und im Nichtigkeitsverfahren: E2; vorgelegt mit Anlagenkonvolut B&B3) bestehen Zweifel an einer Vorwegnahme der Merkmale 1.1 und 1.1.2<\/li>\n
  204. Gegenstand der E2 ist ein Thermokompressionsverfahren. Die Figuren 6a \u2013 6c der Entgegenhaltung (nachfolgend wird Figur 6b verkleinert wiedergegeben),<\/li>\n
  205. offenbaren eine hybride Struktur 600, bei welcher ein MEMS-Substrat 610 und ein IC-Substrat 620 an gegen\u00fcberliegenden Enden eines dielektrischen Verbindungssubstrats 630 angeordnet sind (vgl. Sp. 15, Z. 35 \u2013 37 d. E2). Das MEMS-Substrat 610 bildet zusammen mit dem Substrat 630 einen Hohlraum 638 aus. Durch die Verbindung des MEMS Chips mit einem Dichtungsring 624 ist der Hohlraum 638 hermetisch abgedichtet. An den Ecken des ICs befinden sich elektrische Kontakte 634\u2018.<\/li>\n
  206. Die Beklagten erblicken \u2013 angelehnt an den Beklagtenvortrag in dem Verfahren 4a O 43\/16 \u2013 in den Substraten 610 und 620 und dem Verbindungssubstrat 630 eine Substrat-Kappenstruktur im Sinne der Lehre des Klagepatents, durch welche zwei Hohlr\u00e4ume wie folgt gebildet werden (Die rote Beschriftung der Figur 6b wurde durch die Beklagte in dem Verfahren 4a O 43\/16 erg\u00e4nzt, vgl. Bl 121 der beigezogenen Verfahrensakte):<\/li>\n
  207. Die klagepatentgem\u00e4\u00dfe Substrat-Kappenstruktur ist \u2013 wie Merkmal 1.1.1 dem Fachmann zu erkennen gibt \u2013 dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindung des Substrats mit der Kappenstruktur mindestens einen ersten und einen zweiten Hohlraum umschlie\u00dft. Die Hohlr\u00e4ume werden mithin klagepatentgem\u00e4\u00df durch die Verbindung des Substrats mit der Kappenstruktur geschaffen.<\/li>\n
  208. Dass das Klagepatent damit eine einheitliche, beide Hohlr\u00e4ume umgebende Kappenstruktur verbindet, entnimmt der Fachmann auch der Beschreibung des Klagepatents, worin die gesch\u00fctzte Struktur auch als \u201eintegrierte Geh\u00e4usung von zwei oder mehreren Sensortypen mit unterschiedlichem Betriebsdruck\u201c (Abs. [0042]) beschrieben wird. Dieses Verst\u00e4ndnis steht zugleich im Einklang mit dem von dem Klagepatent erfindungswesentlich angestrebten Erfolg, durch ein kompaktes Bauteil eine h\u00f6here Integrationsdichte als bei einer individuellen Prozessierung zu erreichen (Abs. [0042]).<\/li>\n
  209. Bei den Figuren 6a \u2013 6c der Entgegenhaltung entsteht keine einheitliche Kappenstruktur zur Ausbildung der Hohlr\u00e4ume. Mit dem MEMS-Substrat 610 und dem IC-Substrat 620 liegen vielmehr zwei vollst\u00e4ndig voneinander getrennte Kappenstrukturen vor, die jeweils einen Hohlraum ausbilden.<\/li>\n
  210. Selbst bei einem weitergehenden Verst\u00e4ndnis, welches auch getrennte Kappenstrukturen erfasst, best\u00fcnden zudem Zweifel, ob der Fachmann allein auf der Grundlage des Offenbarungsgehalts der Figuren 6a \u2013 6c in eindeutiger und unmittelbarer Art und Weise erkennt, dass die Verbindung von Substrat und Kappenstruktur auch zu einer Abdichtung der Hohlr\u00e4ume gegeneinander f\u00fchrt. Denn aufgrund der getrennten Kappenstrukturen und dem Auseinanderliegen der von den Substraten 610 und 620 gebildeten Hohlr\u00e4ume f\u00e4llt die Abgrenzung der Hohlr\u00e4ume gegeneinander mit der Abgrenzung der Hohlr\u00e4ume nach au\u00dfen zusammen.<\/li>\n
  211. cc)
    \nDie US-Patentschrift 6,713,828 B1 (nachfolgend und im Nichtigkeitsverfahren: E3; vorgelegt mit Anlagenkonvolut B&B3) l\u00e4sst jedenfalls eine eindeutige und unmittelbare Offenbarung des Merkmals 1.4 nicht erkennen.<\/li>\n
  212. Die nachfolgend verkleinert wiedergegebene Figur 15 der E3,<\/li>\n
  213. zeigt ein Bauteil, welches einen Siliconwafer 26 (Substrat im Sinne des Klagepatents) und einen Glaswafer 24 (Kappenstruktur im Sinne des Klagepatents) umfasst. Diese umschlie\u00dfen einen Hohlraum 36 und einen mit einem Hohlraum 38 verbundenen Hohlraum 54. In dem Hohlraum 36 befindet sich eine Ti\/Pt\/Au-Metallisierung 86, welche f\u00fcr die Haftung verwendet wird, und um ein Gettern des vom Glas austretenden Sauerstoffs zu erm\u00f6glichen. In den Hohlr\u00e4umen 54 und 38 ist eine Metallmaske 46 aufgebracht, die die Funktion hat, den IC w\u00e4hrend des Bondings elektrisch abzuschirmen (Sp. 11, Z. 63 \u2013 65). Des Weiteren befindet sich in dem Hohlraum 38 eine elektrische Schaltung.<\/li>\n
  214. Zwischen den Parteien ist unstreitig, dass die Ti\/Pt\/Au-Metallisierung 86 die F\u00e4higkeit hat, austretenden Sauerstoff abzufangen. Diese Wirkung entspricht der klagepatentgem\u00e4\u00df vorgesehenen Wirkung eines Gettermaterials (Abs. [0004], Abs. [0008], Abs. [0009], Abs. [0019]). Geht man weiter davon aus, dass die in den Hohlr\u00e4umen 38 und 54 enthaltene Metallmaske 46 aus demselben Material wie die Metallisierung 86 ist \u2013 die Kl\u00e4gerin tritt dem dahingehenden Vorbringen der Beklagten nicht substantiiert entgegen \u2013, so ist zwar in einem ersten Hohlraum (Hohlraum 38) mit einer elektronischen Schaltung ein Gettermaterial vorhanden, wie von den Merkmal 1.2 und 1.3 des Klagepatents vorgesehen.<\/li>\n
  215. Jedoch vermag die Kammer nicht anzunehmen, dass sich f\u00fcr den Fachmann in eindeutiger und unmittelbarer Art und Weise ergibt, dass \u2013 entsprechend Merkmal 1.4 \u2013 aufgrund des Gettermaterials in diesem ersten Hohlraum ein anderer Innendruck und\/ oder eine andere Gaszusammensetzung als in dem zweiten Hohlraum (Hohlraum 36 der Figur 15) vorherrscht. Denn in dem zweiten Hohlraum befindet sich eben dieses Gettermaterial auch, was auch auf vergleichbare Druckverh\u00e4ltnisse bzw. eine vergleichbare Gaszusammensetzung hindeuten kann. In diesem Zusammenhang erscheint auch nicht zwingend, dass der Fachmann aufgrund der unterschiedlichen Volumina der beiden Hohlr\u00e4ume 36 und 38\/54 und der unterschiedlichen Verh\u00e4ltnisse der von Gettermaterial abgedeckten zu nicht-abgedeckten Glassubstratfl\u00e4che innerhalb des jeweiligen Hohlraums von unterschiedlichen Druckverh\u00e4ltnissen ausgeht. Denn insoweit ist zu ber\u00fccksichtigen, dass es sich bei Zeichnungen aus der Patentbeschreibung lediglich um schematische Darstellungen handelt, und weiter auch in beiden Hohlr\u00e4umen im Wesentlichen die gesamte Glassubstratfl\u00e4che durch das Gettermaterial abgedeckt ist. Es sind lediglich abgeschr\u00e4gte Bereiche oder solche, an denen sich der Hohlraum verengt, ausgespart.<\/li>\n
  216. Ein eindeutiger Offenbarungsgehalt ergibt sich aus Sicht der Kammer auch nicht aus Spalte 10, Zeilen 59 \u2013 64 der angef\u00fchrten Textstelle der E3,<\/li>\n
  217. \u201eDie Technik stellt einen effektiven Weg zur Verf\u00fcgung, um resonante Vorrichtungen oder andere Vorrichtungen, die eine kontrollierte Druckd\u00e4mpfung f\u00fcr den Betrieb ben\u00f6tigen, luftdicht zu verkapseln. Um die Machbarkeit dieses Ansatzes zu \u00fcberpr\u00fcfen, wurden Resonatoren, Gyroskope und Beschleunigungssensoren auf Testdies hergestellt, die in dem gleichen Maskensatz enthalten waren.\u201c,<\/li>\n
  218. denn diese verh\u00e4lt sich zu den Druckverh\u00e4ltnissen in den einzelnen Hohlr\u00e4umen nicht. Es wird auch nicht offengelegt, wodurch die offenbarte Vorrichtung einen effektiven Weg zur kontrollierten Druckd\u00e4mpfung schafft.<\/li>\n
  219. dd)
    \nDie Kammer vermag der Ver\u00f6ffentlichung \u201eReliable Vacuum Packaging Using NanoGetters and Glass Frit Bonding\u201c von Douglas Sparks, Sonbol Massoud-Ansari und Nader Najafi, SPIE Proceedings vol. 5343, 2004, Reliability, Testing, and Characterization of MEMS\/MoEMS III, Seiten 70 \u2013 78 (nachfolgend und im Nichtigkeitsverfahren: E4; vorgelegt mit Anlagenkonvolut B&B3) \u2013 anders als von der Lehre des Klagepatents in Merkmal 1 vorgesehen \u2013 nicht zu entnehmen, dass mit dem offenbarten Testwafer insgesamt ein einsetzbares Bauteil offenbart wird.<\/li>\n
  220. Die E4 offenbart einen Testwafer mit mikromechanisch hergestellten Resonatoren. Zur Verdeutlichung wird nachfolgend Figur 5 der Entgegenhaltung wiedergegeben:<\/li>\n
  221. Der dargestellte noch offene Testwafer (vor dem Bonden) umfasst etwas mehr als 40 Resonatoren. Jeder der Resonatoren ist jeweils einem Hohlraum zugeordnet, wie sich aus nachfolgend wiedergegebener Figur 3.D. ergibt:<\/li>\n
  222. Auf der Grundlage dieses Offenbarungsgehalts erscheint der Kammer neben der Offenbarung eines einsetzbaren Bauteils ebenso m\u00f6glich, dass ein Vielfachbauelement offenbart wird, aus dem einzelne Bauteile separiert werden und das aus dem Schutzbereich der Lehre des Klagepatents ausgeschlossen ist (Abs. [0029] und Abs. [0030]). Die Beklagten behaupten zwar unter Bezugnahme auf das Verfahren 4a O 43\/16, weil S\u00e4gestra\u00dfen nicht erkennbar seien, sei auch nicht davon auszugehen, dass das Vielfachbauelement noch vereinzelt werden solle. Dies erscheint der Kammer vor dem Hintergrund, dass lediglich ein Testwafer offenbart wird, jedoch nicht zwingend.<\/li>\n
  223. Zweifel werden weiter auch dadurch begr\u00fcndet, dass in der Entgegenhaltung ausgef\u00fchrt wird, dass im Rahmen von Wafertests der Q-Wert von 18 Chips gemessen worden sei (S. 74, Pkt. III., 1. Abs.). Auch dies spricht daf\u00fcr, dass eine Aufspaltung des offenbarten Bauelements beabsichtigt ist.<\/li>\n
  224. b)
    \nSoweit sich die Beklagten des hiesigen Verfahrens (in Erg\u00e4nzung zu dem Beklagtenvorbringen in dem Verfahren 4a O 43\/16) weiter auch darauf berufen, dass es der gesch\u00fctzten Lehre an der erfinderischen T\u00e4tigkeit fehle und deshalb eine Vernichtung des Klagepatents gem. Art. 138 Abs. 1l it. b), Art. 56 EP\u00dc zu erwarten sei, kann auch dies nicht mit der f\u00fcr eine Aussetzung erforderlichen Wahrscheinlichkeit angenommen werden.<\/li>\n
  225. aa)
    \nEine Erfindung gilt nach Art. 56 EP\u00dc als auf einer erfinderischen T\u00e4tigkeit beruhend, wenn sie sich f\u00fcr den Fachmann nicht in naheliegender Weise aus dem Stand der Technik ergibt. Es ist deshalb zu fragen, ob ein \u00fcber durchschnittliche Kenntnisse und F\u00e4higkeiten verf\u00fcgender Fachmann, wie er auf dem technischen Gebiet der Erfindung in einschl\u00e4gig t\u00e4tigen Unternehmen am Priorit\u00e4tstag typischerweise mit Entwicklungsaufgaben betraut wurde und dem unterstellt wird, dass ihm der gesamte am Priorit\u00e4tstag \u00f6ffentlich zug\u00e4ngliche Stand der Technik bei seiner Entwicklungsarbeit zur Verf\u00fcgung stand, in der Lage gewesen w\u00e4re, den Gegenstand der Erfindung aufzufinden, ohne eine das durchschnittliche Wissen und K\u00f6nnen einschlie\u00dflich etwaiger Routineversuche \u00fcbersteigende Leistung erbringen zu m\u00fcssen (OLG Braunschweig, GRUR-RR 2012, 97, 98). Welche M\u00fche es macht, den Stand der Technik aufzufinden oder heranzuziehen, ist unbeachtlich (OLG Braunschweig, GRUR-RR 2012, 97, 98).<\/li>\n
  226. Um das Begehen eines von den bisher beschrittenen Wegen abweichenden L\u00f6sungswegs nicht nur als m\u00f6glich, sondern dem Fachmann nahegelegt anzusehen, bedarf es daher \u2013 abgesehen von denjenigen F\u00e4llen, in denen f\u00fcr den Fachmann auf der Hand liegt, was zu tun ist \u2013 in der Regel zus\u00e4tzlicher, \u00fcber die Erkennbarkeit des technischen Problems hinausreichender Anst\u00f6\u00dfe, Anregungen, Hinweise oder sonstiger Anl\u00e4sse daf\u00fcr, die L\u00f6sung des technischen Problems auf dem Weg der Erfindung zu suchen (BGH, GRUR 2009, 746, 748 \u2013 Betrieb einer Sicherheitseinrichtung; BGH, GRUR 2012, 378, 379 \u2013 Installiereinrichtung II).<\/li>\n
  227. bb)
    \nDen unter lit. aa) dargestellten Ma\u00dfstab ber\u00fccksichtigend fehlt es in dem Beklagtenvorbringen (insbesondere der Beklagten zu 1) jedenfalls an hinreichend konkreten Ausf\u00fchrungen dazu, was den Fachmann im Stand der Technik zu einer Kombination der in Bezug genommenen Ver\u00f6ffentlichung (allesamt vorgelegt mit dem Anlagenkonvolut B&B3), von denen eine deutsche \u00dcbersetzung nicht vorliegt, veranlasst hat. Auch bei Hinzunahme der Begr\u00fcndung aus der von der Streitverk\u00fcndeten zu 2) eingereichten Nichtigkeitsklage vom 05.09.2016 (ebenfalls vorgelegt als Anlagenkonvolut B&B3) sind diese nicht zu erkennen.<\/li>\n
  228. Zu den vorgetragenen Kombinationen im Einzelnen:<\/li>\n
  229. (1)
    \nAuch auf der Grundlage der Ausf\u00fchrungen in dem Nichtigkeitsschriftsatz (Anlagenkonvolut B&B3, dort S. 40) ergibt sich aus dem Artikel \u201eQ-Factor Enhancement for MEMS Devices: the Role of the Getter Film\u201c (nachfolgend und im Nichtigkeitsverfahren: E5) keine Offenbarung eines Bauteils, das mindestens zwei Hohlr\u00e4ume aufweist die gegeneinander abgedichtet sind (Merkmal 1.1.1) und aufgrund darin eingebrachten Gettermaterials unterschiedliche Dr\u00fccke oder Gaszusammensetzungen aufweisen (Merkmal 1.4).<\/li>\n
  230. Sofern weiter darauf verwiesen wird, dass die Aufgabe darin gesehen werden k\u00f6nne \u201eein System-on-Chip herzustellen, das (mindestens) zwei mikroelektromechanische Systeme aufweise, die unterschiedliche Anforderungen an den Arbeitsdruck stellen\u201c, so wird keine Verbindung zwischen der entwickelten Aufgabenstellung und der Ver\u00f6ffentlichung hergestellt. Vielmehr scheint die Aufgabe \u2013 mit Blick auf den L\u00f6sungsansatz des Klagepatents \u2013 so eng formuliert, dass die Aufgabe bereits die von der klagepatentgem\u00e4\u00df gesch\u00fctzten Lehre vorgesehen L\u00f6sung in Teilen enth\u00e4lt. Dies aber legt eine unzul\u00e4ssige r\u00fcckschauende Betrachtung nahe.<\/li>\n
  231. Des Weiteren ist auch zu ber\u00fccksichtigen, dass \u2013 auf der Grundlage des Vortrags der hiesigen Kl\u00e4gerin in deren Nichtigkeitsschriftsatz vom 27.02.2017 (Anlage K7, dort S. 17) \u2013 fraglich ist, ob der Ver\u00f6ffentlichung \u201eMicromachined Inertial Sensors\u201c (nachfolgend und im Nichtigkeitsverfahren: E6) die fehlenden Merkmale \u00fcberhaupt entnommen werden k\u00f6nnen. Insoweit stellt die Kl\u00e4gerin nachvollziehbar in Frage, ob der von der Streitverk\u00fcndeten zu 2) angef\u00fchrten Figur 18 der E6 (dort S. 1654),<\/li>\n
  232. tats\u00e4chlich Bondlinien entnommen werden k\u00f6nnen. Bei den Linien kann es sich ebenso um Grenzlinien handeln, die der Identifizierung der einzelnen Sensoren dienen.<\/li>\n
  233. (2)
    \nDie Beklagte zu 1) beschreibt den Offenbarungsgehalt der nachfolgend wiedergegebenen Figur 2A (verkleinert) der EP 1 167 979 A2 (nachfolgend und im Nichtigkeitsverfahren: E7):<\/li>\n
  234. derart, dass ein Einchip-Sensorbauteil aus der Mikrosystemtechnik (Merkmal 1) mit einem Substrat 45 und einer Kappenstruktur 30 vorliege (Merkmal 1.1.). Substrat und Kappenstruktur w\u00fcrden einen ersten Hohlraum 33 und einen zweiten Hohlraum 34 ausbilden (Merkmal 1.1.1), wobei diese durch ein anodisches Chiplevel-Bondverfahren gegeneinander und gegen die Au\u00dfenumgebung abgedichtet seien (Merkmal 1.1.2). In dem ersten Hohlraum sei ein Drehratensensor angeordnet (Merkmal 1.2). Der erste Hohlraum weise ein Vakuum und der zweite Hohlraum einen atmosph\u00e4rischen Druck auf (Merkmal 1.4). Die unterschiedlichen Druckverh\u00e4ltnisse w\u00fcrden dadurch geschaffen, dass die Hohlr\u00e4ume durch ein getrenntes Abdichten unter den verschiedenen f\u00fcr die Sensoren erforderlichen Druckverh\u00e4ltnisse erzeugt w\u00fcrden. Hierf\u00fcr weise der zweite Hohlraum einen Versorgungszugang 42 auf, der nachtr\u00e4glich getrennt abgedichtet werde.<\/li>\n
  235. Die Beklagte zu 1) r\u00e4umt dabei ein, dass die E7 ein Gettermaterial in den Hohlr\u00e4umen (Merkmal 1.3) nicht offenbart. Sofern die Beklagte zu 1) in diesem Zusammenhang die zu l\u00f6sende Aufgabe darin sieht, dass ein kombiniertes Sensorbauteil auf einem Chip bereitgestellt werden solle, welches keinen zus\u00e4tzlich abgedichteten Versorgungszugang aufweise, stellt sich diese Betrachtung als in unzul\u00e4ssiger Weise r\u00fcckschauend dar. Insbesondere vor dem Hintergrund, dass dem Fachmann mit der E7 eine Vorrichtung und eine Methode pr\u00e4sentiert werden, mittels derer in zwei benachbarten Hohlr\u00e4umen unterschiedliche Druckverh\u00e4ltnisse hergestellt werden k\u00f6nnen, ist zweifelhaft, dass der Fachmann nach anderen M\u00f6glichkeiten zur Schaffung solcher Hohlr\u00e4umen mit unterschiedlichem Druck sucht.<\/li>\n
  236. (3)
    \nAuch der Artikel \u201eA study on wafer level vacuum packaging for MEMS devices\u201c (nachfolgend und im Nichtigkeitsverfahren: E9) offenbart nicht mindestens zwei Hohlr\u00e4ume, die durch das Substrat und die Kappenstruktur ausgebildet werden (Merkmal 1.1.1).<\/li>\n
  237. Auch insoweit gibt der Vortrag der Streitverk\u00fcndeten zu 2) in ihrem Nichtigkeitsklageschriftsatz (Anlagenkonvolut B&B3, S. 45) keine hinreichenden Anhaltspunkte daf\u00fcr her, inwiefern der Fachmann auf der Grundlage des Offenbarungsgehalts der E9 Anlass hatte, zu der klagepatentgem\u00e4\u00dfen Lehre zu gelangen. Die blo\u00dfe Kenntnis des Fachmannes davon, dass ein Hohlraum zur Beeinflussung des Innendrucks darin mit einem Gettermaterial ausgestattet werden kann, f\u00fchrt diesen nicht zu der klagepatentgem\u00e4\u00dfen Lehre. Vielmehr bedarf es eines Anlasses f\u00fcr ihn, dieses Wissen auf die ihm durch die E9 offenbarte Lehre zu \u00fcbertragen. Die danach bestehenden Zweifel der Kammer werden noch dadurch verst\u00e4rkt, dass die hiesige Kl\u00e4gerin in dem Nichtigkeitsverfahren vorbringt, dass sich aus der E9 keine Sensoren ergeben, die unterschiedlicher Innendr\u00fccke bed\u00fcrfen. Dies insbesondere deshalb, weil neben einem Gyroskop Beschleunigungssensoren offenbart werden, die mit resonant schwingenden Strukturen arbeiten, und deshalb keinen, gegen\u00fcber dem Gyroskop, unterschiedlichen Innendruck ben\u00f6tigen (vgl. Anlage K7, S. 19).<\/li>\n
  238. cc)
    \nSoweit die Beklagte zu 2) gegen die erfinderische T\u00e4tigkeit weiter eine Kombination der US 2002\/0051258 A1 (Anlage B4) mit der US 2004\/0061207 A1 (Anlage B5) bzw. mit dem allgemeinen Fachwissen einwendet, ist nicht erkennbar, dass diese in das laufenden Nichtigkeitsverfahren, 6 Ni 66\/16 (EP), eingef\u00fchrt worden sind.<\/li>\n
  239. Soweit es sich bei der B4 um eine mit der E7 verwandte Druckschrift handelt \u2013 beide Schriften basieren auf dem Priorit\u00e4tsdokument JP 2000189652 \u2013 gelten die Ausf\u00fchrungen unter lit. bb), (2) entsprechend.<\/li>\n
  240. VIII.
    \nDie Verhandlung war auch nicht deshalb auszusetzen, weil zwischen der Kl\u00e4gerin und der Streitverk\u00fcndeten zu 2) ein Schiedsverfahren anh\u00e4ngig ist, in welchem die Nutzungsberechtigung der Streitverk\u00fcndeten zu 2) im Hinblick auf die Lehre des Klagepatents streitgegenst\u00e4ndlich ist.<\/li>\n
  241. Eine Aussetzung auf der Grundlage der hier allein in Betracht kommenden Vorschrift des \u00a7 148 ZPO setzt voraus, dass die Entscheidung des hiesigen Rechtsstreits ganz oder zum Teil von dem Bestehen oder Nichtbestehen eines Rechtsverh\u00e4ltnisses abh\u00e4ngt, das den Gegenstand eines anderen anh\u00e4ngigen Rechtsstreits bildet.<\/li>\n
  242. Daran fehlt es vorliegend im Ergebnis.<\/li>\n
  243. In diesem Zusammenhang ist zwar auch ein vor einem Schiedsgericht laufendes Verfahren ausreichend (Greger, in: Z\u00f6ller, ZPO, Kommentar, 31. Auflage, 2016, \u00a7 148, Rn. 6). Das andere Verfahren muss auch nicht zwischen denselben Parteien wie denjenigen des hiesigen Rechtsstreits gef\u00fchrt werden (Gerger, ebd., \u00a7 148, Rn. 5). Die Nutzungsberechtigung der Streitverk\u00fcndeten zu 2) hinsichtlich der Lehre des Klagepatents hat jedenfalls auch eine rechtliche Relevanz f\u00fcr die Entscheidung des Rechtsstreits zwischen der Kl\u00e4gerin und der Beklagten zu 1). Denn die Beklagte zu 1) tr\u00e4gt vor, sie leite ihre Nutzungsberechtigung von der Streitverk\u00fcndeten zu 2) ab \u2013 insoweit wird zur n\u00e4heren Begr\u00fcndung auch auf die Ausf\u00fchrungen unter Ziff. V., 1. verwiesen.<\/li>\n
  244. Jedoch setzt die Vorgreiflichkeit im Sinne des \u00a7 148 ZPO weiter voraus, dass die in dem anderen Prozess zu treffende Entscheidung pr\u00e4judizielle Bedeutung hat. Eine solche ist dann gegeben, wenn die in dem anderen Prozess zu treffende Entscheidung, den Aussetzungsprozess rechtlich bindend beeinflusst (Fritsche, in: M\u00fcko, ZPO, Kommentar, 5. Auflage, 2016, \u00a7 148, Rn. 5). Dies kann dadurch geschehen, dass das aussetzende Gericht durch die materielle Rechtskraft des Urteils in dem anderen Prozess dahin gebunden wird, dass mit der dort zu treffenden Entscheidung die Vorfrage des auszusetzenden Prozesses beantwortet ist (Fritsche, ebd., \u00a7 148, Rn. 6). Das aussetzende Gericht kann aber auch durch die Gestaltungs- oder Interventionswirkung der Entscheidung in einem anderen Verfahren betroffen werden (OLG Hamm, NJW-RR 1994, 1343 (1344); Fritsche, ebd. \u00a7 148, Rn. 7). Die neuere BGH-Rechtsprechung verneint hingegen, dass eine ausreichende Bindung auch durch einen (nur) tats\u00e4chlichen Einfluss der Vorg\u00e4nge des anderen Prozesses auf die Entscheidung des laufenden Prozesses zur Aussetzung gen\u00fcgt (m. w. Nachw. Fritsche, ebd., \u00a7 148, Rn. 9). Dies erfasst insbesondere F\u00e4lle, in denen die vor dem anderen Gericht durchgef\u00fchrte Beweisaufnahme und Beweisw\u00fcrdigung in gewisser Weise eine tats\u00e4chliche Ausstrahlungswirkung entfalten (a.a.O.).<\/li>\n
  245. An einer rechtlichen Bindungswirkung in diesem Sinne fehlt es vorliegend.<\/li>\n
  246. Zwar entfaltet ein etwaiger Schiedsspruch des angerufenen Gerichts grunds\u00e4tzlich eine rechtlich bindende Wirkung, eine solche strahlt vorliegend jedoch nicht auf das hiesige Rechtsverh\u00e4ltnis zwischen der Kl\u00e4gerin und der Beklagten zu 1) aus.<\/li>\n
  247. Nach \u00a7 1061 Satz 1 ZPO richtet sich die Anerkennung und Vollstreckung ausl\u00e4ndischer Schiedsspr\u00fcche nach dem \u00dcbereinkommen vom 10. Juni 1958 \u00fcber die Anerkennung und Vollstreckung ausl\u00e4ndischer Schiedsspr\u00fcche (im Folgenden: UN\u00dc). Die Anerkennung prozessualer Wirkungen des ausl\u00e4ndischen Schiedsspruchs (Rechtskraft, Pr\u00e4klusions-, und Gestaltungswirkung) tritt ipso iure ohne Anerkennungsverfahren ein, sofern die Anerkennungsvoraussetzungen (Art. 3 ff. UN\u00dc) vorliegen (Geimer, ebd., \u00a7 1061, Rn. 16).<\/li>\n
  248. Der Umfang der Wirkung des ausl\u00e4ndischen Schiedsspruchs als solcher ist nach dem Verfahrensstatut zu beurteilen (a.a.O.). Nach dem hier ma\u00dfgeblichen franz\u00f6sischen Zivilprozessrecht \u2013 die von den Parteien vereinbarte Schiedsordnung der Internationalen Handelskammer enth\u00e4lt insoweit keine Regelungen \u2013 hat der Schiedsspruch unter den Parteien die Wirkung eines rechtskr\u00e4ftigen gerichtlichen Urteils (K\u00fchner, Das neue franz\u00f6sische Schiedsrecht, SchiedsVZ 2011, 125). Er stellt mithin im Verh\u00e4ltnis zwischen der Kl\u00e4gerin und der Streitverk\u00fcndeten zu 2) rechtlich verbindlich fest, ob letzterer Nutzungsrechte zustehen.<\/li>\n
  249. Daraus folgt jedoch noch keine Bindungswirkung f\u00fcr an dem Schiedsverfahren unbeteiligte Dritte. Eine solche kann sich zwar durch eine \u2013 f\u00fcr die Vorgreiflichkeit ausreichende \u2013 Interventionswirkung im Sinne von \u00a7\u00a7 74 Abs. 3, 68 ZPO ergeben, jedoch liegen hier die f\u00fcr den Eintritt der Interventionswirkung erforderlichen Voraussetzungen nicht vor (vgl. zu diesen insgesamt Vollkommer, in: Z\u00f6ller, ZPO, Kommentar, \u00a7 74, Rn. 6).<\/li>\n
  250. Die Beklagte zu 1) hat der an dem Schiedsverfahren beteiligten Streitverk\u00fcndeten zu 2) zwar mit Schriftsatz vom 24.10.2016 (Bl. 42 GA) den Streit verk\u00fcndet, jedoch ist eine nach \u00a7 73 Satz 2 ZPO erforderliche Zustellung dieses Streitverk\u00fcndungsschriftsatzes nicht erfolgt (vgl. Anzeige der fehlgeschlagenen Zustellung an die Streitverk\u00fcndete zu 2), Bl. 164 GA).<\/li>\n
  251. IX.
    \nDie Kostenentscheidung ergeht nach \u00a7\u00a7 91 Abs. 1 Satz 1, 100 Abs. 1 ZPO.<\/li>\n
  252. Die Entscheidung \u00fcber die vorl\u00e4ufige Vollstreckbarkeit folgt \u2013 soweit die Vollstreckbarkeit des Kostenpunktes betroffen ist \u2013 aus \u00a7 709 Satz 1, 2 ZPO und im \u00dcbrigen aus \u00a7 709 Satz 1 ZPO.<\/li>\n
  253. X.
    \nDer Streitwert wird gem. \u00a7 51 Abs. 1 GKG auf EUR 500.000,- festgesetzt.<\/li>\n<\/ol>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

    D\u00fcsseldorfer Entscheidungsnummer: 2728 Landgericht D\u00fcsseldorf Urteil vom 14. Dezember 2017, Az.\u00a04a O 74\/16<\/p>\n","protected":false},"author":18,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[66,2],"tags":[],"class_list":["post-7442","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-66","category-lg-duesseldorf"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/7442","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/18"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=7442"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/7442\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":7504,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/7442\/revisions\/7504"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=7442"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=7442"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=7442"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}