{"id":7429,"date":"2017-12-14T17:00:29","date_gmt":"2017-12-14T17:00:29","guid":{"rendered":"https:\/\/www3.hhu.de\/duesseldorfer-archiv\/?p=7429"},"modified":"2018-03-28T13:55:47","modified_gmt":"2018-03-28T13:55:47","slug":"4a-o-43-16-mikromechanische-gehaeusung","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/d-prax.de\/?p=7429","title":{"rendered":"4a O 43\/16 – Mikromechanische Geh\u00e4usung"},"content":{"rendered":"

D\u00fcsseldorfer Entscheidungsnummer: 2725<\/strong><\/span><\/p>\n

Landgericht D\u00fcsseldorf<\/span><\/p>\n

Urteil vom\u00a014. Dezember 2017, Az.\u00a04a O 43\/16<\/span><\/p>\n

    \n
  1. Die Klage wird abgewiesen.<\/li>\n
  2. Die Kl\u00e4gerin tr\u00e4gt die Kosten des Rechtsstreits.<\/li>\n
  3. Das Urteil ist gegen Sicherheitsleistung in H\u00f6he von 115 % des jeweils zu vollstreckenden Betrages vorl\u00e4ufig vollstreckbar.<\/li>\n
  4. \n

    T a t b e s t a n d<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

  5. Die Kl\u00e4gerin macht als eingetragene Inhaberin (vgl. DPMA-Registerauszug vom 28.04.2016, Anlage K2) des auch mit Wirkung f\u00fcr die Bundesrepublik Deutschland erteilten Europ\u00e4ischen Patents 2 004 XXX B1 (im Folgenden: Klagepatent) gegen die Beklagte auf die Verletzung des Klagepatents gest\u00fctzte Anspr\u00fcche auf Unterlassen, R\u00fcckruf, Auskunftserteilung und Rechnungslegung sowie Feststellung einer Entsch\u00e4digungs- und Schadensersatzpflicht dem Grunde nach geltend.<\/li>\n
  6. Das Klagepatent wurde unter Inanspruchnahme einer Priorit\u00e4t vom 06.04.2006 (DE 102006016XXX) am 04.04.2007 in deutscher Verfahrenssprache angemeldet. Die Offenlegung der Anmeldung datiert vom 24.12.2008, die Ver\u00f6ffentlichung des Hinweises auf die Patenterteilung vom 11.06.2014. Das Klagepatent hat eine \u201eMikromechanische Geh\u00e4usung mit mindestens zwei Kavit\u00e4ten mit unterschiedlichem Innendruck und\/ oder unterschiedlicher Gaszusammensetzung sowie Verfahren zu deren Herstellung\u201c zum Gegenstand.<\/li>\n
  7. Der f\u00fcr das vorliegende Verfahren ma\u00dfgebliche Klagepatentanspruch 1 hat folgenden Wortlaut:<\/li>\n
  8. \u201eIn der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil mit einem Substrat und einer Kappenstruktur,die so miteinander verbunden sind, dass sie mindestens einen ersten und einen zweiten Hohlraum umschlie\u00dfen, die gegeneinander und gegen die Au\u00dfenumgebung abgedichtet sind,\n

    wobei wenigstens in dem ersten Hohlraum (5) ein Drehratensensor, Beschleunigungssensor, Aktuator, Resonator, Display, digitaler Mikrospiegel, Bolometer und\/ oder RF-Switch angeordnet ist,<\/p>\n

    dadurch gekennzeichnet, dass<\/p>\n

    der erste der beiden Hohlr\u00e4ume mit einem Gettermaterial versehen ist und aufgrund dieses Gettermaterials einen anderen Innendruck und\/ oder eine andere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum.\u201c<\/li>\n

  9. Wegen der weiteren Anspr\u00fcche wird auf die Klagepatentschrift (Anlage K1) Bezug genommen.<\/li>\n
  10. Nachfolgend wiedergegebene Figur 3 (verkleinert) zeigt beispielhaft den Aufbau eines erfindungsgem\u00e4\u00dfen Mikrosensorsystems mit zwei Submodulen:<\/li>\n
  11. Auf dem Sensorwafer 1 befinden sich die mikromechanischen, voneinander hermetisch abgedichteten Sensorsubsysteme 3 und 4. Mit dem Sensorwafer 1 wird der Kappenwafer 2 in einem Bondprozess fest verbunden, der Bondrahmen 7 dichtet die Sensorbereiche hermetisch von der Umgebung ab. In einer der durch das Zusammenf\u00fcgen des Sensor- und des Kappenwafers gebildeten Kavit\u00e4ten 5 und 6 befindet sich ein Gettermaterial 8, welches nach seiner Aktivierung Molek\u00fcle einer ersten, in den Kavit\u00e4ten eingeschlossenen Gassorte absorbieren kann.<\/li>\n
  12. Die Beklagte erhob im Hinblick auf das Klagepatent am 05.09.2016 (vgl. Nichtigkeitsschriftsatz der Beklagten, Anlagenkonvolut FBD B18) eine Nichtigkeitsklage, Az.: 6 Ni 66\/16 (EP), vor dem Bundespatentgericht (nachfolgend: BPatG), \u00fcber die eine Entscheidung noch aussteht. Der deutsche Teil des Klagepatents (Az.: 50 2007 013 188.1) steht in Kraft.<\/li>\n
  13. Die in der Schweiz (und den Niederlanden) ans\u00e4ssige Beklagte geh\u00f6rt zur A Unternehmensgruppe, die sog. \u201eMikroelektromechanischen Systemen\u201c (MEMS) fertigt, und MEMS f\u00fcr Konsumelektronik und mobile Anwendungen liefert.<\/li>\n
  14. \u00dcber die englischsprachige Internetseite der Beklagten mit der Adresse www.st.com werden mikromechanische Bauteile, unter anderem ein von der A S.r.l. (nachfolgend: A Italy) hergestelltes A-Sensormodul mit der Bezeichnung \u201eB\u201c bzw. \u201eBTR\u201c (im Folgenden: angegriffene Ausf\u00fchrungsform), beworben. \u00dcber die Schaltfl\u00e4che \u201eSample&Buy\u201c kann f\u00fcr das Sensormodul \u201eBTR\u201c ein Muster bei der Beklagten bestellt werden (vgl. screenshot, Klageschrift vom 29.04.2016, S. 11, Bl. 12 GA). \u00dcber eine weitere Schaltfl\u00e4che \u201eDistribution Availability\u201c wird auf die Website ausgew\u00e4hlter Vertriebspartner, unter anderem auch auf die deutschsprachige Website von in der Bundesrepublik Deutschland ans\u00e4ssigen H\u00e4ndlern (vgl. screenshot, Klagesschrift vom 29.04.2016, S. 12, Bl. 12 GA). Unter anderem die C Inc. und die D GmbH, die die Beklagte zu 1) und die Beklagte zu 2) in dem parallelen Verfahren (Az.: 4a O 74\/16) sind, vertreiben die angegriffene Ausf\u00fchrungsform im Gebiet der Bundesrepublik Deutschland.<\/li>\n
  15. Bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform handelt es sich um eine sog. \u201eInertiale Messeinheit\u201c mit einem Drei-Achsen-Beschleunigungs- und einem Drei-Achsen-Drehratensensor zur Bewegungsmessung. Der angegriffene Sensor enth\u00e4lt zwei durch eine sog. Glasfritten-Versiegelung hermetisch voneinander und von der Au\u00dfenumgebung abgedichtete Kavit\u00e4ten, in denen sich jeweils einer der genannten Sensoren befindet. Nachfolgend werden zur Verdeutlichung ein Querschnitt des angegriffenen Sensormoduls (obere Abbildung) sowie zwei Querschnitt-Detailaufnahme der Ber\u00fchrungsfl\u00e4chen von Substrat und Kappe (untere Abbildung) wiedergegeben:<\/li>\n
  16. In dem als \u201eErster Hohlraum\u201c bezeichneten Raum befindet sich des Weiteren eine Zirkonium-Kobal-Seltenen-Erden-Legierung, bei der es sich um ein Gettermaterial (ZrCoLaCe-Getter) handelt. Aufgrund der Aktivierung des Gettermaterials ist der Innendruck in dem n\u00e4her bezeichneten Hohlraum geringer als in dem Hohlraum ohne Gettermaterial.<\/li>\n
  17. Die Herstellung der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform erfolgt im Wege des sog. Thelma (Thick Epitaxial Layer for Microgyroscopes and Accelerometeres)-Verfahrens dadurch, dass ein Mehrfachbauteil auf Waferebene sp\u00e4ter vereinzelt wird, mithin ein Wafer-Substrat (als Bestandteil eines Mehrfachbauelements) sowie ein Kappen-Wafer (ebenfalls als Bestandteil eines Mehrfachbauelements) miteinander verbunden (\u201egebondet\u201c) werden, nachdem in die ausgew\u00e4hlten Kavit\u00e4ten des Kappenwafers das f\u00fcr das gew\u00fcnschte Vakuum ben\u00f6tigte Gettermaterial eingef\u00fcgt wurde.<\/li>\n
  18. Seit der ersten Jahresh\u00e4lfte 2002 bis zum Jahre 2005 arbeiteten unter anderem die Kl\u00e4gerin und die ST Italy, eine in Italien ans\u00e4ssige Schwestergesellschaft der Beklagten, auf der Grundlage eines europ\u00e4ischen Rahmenprogramms (\u201eInformation Society Technologies\u201c; \u201eIST\u201c) an einem gemeinsamen Forschungsprojekt mit der Bezeichnung \u201eE\u201c. Das E-Projekt war insbesondere innerhalb der Schl\u00fcsselaktion (\u201ekey action\u201c) Nr. IV des IST Programms angeordnet, die essentielle Technologien und Infrakstrukturen des Programms f\u00fcr Technologien der Informationsgesellschaft zum Gegenstand hatte. Dem E-Projekt kam in diesem Rahmen die Aufgabe zu, die Leistung und Verl\u00e4sslichkeit existierender Systeme und Produkte beispielsweise f\u00fcr Informations- und Telekommunikationsanwendungen sowie Anwendungen im Automobil- und medizinischen Bereich, zu verbessern.<\/li>\n
  19. Im Zusammenhang mit dem E-Projekt unterzeichneten unter anderem die Kl\u00e4gerin und die A Italy im Jahre 2003 ein sog. \u201eConsortium Agreement\u201c (nachfolgend: Konsortialvertrag; vorgelegt als Anlagenkonvolut FBD B3a; nachfolgend auch abgek\u00fcrzt: \u201eKV\u201c). Die A Italy ist \u2013 wie die Beklagte \u2013 eine hundertprozentige Tochtergesellschaft der in den Niederlanden ans\u00e4ssigen A N.V. Neben der Kl\u00e4gerin und der A Italy waren auch die Universit\u00e4t F, die G SA, die H S.p.A. und die Z an dem Projekt beteiligt.<\/li>\n
  20. Vor dem Hintergrund der Einbettung des Projekts in ein europ\u00e4isches Rahmenprogramm besteht neben dem Konsortialvertrag ein Projektvertrag Nr. IST-2001-34224 mit der Europ\u00e4ischen Gemeinschaft (nunmehr: Union), der als Anlage FBD B3b vorliegt (im Folgenden: Projektvertrag oder auch abgek\u00fcrzt: \u201ePV\u201c). Zu dem Projektvertrag besteht ein als Anlage FBD B3c vorgelegter Annex II (im Folgenden: Annex II). Der Konsortialvertrag ist das speziellste der drei Vertragswerke, er spezifiziert und erg\u00e4nzt die Regelungen des Annex II, bei dem es sich um ein von der EU entworfenen Mustervertrag handelt. Die Vertr\u00e4ge werden nachfolgend auch zusammenfassend als \u201eE-Projektvertr\u00e4ge\u201c bezeichnet.<\/li>\n
  21. Nachfolgenden werden einzelne Passagen des Konsortialvertrags und des Annex II wiedergegeben:<\/li>\n
  22. Art. 8.5 lit. c) KV (deutsche \u00dcbersetzung):<\/li>\n
  23. \u201eJede Partei gew\u00e4hrt hiermit Zugangsrechte f\u00fcr alle verbundenen Unternehmen jeder anderen Partei, wie wenn diese verbundenen Unternehmen Parteien w\u00e4ren, sofern diese verbundenen Unternehmen allen Parteien (und deren verbundenen Unternehmen) Zugangsrechte gew\u00e4hren und (unbeschadet den Verpflichtungen der Parteien, das Projekt auszuf\u00fchren und die Projektleistung zu liefern) der Vertraulichkeit und anderen Verpflichtungen nachkommen, die die Parteien nach dem Vertrag oder diesem Konsortialvertrag eingegangen sind, wie wenn diese verbundenen Unternehmen Parteien w\u00e4ren.\u201c<\/li>\n
  24. Art. 10.1.1 KV (deutsche \u00dcbersetzung):<\/li>\n
  25. \u201eSofern im Verlauf der Durchf\u00fchrung des Projekts eine gemeinschaftliche Erfindung, Muster oder Werke entstehen (und eine oder mehrere Parteien dazu beigetragen haben), und wenn die Merkmale dieser\/s gemeinschaftlichen Erfindung, Muster oder Werkes solcher Art sind, dass es nicht m\u00f6glich ist, sie zum Zwecke der Anmeldung, f\u00fcr Erlangung von und\/ oder Aufrechterhaltung des jeweiligen Patentschutzes oder eines anderen Rechts des geistigen Eigentums zu trennen, vereinbaren die betroffenen Parteien, dass sie gemeinsam die Anmeldung vornehmen k\u00f6nnen, um das jeweilige Recht gemeinsam mit den anderen betroffenen Parteien (die f\u00fcr gew\u00f6hnlich Nebenvertragspartner sein werden) zu erhalten und\/ oder aufrechtzuerhalten.<\/li>\n
  26. Die betroffene Parteien sollen von Fall zu Fall zwischen ihnen und den anderen betroffenen Parteien eine Vereinbarung anstreben f\u00fcr die Anmeldung, Erlangung und\/ oder Aufrechterhaltung eines solchen Rechts. Sofern die betroffenen Parteien ausschlie\u00dflich Parteien sind, sollen die betroffenen Parteien dazu berechtigt sein, dieses Recht zu nutzen und zu lizensieren ohne finanzielle Entsch\u00e4digung f\u00fcr oder die Zustimmung von einer der anderen betroffenen Parteien, solange ein solches Recht in Kraft ist.\u201c<\/li>\n
  27. Art. 10.4.2 des KV (deutsche \u00dcbersetzung):<\/li>\n
  28. \u201eZugangsrechte f\u00fcr die Nutzung, welche lizenzgeb\u00fchrenfrei gew\u00e4hrt werden sollen, gelten ab dem Tag, der in Artikel 2 des Vertrages bestimmt ist, f\u00fcr die Lebenszeit der jeweiligen Kenntnisse als erteilt.\u201d<\/li>\n
  29. Art. 16.1 des KV (deutsche \u00dcbersetzung):<\/li>\n
  30. \u201eS\u00e4mtliche Streitigkeiten oder Meinungsverschiedenheiten, die im Zusammenhang mit diesem Konsortialvertrag entstehen und welche nicht g\u00fctlich beigelegt werden k\u00f6nnen, sollen abschlie\u00dfend im Wege eines Schiedsverfahrens in Paris nach der Schiedsordnung der Internationalen Handelskammer durch einen oder mehrere Schiedsrichter beigelegt werden, die gem\u00e4\u00df den Regeln der Schiedsordnung ernannt werden. In jedem Schiedsverfahren mit drei Schiedsrichtern soll der Vorsitzende juristisch ausgebildet sein.\u201c<\/li>\n
  31. Art. 13.1 des Annex II lautet:<\/li>\n
  32. \u201ePrinzipale Vertragsparteien haben ein Recht auf Zugangsrechte zu allen Kenntnissen, die aus dem Projekt entstehen, um diese Kenntnisse zu nutzen oder um Kenntnisse zu nutzen, die sie selbst gewonnen haben. Sie sollen lizenzgeb\u00fchrenfrei gew\u00e4hrt werden. [\u2026].\u201c<\/li>\n
  33. Wegen des weiteren Inhalts der E-Vertr\u00e4ge wird insbesondere auf den Konsortialvertrag (Anlage FBD B 3a) sowie auf Annex II zu dem Projektvertrag (Anlage FBD B3c) Bezug genommen.<\/li>\n
  34. Am 02.09.2016 leiteten die Beklagte und die A Italy ein Schiedsverfahren bei der Internationalen Handelskammer in Paris ein. In dem Schiedsverfahren machen die A Italy und die Beklagte geltend, dass sie aufgrund der in dem Annex II und dem Konsortialvertrag getroffenen Vereinbarungen zur Nutzung der Lehre des Klagepatents berechtigt sind, und der A Italy im Hinblick auf diese eine Miterfinderrolle zukomme (Anlage FBD B5b, S. 26 und S. 29 \u2013 32). Eine Entscheidung in dem unter dem Aktenzeichen 22241\/FS gef\u00fchrten Schiedsverfahren steht noch aus, jedoch erfolgte am 02.02.2017 die Zulassung des Schiedsverfahrens durch den ICC Court.<\/li>\n
  35. Nach Auffassung der Kl\u00e4gerin ist das angerufene Gericht international Zust\u00e4ndigkeit. In diesem Zusammenhang behauptet sie, die Beklagte sei innerhalb der Unternehmensgruppe weltweit f\u00fcr den Vertrieb der MEMS-Erzeugnisse zust\u00e4ndig, insbesondere auch f\u00fcr das Gebiet der Bundesrepublik Deutschland.<\/li>\n
  36. Die Klage sei auch nicht aufgrund der von der Beklagten erhobenen Einrede einer Schiedsvereinbarung unzul\u00e4ssig. Denn die Schiedsvereinbarung aus Art. 16.1 KV erfasse die Beklagte schon deshalb nicht, weil diese nicht Partei des Konsortialvertrags ist.<\/li>\n
  37. Des Weiteren sei aber auch der sachliche Anwendungsbereich der Klausel nicht er\u00f6ffnet, weil es dem hiesigen Patentverletzungsverfahren, in dem vertragliche Anspr\u00fcche nicht streitgegenst\u00e4ndlich sind, an einem Bezug zu dem \u201eE-Projekt\u201c fehle, und der Gegenstand des Klagepatents auch keinen inhaltlichen Bezug zu den Projektergebnissen aufweise. Insbesondere sei im Rahmen des E-Projektes kein Zwei-Kammer-Bauteil geschaffen worden; erst Recht nicht unter dem Aspekt in zwei Kammern verschiedene (definierte) Innendr\u00fccke \u00fcber ein Getter herzustellen.Schlie\u00dflich sei es auch rechtsmissbr\u00e4uchlich, dass die Beklagte die Einrede der Schiedsvereinbarung erhebe.<\/li>\n
  38. Die Kl\u00e4gerin ist au\u00dferdem der Ansicht, die angegriffene Ausf\u00fchrungsform verletze die Lehre des Klagepatents unmittelbar wortsinngem\u00e4\u00df.<\/li>\n
  39. Entgegen der Auffassung der Beklagten seien aus dem Schutzbereich des Klagepatents nicht solche Ausf\u00fchrungsformen ausgenommen, die \u2013 wie die angegriffene Ausf\u00fchrungsform \u2013 durch Vereinzelung eines Vielfach-Bauelements hergestellt wurden.<\/li>\n
  40. Der Beklagten st\u00fcnden aus dem Konsortialvertrag auch keine Nutzungsrechte zu, die sich auf das Klagepatent erstrecken.<\/li>\n
  41. Unbeschadet dessen, dass es sich bei der durch das Klagepatent gesch\u00fctzten Lehre nicht um ein Forschungsergebnis aus dem E-Projekt handele, erfolge auch durch die E-Vertr\u00e4ge keine unmittelbare Nutzungsrechtseinr\u00e4umung. Eine solche habe auf der Grundlage von Art. 13.2, 13.5 Annex II lediglich fristgebunden \u2013 bis zum 01.04.2010 \u2013 angefragt werden k\u00f6nnen.<\/li>\n
  42. Das Klagepatent sei auch rechtsbest\u00e4ndig.<\/li>\n
  43. Die Kl\u00e4gerin beantragt:<\/li>\n
  44. I. Die Beklagte zu verurteilen:<\/li>\n
  45. 1. Es bei Meidung eines f\u00fcr jeden Fall der Zuwiderhandlung vom Gericht festzusetzenden Ordnungsgeldes bis zu EUR 250.000,00, ersatzweise Ordnungshaft, oder einer Ordnungshaft bis zu sechs Monaten, im Falle wiederholter Zuwiderhandlung bis zu insgesamt zwei Jahren, wobei die Ordnungshaft an den Gesch\u00e4ftsf\u00fchrern der Beklagten zu vollziehen ist, zu unterlassen,<\/li>\n
  46. in der Mikrosystemtechnik einsetzbare Bauteile mit einem Substrat und einer Kappenstruktur, die so miteinander verbunden sind, dass sie mindestens einen ersten und einen zweite Hohlraum umschlie\u00dfen, die gegeneinander und gegen die Au\u00dfenumgebung abgedichtet sind, wobei wenigstens in dem ersten Hohlraum ein Drehratensensor, Beschleunigungssensor, Aktuator, Resonator, Display, digitaler Mikrospiegel, Bolometer und\/ oder RF-Switch angeordnet ist,<\/li>\n
  47. in der Bundesrepublik Deutschland anzubieten, in den Verkehr zu bringen oder zu gebrauchen oder zu den genannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;<\/li>\n
  48. wobei der erste der beiden Hohlr\u00e4ume mit einem Gettermaterial versehen ist und aufgrund dieses Gettermaterials einen anderen Innendruck und\/ oder eine andere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum,<\/li>\n
  49. (Anspruch 1 von EP 2 004 XXX \u2013 unmittelbare Verletzung);<\/li>\n
  50. 2. Der Kl\u00e4gerin dar\u00fcber Auskunft zu erteilen, in welchem Umfang sie die zu Ziffer I. 1. bezeichneten Handlungen seit dem 11. Juni 2014 begangen hat, und zwar unter Angabe<\/li>\n
  51. a) der Namen und Anschriften der Hersteller, Lieferanten und anderer Vorbesitzer,<\/li>\n
  52. b) der Namen und Anschriften der gewerblichen Abnehmer sowie der Verkaufsstellen, f\u00fcr die die Erzeugnisse bestimmt waren,<\/li>\n
  53. c) der Menge der hergestellten, ausgelieferten, erhaltenen oder bestellten Erzeugnisse sowie der Preise, die f\u00fcr die betreffenden Erzeugnisse bezahlt wurden,<\/li>\n
  54. wobei zum Nachweis der Angaben die entsprechenden Kaufbelege (Rechnungen, hilfsweise Lieferscheine) in Kopie vorzulegen sind, wobei geheimhaltungsbed\u00fcrftige Details au\u00dferhalb der auskunftspflichtigen Daten geschw\u00e4rzt werden d\u00fcrfen;<\/li>\n
  55. 3. Der Kl\u00e4gerin dar\u00fcber Rechnung zu legen, in welchem Umfang sie die zu Ziffer I. 1. bezeichneten Handlungen seit dem 01. Januar 2013 begangen hat und zwar unter Angabe<\/li>\n
  56. a) der einzelnen Lieferungen, aufgeschl\u00fcsselt nach Liefermenge, -zeiten, -preisen und Typenbezeichnungen sowie der Namen und Anschriften der Abnehmer,<\/li>\n
  57. b) der einzelnen Angebote, aufgeschl\u00fcsselt nach Angebotsmengen, -zeiten, -preisen und Typenbezeichnungen sowie der Namen und der Anschriften der Angebotsempf\u00e4nger,<\/li>\n
  58. c) der betriebenen Werbung, aufgeschl\u00fcsselt nach Werbetr\u00e4gern, deren Auflagenh\u00f6he, Verbreitungszeitraum und Verbreitungsgebiet,<\/li>\n
  59. d) der nach den erzielten Kostenfaktoren aufgeschl\u00fcsselten Gestehungskosten und des erzielten Gewinns,<\/li>\n
  60. wobei der Beklagten vorbehalten bleibt, die Namen und Anschriften der nicht-gewerblichen Abnehmer und der Angebotsempf\u00e4nger statt der Kl\u00e4gerin einem von der Kl\u00e4gerin zu bezeichnenden, ihr gegen\u00fcber zur Verschwiegenheit verpflichteten, in der Bundesrepublik Deutschland ans\u00e4ssigen, vereidigten Wirtschaftspr\u00fcfer mitzuteilen, sofern die Beklagte dessen Kosten tr\u00e4gt und ihn erm\u00e4chtigt und verpflichtet, der Kl\u00e4gerin auf konkrete Anfrage mitzuteilen, ob ein bestimmter Abnehmer oder Angebotsempf\u00e4nger in der Aufstellung enthalten ist,<\/li>\n
  61. wobei die Angaben unter lit. d) erst f\u00fcr die Zeit ab dem 11. Juli 2014 zu machen sind;<\/li>\n
  62. 4. Die zu Ziffer I. 1. bezeichneten und seit dem 11. Juni 2014 in Verkehr gebrachten Erzeugnisse gegen\u00fcber den gewerblichen Abnehmer unter Hinweis auf den gerichtlich festgestellten patentverletzenden Zustand der Sache und mit der verbindlichen Zusage zur\u00fcckzurufen, etwaige Entgelte zu erstatten sowie notwendige Verpackungs- und Transportkosten sowie mit der R\u00fcckgabe verbundene Zoll- und Lagerkosten zu \u00fcbernehmen und die erfolgreich zur\u00fcckgerufenen Erzeugnisse wieder an sich zu nehmen.<\/li>\n
  63. II. Festzustellen, dass die Beklagte verpflichtet ist,<\/li>\n
  64. 1. Der Kl\u00e4gerin f\u00fcr die zu Ziff. I. 1. bezeichneten, in der Zeit vom 01. Januar 2013 bis zum 10. Juli 2014 begangenen Handlungen eine angemessen Entsch\u00e4digung zu zahlen;<\/li>\n
  65. 2. Der Kl\u00e4gerin allen Schaden zu ersetzen, der dieser durch die zu Ziffer I. 1. bezeichneten Handlungen seit dem 11. Juli 2014 entstanden ist und noch entstehen wird.<\/li>\n
  66. Wegen der weiteren in Form von \u201eInsbesondere-Antr\u00e4gen\u201c geltend gemachten Antr\u00e4gen wird auf die Klageschrift vom 29.04.2016 (Bl. 3, 4 GA) Bezug genommen.<\/li>\n
  67. Die Beklagte beantragt:<\/li>\n
  68. Die Klage abzuweisen;<\/li>\n
  69. Hilfsweise:Den Rechtsstreit gem. \u00a7 148 ZPO bis zu einer Entscheidung des Schiedsgerichts in dem anh\u00e4ngigen ICC-Schiedsverfahren 22241\/FS, zwischen der Beklagten und der A S.r.l. als Kl\u00e4ger, und dem Kl\u00e4ger und seinem Institut f\u00fcr Siliziumtechnologie als Beklagte, \u00fcber bestehende Nutzungsrechte der Beklagten am Klagepatent auszusetzen;<\/li>\n
  70. Weiter Hilfsweise:Den Rechtsstreit gem. \u00a7 148 ZPO bis zu einer rechtskr\u00e4ftigen Entscheidung im Nichtigkeitsverfahren \u00fcber den Rechtsbestand des deutschen Teils des europ\u00e4ischen Patents EP 2 004 XXX B1 auszusetzen.<\/li>\n
  71. Die Beklagte r\u00fcgt zun\u00e4chst die fehlende internationale Zust\u00e4ndigkeit des angerufenen Gerichts.<\/li>\n
  72. Die Beklagte erhebt zudem die Einrede der Schiedsvereinbarung.<\/li>\n
  73. Das Klagepatent betreffe eine im Rahmen des E-Projekts gemeinsam entwickelte Technologie, weshalb der Streitgegenstand der hiesigen Klage in sachlicher Hinsicht der Schiedsvereinbarung aus Art. 16.1 KV unterfalle. Insbesondere seien auch bereits im Rahmen des Projekts Zwei-Kammer-Bauteile pr\u00e4sentiert worden.<\/li>\n
  74. Die Schiedsvereinbarung erfasse zudem nicht nur die A Italy als unmittelbaren Vertragspartner des Konsortialvertrags, sondern auch die Beklagte selbst. Denn nach dem anzuwendenden franz\u00f6sischen Recht k\u00f6nne auch ein beg\u00fcnstigter Dritter \u2013 wie die Beklagte nach Art. 8.5 lit. c) des KV \u2013 durch die Schiedsvereinbarung erfasst werden.<\/li>\n
  75. Die angegriffene Ausf\u00fchrungsform verletze aber auch die Lehre des Klagepatents nicht.<\/li>\n
  76. Vor dem Hintergrund, dass sie, die Beklagte, das angegriffene mikroelektromechanische System \u2013 insoweit unstreitig \u2013 nicht als \u201eEinzel-Bauteil\u201c sondern als Mehrfachbauelement auf einem Wafer-Substrat mit einem Kappenwafer herstellt, fehle es an einem aus einem \u201eEinzelsubstrat\u201c und einer \u201eEinzel-Kappenstruktur\u201c zusammengesetzten \u201eEinzel-Bauteil\u201c, wie die Lehre des Klagepatents es verlange.<\/li>\n
  77. Eine Verletzung des Klagepatents sei weiter aber auch deshalb ausgeschlossen, weil die Beklagte gem. Art. 10.4.2. KV i. V. m. Art. 8.5 lit. c) KV i. V. m. Art. 13.1 Annex II und gem. Art. 10.1.1 Unterabs. 2 KV i. V. m. Art. 8.5 lit. c KV zur Nutzung berechtigt sei. Zudem liege eine unberechtigte Entnahme durch die Kl\u00e4gerin vor.<\/li>\n
  78. Des Weiteren werde sich das Klagepatent im Rahmen des anh\u00e4ngigen Nichtigkeitsverfahrens, insbesondere wegen fehlender Neuheit als nicht rechtsbest\u00e4ndig erweisen.<\/li>\n
  79. Wegen des weiteren Sach- und Streitstandes wird auf die wechselseitig zur Akte gereichten Schrifts\u00e4tze nebst Urkunden und Anlagen sowie auf das Protokoll der Sitzung vom 16.11.2017 Bezug genommen.<\/li>\n
  80. \n

    E n t s c h e i d u n g s g r \u00fc n d e<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

  81. Die Klage hat keinen Erfolg.Sie ist unzul\u00e4ssig. Zwar ist das angerufene Gericht international zust\u00e4ndig (dazu unter Ziff. I.), jedoch steht einer Entscheidung des Rechtsstreits durch ein staatliches Gericht die Einrede der Schiedsvereinbarung entgegen (dazu unter Ziff. II.).<\/li>\n
  82. I.Die internationale Zust\u00e4ndigkeit des Landgerichts D\u00fcsseldorf ist begr\u00fcndet.<\/li>\n
  83. Nach Art. 5 Nr. 3 des Luganer \u00dcbereinkommens \u00fcber die gerichtliche Zust\u00e4ndigkeit und die Vollstreckung gerichtlicher Entscheidungen in Zivil- und Handelssachen vom 30.10.2007 (nachfolgend: Lug\u00dc), der wortgleich Art. 7 Abs. 2 der Verordnung (EG) Nr 44\/2001 des Rates vom 22.12.2000 \u00fcber die gerichtliche Zust\u00e4ndigkeit und die Anerkennung und die Vollstreckung von Entscheidungen in Zivil- und Handelssachen (EuGVVO) entspricht, kann eine Person, die \u2013 wie die Beklagte in der Schweiz (bzw. den Niederlanden) \u2013 ihren Sitz in dem Hoheitsgebiet eines Mitgliedstaates hat, in einem anderen Mitgliedstaat verklagt werden, wenn eine unerlaubte Handlung den Gegenstand des Verfahrens bildet, und das sch\u00e4digende Ereignis in dem Hoheitsgebiet dieses anderen Mitgliedstaates eingetreten ist. Danach ist einerseits der Erfolgsort, mithin der Ort, an dem sich das sch\u00e4digende Ereignis verwirklicht, und andererseits der Handlungsort, mithin der Ort, an dem sich das f\u00fcr den Schaden urs\u00e4chliche Geschehen ereignet hat, zust\u00e4ndigkeitsbegr\u00fcndend (EuGH, GRUR 2014, 599, Rn. 27 \u2013 Hi Hotel\/Spoering; K\u00fchnen, Hdb. d. Patentverletzung, 9. Auflage, 2017, Rn. D.32). Bei der Auslegung des Lug\u00dc ist die Rechtsprechung des EuGH zu den Parallelvorschriften in der EuGVVO zu beachten, insbesondere, wenn es sich um Vorschriften des Lug\u00dc handelt, die wortgleich denen der EuGVVO entsprechen (BGH, Beschluss vom 30.11.2009 \u2013 II ZR 55\/09 \u2013 Rn. 4 bei Juris sowie BGH, Urteil vom 23. Oktober 2001 \u2013 XI ZR 83\/01 \u2013 Rn. 16 bei Juris).<\/li>\n
  84. F\u00fcr die internationalen Zust\u00e4ndigkeit in diesem Sinne ist ausreichend, dass der Kl\u00e4ger eine zust\u00e4ndigkeitsbegr\u00fcndende Verletzungshandlung (als doppeltrelevante Tatsache) schl\u00fcssig behauptet (BGH, GRUR 2012, 1230, Rn. 9 \u2013 MPEG-2-Videosignalcodierung; K\u00fchnen, ebd., Rn. D.40). Die internationale Zust\u00e4ndigkeit ist nur dann zu versagen, wenn von vornherein ausgeschlossen werden kann, dass das behauptete Verhalten des Beklagten einen Schutzrechtseingriff darstellt, oder der vorgetragene Sachverhalt aus Rechtsgr\u00fcnden Anspr\u00fcche nicht begr\u00fcnden kann (K\u00fchnen, a.a.O.).<\/li>\n
  85. Nach dieser Ma\u00dfgabe ist die internationale Zust\u00e4ndigkeit des angerufenen Gerichts vorliegend begr\u00fcndet. Auf der Grundlage des Kl\u00e4gervortrags liegen inl\u00e4ndische Angebotshandlungen und ein inl\u00e4ndisches Inverkehrbringen der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform durch die Beklagte vor, ist mithin der Erfolgsort auch im Hoheitsgebiet des angerufenen Gerichts gelegen.<\/li>\n
  86. 1.Angebotshandlungen im Hoheitsgebiet des angerufenen Gerichts sind insbesondere durch den Internetauftritt der Beklagten unter der Internetseite mit der Adresse www.A.com schl\u00fcssig dargetan.<\/li>\n
  87. Der Begriff des Anbietens im Sinne von \u00a7 9 Satz 2 Nr. 1 PatG umfasst jede im Inland begangene Handlung, die nach ihrem objektiven Erkl\u00e4rungswert den Gegenstand der Nachfrage in \u00e4u\u00dferlich wahrnehmbarer Weise zum Erwerb der Verf\u00fcgungsgewalt bereitstellt (BGH, GRUR 2008, 927 \u2013 Kunststoffb\u00fcgel; OLG D\u00fcsseldorf, Urteil vom 27.03.2014 \u2013 Az. I-15 U 19\/14, zitiert nach juris). Anbieten umfasst auch vorbereitende Handlungen, die das Zustandekommen eines sp\u00e4teren Gesch\u00e4fts \u00fcber den gesch\u00fctzten Gegenstand erm\u00f6glichen oder bef\u00f6rdern sollen. Ein Mittel hierzu ist auch die blo\u00dfe Bewerbung eines Produkts im Internet (GRUR-RR 2007, 259, 261 \u2013 Thermocycler).<\/li>\n
  88. a)Bei Internetangeboten ist \u2013 f\u00fcr die Frage des Inlandsbezugs im Sinne von Art. 5 Nr. 3 Lug\u00dc bzw. Art. 7 Abs. 2 EuGVVO \u2013 entscheidend, ob die das Angebot enthaltende Internetseite in dem Gebiet des angerufenen Gerichts abrufbar ist, ein dar\u00fcber hinaus gehender wirtschaftlicher Bezug zu dem Sitz des angerufenen Gerichts ist nicht erforderlich (EuGH, GRUR 2015, 206, Rn. 34, 38 \u2013 Hejduk; BGH, GRUR 2016, 1048, Rn. 18 \u2013 An Evening with Marlene Dietrich; K\u00fchnen, ebd., Rn. D.34 und Rn. D.41).\n

    Zwischen den Parteien ist unstreitig, dass \u00fcber die Internetseite der Beklagten ein Musterexemplar der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform (mit der Bezeichnung \u201eBTR\u201c) erworben werden kann. Damit wird dem angesprochenen Verkehrskreis suggeriert, dass ihm diese durch die Beklagte zur eigenen Verf\u00fcgungsgewalt \u00fcberlassen wird. Die Angebotshandlung richtet sich auch an potenzielle Abnehmer im Gebiet der Bundesrepublik Deutschland, denn dort ist die Internetseite unstreitig auch abrufbar.<\/li>\n

  89. b)Daneben ist von inl\u00e4ndischen Angebotshandlungen aber auch dann auszugehen, wenn f\u00fcr diese \u2013 wie nach deutschem Sachrecht \u2013 ein besonderer wirtschaftlich relevanter Inlandsbezug verlangt wird (K\u00fchnen, a.a.O., Rn. A.250), wobei es in diesem Zusammenhang auf die tats\u00e4chliche Lieferbereitschaft ins Inland nicht ankommt, sondern ma\u00dfgeblich ist, wie das Angebot aus Sicht der interessierten Verkehrskreise im Inland zu verstehen ist (OLG Karlsruhe, Urteil vom 14.01.2009 \u2013 Az. 6 U 54\/06 \u2013 Rn. 9 \u2013 SMD-Widerstand, zitiert nach juris).<\/li>\n
  90. F\u00fcr einen Inlandsbezug in diesem Sinne spricht vorliegend bereits, dass die Internetseite der Beklagten in englischer Sprache abgefasst ist, obwohl sie selbst in der Schweiz bzw. den Niederlanden ans\u00e4ssig ist. In diesen L\u00e4ndern wird die englische Sprache nicht vorranging gesprochen, so dass die Abfassung in englischer Sprache f\u00fcr die zumindest europaweite (bzw. internationale) Ausrichtung der Beklagten spricht. Vor dem Hintergrund, dass die angegriffene Ausf\u00fchrungsform unstreitig auch jedenfalls von dritten Unternehmen in Deutschland vertrieben wird, ist davon auszugehen, dass dort auch ein potenzieller Abnehmerkreis ans\u00e4ssig ist. Inwiefern die Angabe der H\u00e4ndlerverf\u00fcgbarkeit f\u00fcr \u201eEuropa\u201c zu einem Angebotsausschluss f\u00fcr das Gebiet der Bundesrepublik Deutschland f\u00fchren soll, worauf sich die Beklagte beruft, ist nicht erkennbar. Dies gilt umso mehr, als auf dem Internetauftritt auch auf die Seite deutscher Vertriebsh\u00e4ndler verlinkt wird. Auch f\u00fchrt die Angabe von Kaufpreisen in der W\u00e4hrung \u201eUS-Dollar\u201c aus der Sicht des angesprochenen Verkehrskreises zu keiner Einschr\u00e4nkung. Dass das Angebot deshalb nicht auf den amerikanischen Raum beschr\u00e4nkt ist, erschlie\u00dft sich dem angesprochenen Verkehrskreis bereits daraus, dass die H\u00e4ndlerverf\u00fcgbarkeit auch f\u00fcr Europa angegeben wird. Des Weiteren ist die Preisangabe in US-Dollar mit dem Vermerk versehen:<\/li>\n
  91. \u201e[\u2026] For [\u2026] prices in local currency, please contact local ST Sales Office or our Distributors.\u201d (vgl. screenshot, Klageschrift v. 29.04.2016, S. 12, Bl. 13 GA),<\/li>\n
  92. Auch aus diesem Verweis auf andere W\u00e4hrung ergibt sich, dass eine Beschr\u00e4nkung auf den amerikanischen Raum nicht beabsichtigt ist. Daf\u00fcr spricht weiter auch, dass die Beklagte vom 10. bis 12. Mai auf der Messe I Europe 2016 in F ausstellte.<\/li>\n
  93. 2.Die Kl\u00e4gerin hat zudem vorgetragen, dass die Beklagte die angegriffene Ausf\u00fchrungsform an die in Deutschland ans\u00e4ssige D GmbH geliefert hat.<\/li>\n
  94. Ein Inverkehrbringen bedeutet jedwede T\u00e4tigkeit, durch die der Eintritt des patentierten Erzeugnisses in den Handelsverkehr, der Umsatz- und Ver\u00e4u\u00dferungsgesch\u00e4fte zum Gegenstand hat, tats\u00e4chlich bewirkt wird, indem das patentierte Erzeugnis unter Begebung der eigenen Verf\u00fcgungsgewalt tats\u00e4chlich in die Verf\u00fcgungsgewalt einer anderen Person \u00fcbergeht (Scharen, in: Benkard, PatG, Kommentar, 11. Auflage, 2015, \u00a7 9, Rn. 44).<\/li>\n
  95. Die Kl\u00e4gerin tr\u00e4gt vor, die Beklagte habe die angegriffene Ausf\u00fchrungsform an die in Deutschland ans\u00e4ssige D GmbH geliefert. Dieser Vortrag erfolgt auch nicht erkennbar ins Blaue hinein, weil sich die Kl\u00e4gerin dabei auf das prozessuale Vorbringen der D GmbH in dem parallelen Rechtsstreit zwischen der Kl\u00e4gerin und der D GmbH (Az.: 4a O 74\/15) st\u00fctzt. Dieses Vorbringen hat die Kl\u00e4gerin auch in das hiesige Verfahren eingef\u00fchrt, indem sie mit der Anlage K7 den Schriftsatz der D GmbH vorlegt, mit welcher diese unter anderem der hiesigen Beklagten den Streit verk\u00fcndet. Darin hei\u00dft es:<\/li>\n
  96. \u201eDabei ist die Streitverk\u00fcndete zu (2) [hiesige Beklagte] die Lieferantin der streitgegenst\u00e4ndlichen und angeblich patentverletzenden Produkte and die [gemeint ist wohl: \u201ean die\u201c] Unternehmensgruppe der Beklagten zu 2), die Streitverk\u00fcndeten zu (1) [Premier D plc] und (3) [Premier D UK Limited] teilweise zwischengeschaltete weitere Vertriebsgesellschaften, \u00fcber die \u2013 als Konzerngesellschaften der Beklagten zu 2) \u2013 der Vertrieb an die Beklagte zu 2 erfolgte.\u201c<\/li>\n
  97. Aus diesem Vortrag geht zwar nicht ausdr\u00fccklich hervor, dass die Beklagte selbst direkt an die D GmbH geliefert hat. Vielmehr ist danach eine Lieferkette auch derart m\u00f6glich, dass zun\u00e4chst in UK ans\u00e4ssige Tochtergesellschaften der D GmbH (n\u00e4mlich die Premier D plc und die Premier D UK Limited) beliefert wurden. Aus dem Vorbringen der D GmbH geht jedoch hervor, dass diese (anderen) Vertriebsgesellschaften nur teilweise zwischengeschaltet waren, so dass jedenfalls auch eine direkte Belieferung an die D GmbH schl\u00fcssig ist. Das Bestreiten einer solchen Lieferung durch die Beklagte ist vorliegend \u2013 im Rahmen der Zul\u00e4ssigkeitspr\u00fcfung \u2013 unbeachtlich.<\/li>\n
  98. II.Die Klage ist jedoch unzul\u00e4ssig, weil die Beklagte sich vor Beginn der m\u00fcndlichen Verhandlung auf die Einrede der Schiedsvereinbarung berufen hat und der Anwendungsbereich der wirksamen Schiedsklausel er\u00f6ffnet ist.<\/li>\n
  99. Gem. \u00a7 1032 Abs. 1 ZPO f\u00fchrt eine wirksame Schiedsvereinbarung \u2013 Unwirksamkeitsgr\u00fcnde werden vorliegend nicht geltend gemacht \u2013 \u00fcber den Streitgegenstand der Klage, sofern sich der Beklagte vor Beginn der m\u00fcndlichen Verhandlung darauf beruft, zur Unzul\u00e4ssigkeit der Klage.<\/li>\n
  100. So ist es vorliegend.<\/li>\n
  101. Der Gegenstand der hiesigen Klage unterf\u00e4llt bei Auslegung der in Art. 16.1 KV niedergelegten Schiedsklausel nach dem ma\u00dfgeblichen franz\u00f6sischen Recht (dazu unter Ziff. 1.) dem sachlichen (dazu unter Ziff. 2.) und dem pers\u00f6nlichen (dazu unter Ziff. 3.) Anwendungsbereich der Klausel. Es kann schlie\u00dflich auch nicht festgestellt werden, dass die Beklagte die Einrede der Schiedsvereinbarung in rechtsmissbr\u00e4uchlicher Art und Weise erhebt (dazu unter Ziff. 4.).<\/li>\n
  102. 1.Die Reichweite einer Schiedsvereinbarung ist durch gro\u00dfz\u00fcgige Auslegung zu ermitteln, die sich nach dem Schiedsvereinbarungsstatut bestimmt (BGH, NJW-RR 2002, 387; Geimer, in: Z\u00f6llner, ZPO, Kommentar, 31. Auflage, 2016, \u00a7 1029, Rn. 77), vorliegend mithin \u2013 aufgrund des Sitzes des Schiedsgerichts (vgl. Geimer, ebd., \u00a7 1029, Rn. 107) in Paris \u2013 franz\u00f6sisches Recht.<\/li>\n
  103. Soweit die Kl\u00e4gerin der Auffassung ist, die Schiedsklausel sei wegen der in Art. 19 KV i. V. m. Art. 5.1 Annex II getroffenen Rechtswahl nach belgischem Recht auszulegen, ist dem nicht beizutreten. Denn die f\u00fcr die materiell-rechtlichen Regelungen anwendbaren Vorschriften des IPR (Art. 3 ff. der Verordnung (EG) Nr. 593\/2008 des Europ\u00e4ischen Parlaments und des Rates vom 17.Juni 2008 \u00fcber das auf vertragliche Schuldverh\u00e4ltnisse anzuwendende Recht; nachfolgend: Rom I-VO) sind f\u00fcr die Schiedsvereinbarung als Prozessvertrag nicht relevant (Geimer, ebd., \u00a7 1029, Rn. 107). Eine ausdr\u00fcckliche Rechtswahl f\u00fcr den materiell-rechtlichen Hauptvertrag erfasst daher nicht automatisch auch die Schiedsvereinbarung (Geimer, ebd., \u00a7 1029, Rn. 112). Sie begr\u00fcndet in der Regel auch kein ausreichendes Indiz f\u00fcr eine konkludente Rechtswahl, welche die subsidi\u00e4re Ankn\u00fcpfung an den Sitz des Schiedsgerichts verdr\u00e4ngen k\u00f6nnte (a.a.O.). Dies gilt insbesondere dann, wenn der von den Parteien gew\u00e4hlte Schiedsort \u2013 wie hier auch \u2013 in einem anderen Land liegt (Geimer, ebd., \u00a7 1029, Rn. 118).<\/li>\n
  104. Die Kammer geht davon aus, dass die Auslegung der Vertragsklausel, die die Schiedsvereinbarung zum Gegenstand hat, nach franz\u00f6sischem Recht in vegleichbarer Weise vorzunehmen ist, wie nach deutschem Recht. Gem. \u00a7 293 ZPO hat das zur Anwendung ausl\u00e4ndischen Rechts berufene deutsche Gericht die ma\u00dfgeblichen Rechtsvorschriften des anderen Staates von Amts wegen zu ermitteln. Dabei steht es in seinem pflichtgem\u00e4\u00dfen Ermessen, wie es dieser Verpflichtung nachkommen will. Die Einholung eines Rechtsgutachtens ist nicht zwingend, wenn die ma\u00dfgeblichen Rechtsnormen und Rechtsgrunds\u00e4tze auf andere Weise ermittelt werden k\u00f6nnen (OLG Frankfurt a. M., Beschl. v. 24.10.2006, Az.: 26 Sch 6\/06, Rn. 12, zitiert nach juris,).<\/li>\n
  105. So ist es vorliegend.<\/li>\n
  106. Die franz\u00f6sische Rechtsordnung enth\u00e4lt niedergeschriebene, f\u00fcr die Kammer einsehbare und aufgrund von \u00dcbersetzungen verst\u00e4ndliche Auslegungsgrunds\u00e4tze. Des Weiteren haben die Parteien \u2013 soweit der pers\u00f6nliche Anwendungsbereich der Schiedsvereinbarung betroffen ist \u2013 Rechtsprechung der ma\u00dfgeblichen Jurisdiktion vorgelegt. Des Weiteren liegt dem Gericht deutschsprachige Fachliteratur zur Vertragsauslegung nach franz\u00f6sischem Recht vor.<\/li>\n
  107. Auf bis zum 01.10.2016 abgeschlossene Vertr\u00e4ge \u2013 die Unterzeichnung des Konsortialvertrags datiert aus dem Jahre 2003 \u2013 ist der Code Civil in der bis zu diesem Zeitpunkt geltenden Fassung anwendbar (Babusiaux\/ Witz, Das neue franz\u00f6sische Vertragsrecht, JZ 2017, 496 (497)). Gem. Art. 1156 a. F. des Code Civil (im Folgenden: CC), der Art. 1188 Abs. 1 n. F. CC entspricht, ist bei der Vertragsauslegung die wahre Intention der Parteien dem w\u00f6rtlichen Verst\u00e4ndnis des Vertragstextes vorzuziehen (Babusiaux\/ Witz, ebd., 496 (503)). Zur Auslegung ist der Vertrag gem. Art. 1161 a. F. CC in seiner Gesamtheit heranzuziehen.<\/li>\n
  108. 2.Der sachliche Anwendungsbereich der Schiedsabrede ist er\u00f6ffnet.<\/li>\n
  109. a)Ausgehend von dem von der Kl\u00e4gerin nicht angegriffenen durch die Beklagte \u00fcbersetzten Wortlaut der streitgegenst\u00e4ndlichen Schiedsgerichtsvereinbarung in Art. 16.1 KV,<\/li>\n
  110. \u201eS\u00e4mtliche Streitigkeiten oder Meinungsverschiedenheiten im Zusammenhang mit diesem Konsortialvertrag [\u2026]\u201c),<\/li>\n
  111. war den vertragsschlie\u00dfenden Parteien daran gelegen, die Lebenssachverhalte, die in einem Zusammenhang mit dem Konsortialvertrag stehen, der staatlichen Gerichtsbarkeit umfassend zu entziehen und der Zust\u00e4ndigkeit des Schiedsgerichts zu unterstellen.<\/li>\n
  112. Dies ber\u00fccksichtigend findet die Schiedsklausel nicht blo\u00df auf solche Sachverhalte Anwendung, bei denen die klagende Partei einen unmittelbar aus dem Konsortialvertrag erwachsenden Anspruch geltend macht. Der von den Parteien beabsichtigte Bezug zu dem Konsortialvertrag ist vielmehr auch dann gegeben, wenn der f\u00fcr das Bestehen des Anspruchs ma\u00dfgebliche Lebenssachverhalt einen engen sachlichen Zusammenhang zu den in dem Konsortialvertrag getroffenen Regelungen aufweist.<\/li>\n
  113. Diese an dem Lebenssachverhalt orientierte Betrachtung deckt sich auch mit den nach deutschem Recht entwickelten Grunds\u00e4tzen f\u00fcr die Auslegung einer Schiedsgerichtsklausel. Danach kann sich die Klausel auch auf \u2013 wie vorliegend geltend gemacht \u2013 deliktische Anspr\u00fcche erstrecken, wenn die unerlaubte Handlung sich mit der Vertragsverletzung deckt (BGH, NJW 1965, 300; BGH, Urt. v. 25.10.2016, Az.: X ZR 27\/15, Rn. 17 \u2013 19, zitiert nach BeckRS 2016, 110295; LG D\u00fcsseldorf, Urt. v. 18.11.2003, Az.: 4a O 395\/02, Rn. 34, zitiert nach juris; Geimer, ebd., \u00a7 1029, Rn. 80).<\/li>\n
  114. b)Eine Deckung der Lebenssachverhalte in dem beschriebenen Sinn liegt auch im Hinblick auf den Streitgegenstand des hiesigen Verfahrens vor.<\/li>\n
  115. aa)Die Beklagte wendet gegen die von der Kl\u00e4gerin wegen der Verletzung des Klagepatents geltend gemachten (deliktischen) Anspr\u00fcche ein, sie sei gem. Art. 13.1 Annex II i. V. m. Art. 10.4.2 und Art. 8.5 lit. c) KV bzw. gem. Art. 10.1.1 KV i.V.m. Art. 8.5 lit. c) KV zur Nutzung berechtigt.<\/li>\n
  116. Art. 13.1 Annex II sieht vor, dass Vertragsparteien (gem. Art. 1 Nr. 4 Annex II an dem Vertrag beteiligte Parteien) Zugangsrechte f\u00fcr die Nutzung von aus dem E-Projekt resultierendem Wissen erhalten sollen, und gew\u00e4hrt damit selbst noch nicht unmittelbar Nutzungsrechte (\u201eshall\u201c\/ \u201esollen\u201c). Diese k\u00f6nnen vielmehr nach Art. 13.5 Annex II binnen eines Zeitraums von f\u00fcnf Jahren nach Beendigung des Projekts angefragt werden (Art. 13.5 Annex II). \u201eZugangsrechte\u201c meint dabei Lizenzen und Nutzungsrechte in Bezug auf Kenntnisse oder bereits bestehendes Wissen (Art. Nr. 23 Annex II). \u201eNutzung\u201c im Sinne der Regelung erfasst neben der Verwendung der Ergebnisse f\u00fcr Forschungsaktivit\u00e4ten auch die Verwertung in Form der Herstellung und des Vertriebs von Produkten (vgl. Art. 1 Nr. 27, 28 Annex II). \u201eWissen\u201c erfasst gem. Art. 1. Nr. 21 Annex II einerseits unmittelbar die Projektergebnisse, aber auch Rechte, die im Hinblick auf diese Ergebnisse angemeldet oder bereits erteilt worden sind (z. B. Patente, Sortenschutz usw.) (Hervorhebung diesseits).<\/li>\n
  117. Art. 13.1 Annex II wird durch den Konsortialvertrag modifiziert (vgl. auch Art. 2.1 KV), indem Art. 10.4.2 KV vorsieht, dass Nutzungsrechte ab dem Zeitpunkt, zu dem der Vertrag gem. Art. 2.2 KV wirksam wird, als einger\u00e4umt gelten. Der Begriff der \u201eNutzung\u201c wird in dem Konsortialvertrag wie in dem Annex II verwendet (vgl. Art. 1.1 KV), so dass auch Art. 10.4.2 KV die Verwertung von Wissen in Form des Vertriebs von Produkten erfasst. Auch der Begriff des \u201eWissens\u201c ist an denjenigen aus dem Annex II angelehnt, erstreckt sich mithin auch auf Patente, die aus dem Projekt resultierendes Wissen sch\u00fctzen.<\/li>\n
  118. Art. 10.1.1 KV r\u00e4umt denjenigen Vertragsschlie\u00dfenden Nutzungsrechte an Projektergebnissen (auch in Form von Schutzrechten) ein, an deren Entwicklung sie beteiligt waren.<\/li>\n
  119. Gem. Art. 8.5 lit. c) KV werden die nach den genannten Vorschriften einger\u00e4umten Nutzungsrechte nicht nur den vertragsschlie\u00dfenden Parteien gew\u00e4hrt, sondern auch den sog. Affiliates. Bei diesen handelt es sich ausweislich Art. 1.2 lit. a) KV unter anderem um juristische Personen, die unter einer gemeinschaftlichen Kontrolle stehen, wobei der Begriff der Kontrolle weiter konkretisiert wird. Damit bezieht die Vorschrift in gewissem Umfang konzernverbundene Unternehmen in die Nutzungsberechtigung mit ein (ausf\u00fchrlicher zu dem pers\u00f6nlichen Anwendungsbereich der Klausel unter Ziff. 3).<\/li>\n
  120. bb)Dies ber\u00fccksichtigend leitet sich der f\u00fcr die Beurteilung der Nutzungsberechtigung an dem Klagepatent ma\u00dfgebliche Lebenssachverhalt unmittelbar aus dem Konsortialvertrag ab. Entscheidend ist \u2013 wor\u00fcber zwischen den Parteien Streit besteht \u2013, ob die Lehre des Klagepatents ein unmittelbares Projektergebnis verk\u00f6rpert. Denn daran kn\u00fcpfen die Regelungen des Konsortialvertrags \u2013 wie unter lit. aa) aufgezeigt \u2013 die Einr\u00e4umung von Nutzungsrechten.<\/li>\n
  121. Auf der Grundlage des Parteiwillens, die Schiedsklausel zu einer umfassenden Geltung zu bringen, macht es keinen Unterschied, ob auf der Grundlage des Konsortialvertrags ein Nutzungsrecht eingeklagt wird, der Vertrag mithin als Anspruchsgrundlage dient, oder ob die Nutzungsberechtigung als Rechtfertigung einer patentrechtlich relevanten Benutzung zu pr\u00fcfen ist. Denn die in diesem Zusammenhang ma\u00dfgeblichen, dem Schiedsgericht zugewiesenen Fragestellungen bleiben dieselben, sie unterscheiden sich lediglich in ihrer dogmatischen Einkleidung.<\/li>\n
  122. Schlie\u00dflich steht der Er\u00f6ffnung des sachlichen Anwendungsbereichs der Klausel auch nicht entgegen, dass die Kl\u00e4gerin der Klausel nach Art. 10.4.2 KV einen abweichenden Parteiwillen zuordnet, wonach die Parteien lediglich die Dauer einer im Fall einer Berechtigungsanfrage nach Art. 13.5 Annex II erst noch vorzunehmenden Rechteeinr\u00e4umung haben kl\u00e4ren wollen. Denn dies zu beurteilen, ist bereits der Zust\u00e4ndigkeit des Schiedsgerichts unterstellt. Zumal auch die von der Beklagten vorgebrachte Auslegung des Vertragspassus nicht offensichtlich unvertretbar erscheint (vgl. zum Einwand des Rechtsmissbrauchs im \u00dcbrigen unter Ziff. 4.).<\/li>\n
  123. 3.Die Beklagte ist auch von dem pers\u00f6nlichen Anwendungsbereich der Schiedsvereinbarung erfasst, auch wenn sie keine der vertragsschlie\u00dfenden Parteien ist.<\/li>\n
  124. a)Auch Dritte k\u00f6nnen nach deutschem Recht in eine Schiedsvereinbarung einbezogen werden (Voit, in: Musielak\/ Voit, ZPO, Kommentar, 14. Auflage, 2017, \u00a7 1029, Rn. 9). Darin liegt keine Schiedsvereinbarung zu Lasten Dritter, weil sich durch eine solche Klausel lediglich die Vertragsschlie\u00dfenden dem schiedsgerichtlichen Verfahren unterwerfen, dem Dritten jedoch die Wahl verbleibt, ob er Klage vor einem staatlichen Gericht erheben m\u00f6chte (Geimer, ebd., \u00a7 1031, Rn. 18). Dass dies auch nach franz\u00f6sischem Recht m\u00f6glich ist, legt das von der Beklagten vorgelegte Urteil des \u201eCour de Cassation\u201c vom 11.07.2006, Az.: 03-11983 (Anlage FBD B4b, insbesondere. S. 2, 3. Abs.; deutsche Computer\u00fcbersetzung: Anlage FBD B4a), nahe. Dagegen steht auch nicht die von der Kl\u00e4gerin mit Anlage K12 vorgelegte Entscheidung \u2013 ebenfalls \u2013 des Kassationsgerichtshof vom 04.06.1985. Darin hei\u00dft es zwar, dass eine Schiedsklausel allein die Vertragsschlie\u00dfenden binden k\u00f6nne (Anlage K12, S. 2, 5. Abs.). Zum einen geht jedoch daraus nicht hervor, dass sich aus einer entsprechenden Intention der Vertragsschlie\u00dfenden nicht auch die Einbeziehung Dritter in eine Schiedsvereinbarung ergeben kann. Zum anderen handelt es sich dabei um eine Entscheidung, die \u2013 gegen\u00fcber der von der Beklagten angef\u00fchrten Entscheidung \u2013 \u00fcber zwanzig Jahre zur\u00fcckliegt, so dass jedenfalls davon ausgegangen werden kann, dass auch nach franz\u00f6sischem Recht die Einbeziehung Dritter in eine Schiedsvereinbarung nicht (mehr) schlechthin ausgeschlossen ist.<\/li>\n
  125. b)Bei der nach Ma\u00dfgabe der dargestellten Auslegungsgrunds\u00e4tze (vgl. Ziff. 2., lit. a)) vorzunehmenden Vertragsauslegung ist zun\u00e4chst zu ber\u00fccksichtigen, dass konzernverbundenen Dritten (\u201eAffiliates\u201c) nach dem in Art. 8.5. lit. c) KV zum Ausdruck kommenden Parteiwillen in demselben Umfang wie den Vertragsschlie\u00dfenden selbst Nutzungsrechte einger\u00e4umt werden sollten. Damit sollte es den Vertragsschlie\u00dfenden m\u00f6glich sein, die Nutzung des Projektwissens entsprechend ihrer jeweiligen Unternehmensstruktur vornehmen zu k\u00f6nnen, ohne dass es dazu einer (aufw\u00e4ndigen) Nutzungsrechtseinr\u00e4umung im Au\u00dfenverh\u00e4ltnis mit anderen Projektpartnern f\u00fcr jeden einzelnen Fall der Nutzung von Projektwissen durch verbundene Unternehmen bedurfte.<\/li>\n
  126. Dies ber\u00fccksichtigend ist anzunehmen, dass mit der materiell-rechtlichen Gleichstellung der Affiliates auch ein Gleichlauf im Hinblick auf den von der Schiedsvereinbarung erfassten Personenkreis einhergehen sollte. Bei einem anderen Verst\u00e4ndnis w\u00fcrde eine Differenzierung nach einzelnen juristischen Personnen innerhalb des Konzerns \u2013 entgegen der materiellen Regelungen \u2013 erforderlich. Des Weiteren best\u00fcnde die Gefahr, dass die Schiedsklausel weitestgehend leerlaufen w\u00fcrde. Die Schiedsklausel sollte nach dem Parteiwillen einen umfassenden sachlichen Anwendungsbereich haben, insbesondere sollten auch Frage der Nutzungsberechtigung in die Zust\u00e4ndigkeit des Schiedsgerichts fallen. W\u00fcrde die Schieddsklausel lediglich auf die vertragsschlie\u00dfenden Parteien Anwendung finden, so w\u00e4re es von der internen Aufgabenverteilung bei dem jeweiligen Vertragspartner abh\u00e4ngig, ob ein staatliches Gericht oder das Schiedsgericht die jeweilige Auseinandersetzung entscheidet. Dies w\u00fcrde die Anwendbarkeit der Schiedsklausel aus der Sicht der jeweiligen Vertragspartner beliebig machen. Vertragsschlie\u00dfende Parteien sind jedoch bestrebt, eine f\u00fcr sie vorhersehbare Regelung zu treffen.<\/li>\n
  127. c)Die Beklagte ist auch \u201eAffiliate\u201c im Sinne der vertraglichen Vereinbarung (Art. 1.2 lit. a) KV).<\/li>\n
  128. Denn die Beklagte und die A Italy unterstehen der Kontrolle der A NV.<\/li>\n
  129. Unerheblich ist in diesem Zusammenhang, dass die Beklagte erst nach Abschluss der Projektarbeit gegr\u00fcndet worden ist. Eine Beschr\u00e4nkung auf im Zeitpunkt des Vertragsschlusses existente verbundene Unternehmen ist der vertraglichen Vereinbarung nicht zu entnehmen. Auch insoweit ist die bereits dargelegte Intention der Vertragsparteien zu ber\u00fccksichtigen, die Frage der Nutzungsberechtigung von internen Konzernentscheidungen und -strukturen abzukoppeln. Eine Beschr\u00e4nkung der Nutzungsrechteinr\u00e4umung auf im Zeitpunkt des Vertragsschlusses verbundene Unternehmen w\u00fcrde diesem Zweck zuwiderlaufen.<\/li>\n
  130. d)Gegen die Anwendbarkeit der Klausel auf einen Rechtsstreit zwischen der Kl\u00e4gerin und der Beklagten spricht schlie\u00dflich auch nicht, dass die Kl\u00e4gerin \u2013 erstmalig im Rahmen der m\u00fcndlichen Verhandlung am 16.11.2017 \u2013 geltend gemacht hat, die Voraussetzungen, an die Art. 8.5 lit. c) KV die Rechteeinr\u00e4umung auch an verbundene Unternehmen kn\u00fcpfe, seien vorliegend nicht eingetreten.<\/li>\n
  131. Diese bestehen insbesondere darin, dass das verbundene Unternehmen seinerseits Zugangsrechte gew\u00e4hrt und im \u00dcbrigen andere aus dem Konsortialvertrag herr\u00fchrende Pflichten, insbesondere Vertraulichkeitsabreden, einh\u00e4lt.<\/li>\n
  132. Unbeschadet dessen, dass auch die Beurteilung, ob die Voraussetzungen, unter denen eine Nutzungsberechtigung gew\u00e4hrt wird, dem Schiedsgericht obliegt, hat die Kl\u00e4gerin \u2013 entgegen der sie treffenden sekund\u00e4ren Darlegungslast \u2013 vorliegend weder behauptet, dass Rechte bestehen, an denen die Beklagte Nutzungsberechtigungen gew\u00e4hren k\u00f6nnte, noch hat sie Tatsachen daf\u00fcr vorgebracht, dass das Verhalten der Beklagten Regelungen des Konsortialvertrags zuwiderl\u00e4uft.<\/li>\n
  133. 4.Der Einrede der Schiedsvereinbarung steht auch nicht der Einwand der unzul\u00e4ssigen Rechtsaus\u00fcbung entgegen.<\/li>\n
  134. Soweit die Kl\u00e4gerin in diesem Zusammenhang darauf verweist, dass die Rechtsprechung die Rechtsh\u00e4ngigkeitssperre des Art. 29 EuGVVO (vormals: Art. 21 EuGV\u00dc) unter dem Gesichtspunkt des Verbots der unzul\u00e4ssigen Rechtsaus\u00fcbung nicht durchgreifen lasse, wenn das andere angerufene Gericht offensichtlich unzust\u00e4ndig ist, und das Verfahren vor dem angerufenen Gericht nur z\u00f6gerlich betrieben wird (LG D\u00fcsseldorf, Urt. v. 19.12.2002, Az.: 4a O 4\/00, Rn. 26 a. E., zitiert nach InstGE 3, 8 \u2013 Cholesterin-Test), so liegt hier eine vergleichbare Konstellation nicht vor. Auch im \u00dcbrigen ergeben sich Ankn\u00fcpfungspunkte f\u00fcr ein rechtsmissbr\u00e4uliches Verhalten der Beklagten nicht.<\/li>\n
  135. a)Insoweit ist zun\u00e4chst zu ber\u00fccksichtigen, dass sich die Kl\u00e4gerin vorliegend einer Schiedsvereinbarung unterworfen hat. Wie aufgezeigt ist der Anwendungsbereich dieser Klausel er\u00f6ffnet, weil die Parteien \u00fcber den Umfang der sich aus dem Vertrag ergebenden Nutzungsrechte streiten. Das Vorliegen einer vertraglichen Nutzungsberechtigung auf Seiten der Beklagten ist auch nicht offensichtlich ausgeschlossen. Vielmehr besteht \u2013 was im Rahmen der Pr\u00fcfung der Rechtsmissbr\u00e4uchlichkeit ausreichend ist \u2013 ein gewisser inhaltlicher Bezug der nach dem Klagepatent gesch\u00fctzten Lehre zu den Projektarbeiten.<\/li>\n
  136. aa)Das Klagepatent befasst sich mit der Geh\u00e4usung mikromechanischer Systeme (Abs. [0001] des Klagepatents; Abs\u00e4tze ohne Bezeichnung sind im Folgenden solche des Klagepatents).<\/li>\n
  137. (1)Dem Klagepatent zufolge handelt es sich bei der Mikrosystemtechnik (MST) um einen Technologiezweig, der \u2013 orientiert an den leistungsf\u00e4higen Produktionsprozessen der Halbleiterindustrie \u2013 mit mikrotechnischen Verfahren makroskopische Technologiesysteme in die Mikrowelt \u00fcbertr\u00e4gt (Abs. [0002]). Mit Hilfe der Mikrosystemtechnik gefertigte Bauteile (MEMS) seien seit l\u00e4ngerem f\u00fcr die miniaturisierte und kosteng\u00fcnstige Herstellung von Sensoren und Aktoren etabliert (Abs. [0002]). Anwendungsbereiche dieser Produkte seien die Industrieautomation, die Kommunikations- und Medizintechnik, die Automobilindustrie oder Life Science Produkte (Abs. [0002]).<\/li>\n
  138. Dabei schildert das Klagepatent insbesondere f\u00fcr den Bereich der Automobilindustrie und des Maschinenbaus einen Bedarf f\u00fcr komplexe, integriert aufgebaute Mikrosystembauteile, die vielf\u00e4ltigste Mess- und Regelfunktionen autonom und mit geringem Energiebedarf durchf\u00fchren (Abs. [0003]). Die unterschiedlichen Sensorsysteme w\u00fcrden je nach Auslegung einen entsprechenden Arbeitsdruck erfordern. Bei resonanten Systemen m\u00fcsse die mechanische D\u00e4mpfung durch umgebendes Gas durch einen entsprechenden geringeren Arbeitsdruck in der Kavit\u00e4t, in der sich das jeweilige Sensorsystem befindet, minimiert werden (Abs. [0003]). Beschleunigungssensoren bed\u00fcrften demgegen\u00fcber teilweise einer starken D\u00e4mpfung (Abs. [0003]). Nachfolgend nennt das Klagepatent f\u00fcr verschiedene Mikrosysteme den jeweils typischen Betriebsdruck (Abs. [0003]).<\/li>\n
  139. Nachfolgend (verkleinert) wiedergegebene Figur 2 zeigt den Aufbau eines vorbekannten mikrosystemtechnisch hergestellten, resonanten Inertialsensors:<\/li>\n
  140. Der unten liegende, oberfl\u00e4chenmikromechanische Sensor enth\u00e4lt die aktive Sensorstruktur (MEMS Active Layer). In dem oberen Deckel-Chip (Cap) ist \u00fcber der Sensorstruktur eine 60 \u03bcm tiefe Kavit\u00e4t eingebracht, darin ist Gettermaterial zur Absorption und chemischen Bindung von Gasmolek\u00fclen abgeschieden (Abs. [0004]). Zwischen Kappen- und Sensorwafer wird auf Wafer-Ebene (sog. \u201eWafer-Level-Packaging\u201c) durch ein Gold-Silizium Eutektikum eine feste Verbindung hergestellt (Abs. [0004]). Der Bondrahmen sorgt f\u00fcr eine hermetische Kapselung, wodurch der bei dem eutektischen Verbindungsprozess eingestellte Druck erhalten bleibt (Abs. [0004]).<\/li>\n
  141. Das Klagepatent beschreibt in diesem Zusammenhang weiter die Geh\u00e4usung von Mikrosensoren als eines der im Technikstand am wenigsten entwickelten, jedoch als eines der wichtigsten und herausforderndsten Technologiefelder (Abs. [0005]). Insbesondere bei der hermetischen Geh\u00e4usung handele es sich um eine Schl\u00fcsseltechnologie, weil der Mikrosensor dadurch vor sch\u00e4dlichen Umwelteinfl\u00fcssen (Staub, mechanischer oder chemischer Sch\u00e4digung) abgeschirmt und dadurch seine zuverl\u00e4ssige Funktion und Lebensdauer gesteigert werde (Abs. [0005]). Dar\u00fcber hinaus w\u00fcrden moderne resonant betriebene Mikrosensoren ein spezifisches Arbeitsgas oder einen definiert eingestellten Umgebungsdruck in der Geh\u00e4usekavit\u00e4t ben\u00f6tigen, um die geforderte Funktionalit\u00e4t zu erf\u00fcllen (Abs. [0005]).<\/li>\n
  142. Das Klagepatent betrachtet sodann das vorbekannte Wafer-Level Packaging (WLP) genauer, bei welchem die Verkapselung der offenen Sensoren auf Waferebene durchgef\u00fchrt werde (Abs. [0006]). Dabei werde der Kappenwafer, der die individuellen, funktionellen Elemente der Geh\u00e4usung enthalte, mit dem Sensorwafer zusammengef\u00fcgt, so dass jeder Sensorchip mit einem entsprechenden Geh\u00e4usechip fest verbunden werde (Abs. [0006]). Erst nach dieser F\u00fcgung auf Waferebene werde dann das Waferpaar in einzelne Chips vereinzelt (Abs. [0006]). Durch diese massiv parallele Arbeitsweise habe die Geh\u00e4usung auf Waferebene gegen\u00fcber derjenigen auf Chipebene enorme Vorteile hinsichtlich Kosten, Bauteilintegrationsdichte und Ausbeute (Abs. [0006]). Im Folgenden benennt das Klagepatent konkrete Verfahren f\u00fcr die WLP Technologie (Abs. [0007]).<\/li>\n
  143. Bei der Geh\u00e4usung auf Waferebene werden, so das Klagepatent weiter, das in der Prozesskammer befindliche Gas sowie der Prozessdruck in der Kavit\u00e4t eingeschlossen, wodurch alle Bauteile des Wafers im Rahmen der Prozessuniformit\u00e4t mit dem gleichen Kavit\u00e4tendruck versehen werden, wobei sowohl Atmosph\u00e4rendruck, Subatmosph\u00e4rendruck als auch \u00dcberdruck in die Kavit\u00e4t eingeschlossen werden k\u00f6nnen (Abs. [0008]). Geringere Arbeitsdr\u00fccke als 1 \u2013 10 mbar seien in der Regel nicht einstellbar, weshalb, um einen niedrigeren Druckbereich als 1 mbar zu erhalten, zus\u00e4tzliche funktionelle Schichten, sogenannte Getterschichten, eingebracht werden m\u00fcssten (Abs. [0008]). Diese w\u00fcrden gezielt Gasmolek\u00fcle absorbieren (Abs. [0008]). Eine gro\u00dfe Anzahl solcher Gettermaterialien \u2013 von dem Klagepatent in Abschnitt [0009] konkret benannt \u2013 sei vorbekannt.<\/li>\n
  144. Das Klagepatent nimmt sodann auf einzelnen vorbekannte Mikrovorrichtungen Bezug.<\/li>\n
  145. Die EP 0 794 558 A1 offenbare ein elektronisches Bauelement mit einem Substrat und einer Kappe in Form eines mikroelektromechanischen Systems oder MEMS, das Bauelement weise einen ersten Haupthohlraum und einen zweiten Hohlraum auf (Abs. [0010]). In dem zweiten Hohlraum befinde sich ein Getter, um dort absichtlich einen Unterdruck zu erzeugen (Abs. [0010]).<\/li>\n
  146. Aus der US 2005\/0023629 A1 sei eine Mikrovorrichtung mit einem hermetisch gedichteten Hohlraum zur Aufnahme einer Mikrostruktur mit einem Substrat und einer Kappe bekannt (Abs. [0011]). Es seien Isolationsgr\u00e4ben zwischen der Kappe und einer nebenliegenden Kontaktinsel, die ungef\u00fcllt oder mit einem isolierenden Material gef\u00fcllt sind, vorgesehen (Abs. [0011]).<\/li>\n
  147. Die WO 2005\/050751 A2 offenbare eine Verkappungseinrichtung (Deckel) f\u00fcr elektronische Vorrichtungen mit einem Substrat und einem aktiven Bereich zur im Wesentlichen hermetischen Abdichtung der elektronischen Vorrichtung (Abs. [0012]). Der Deckel weise einen Innenbereich auf, der von einer ersten Barrierestruktur umgeben sei, um die herum mit einem Zwischenraum eine zweite Barrierestruktur angeordnet sei (Abs. [0012]). In dem Innenbereich und dem Zwischenraum w\u00fcrden sich erste und zweite Schichten eines Gettermaterials befinden (Abs. [0012]).<\/li>\n
  148. Schlie\u00dflich nimmt das Klagepatent auf die US 2004\/0183214 A1 Bezug, aus der ein Schichtbauteil mit mehreren aufeinander geschichteten Einzelbauteilen, die jeweils in gesonderten Verfahrensschritten hergestellt wurden, bekannt sei (Abs. [0013]). In einem der Schichtbauteile w\u00fcrden zwei Kavit\u00e4ten mit gleicher F\u00fcllung und gleichem Zustand vorliegen (Abs. [0013]).<\/li>\n
  149. (2)Ohne den dargestellten Stand der Technik ausdr\u00fccklich zu kritisieren, beschreibt es das Klagepatent als seine Aufgabe, f\u00fcr die Mikrosystemtechnik vorgesehene Bauteile (MEMS) mit mindestens zwei Kavit\u00e4ten oder Hohlr\u00e4umen sowie Vielfach-Bauelement-Systeme (z. B. Wafer) mit einem Substrat und einer Kappenstruktur bereitzustellen, aus denen sich die genannten Bauteile durch Trennen (S\u00e4gen oder dgl.) herstellen lassen (Abs. [0014]). Letztlich beabsichtigt das Klagepatent auch, ein Verfahren zur Herstellung dieses Vielfach-Bauelement-Systems zu entwickeln (Abs. [0014]).<\/li>\n
  150. Daraus ist die objektive Aufgabenstellung (technisches Problem) ableitbar, eine h\u00f6here Integrationsdichte f\u00fcr MEMS zu erzielen, und so den Anteil der effektiv nutzbaren Fl\u00e4chen erheblich zu vergr\u00f6\u00dfern (Abs. [0042]). Daneben soll die nachtr\u00e4gliche Justage von Submodulen vereinfacht werden (Abs. [0042]).<\/li>\n
  151. Zu diesem Zweck offenbart Anspruch 1 eine Vorrichtung mit den folgenden Merkmalen:<\/li>\n
  152. 1. In der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil,<\/li>\n
  153. 1.1. mit einem Substrat und einer Kappenstruktur,<\/li>\n
  154. 1.1.1 die so miteinander verbunden sind, dass sie mindestens einen ersten und einen zweiten Hohlraum umschlie\u00dfen,<\/li>\n
  155. 1.1.2 die gegeneinander und gegen die Au\u00dfenumgebung abgedichtet sind,<\/li>\n
  156. 1.2 wobei wenigstens in dem ersten Hohlraum ein Drehratensensor, Beschleunigungssensor, Aktuator, Resonator, Display, digitaler Mikrospiegel, Bolometer und\/oder RF-Switch angeordnet ist,<\/li>\n
  157. dadurch gekennzeichnet, dass<\/li>\n
  158. 1.3 der erste der beiden Hohlr\u00e4ume mit einem Gettermaterial versehen ist,<\/li>\n
  159. 1.4 und aufgrund dieses Gettermaterials einen anderen Innendruck und\/oder eine andere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum.<\/li>\n
  160. bb)Den unter lit. aa) dargestellten Offenbarungsgehalt des Klagepatents ber\u00fccksichtigend, l\u00e4sst sich eine inhaltlich Verbindung zwischen der gesch\u00fctzten Lehre und den Forschungsarbeiten des E-Projektes jedenfalls insoweit erkennen, als Gegenstand der Forschungsarbeiten unstreitig auch das Einbringen von Kavit\u00e4ten in Hohlr\u00e4ume zur Absorption von Gasmolek\u00fclen mit dem Ziel der Beeinflussung der Druckverh\u00e4ltnisse war. Insoweit gelangten insbesondere auch Testwafer wie nachfolgend abgebildet (links: Grobansicht; rechts: Detailansicht):<\/li>\n
  161. zum Einsatz, bei denen von zwei nebeneinanderliegenden Hohlr\u00e4umen einer mit einem Gettermaterial versehen war (Merkmal 1.3), und die gegeneinander und gegen die Au\u00dfenumgebung abgedichtet waren (Merkmal 1.1.2.). Ergebnis der E-Projektarbeiten in diesem Zusammenhang war weiter eine spezielle Bonding-Technik, insbesondere die Wafer-Klebetechnologie mittels Gold-Silizium Eutektikum (\u201eAu-Si-Bonding\u201c). Auch die Kl\u00e4gerin r\u00e4umt insoweit ein, dass sich die Merkmale 1.1.2, 1.2 und 1.3 des Klagepatents den E-Projektarbeiten entnehmen lassen.<\/li>\n
  162. Weiter hat die Kl\u00e4gerin die Verwendung der Projektergebnisse in einem Ergebnisbericht zu dem Projekt (Bericht zum Arbeitsergebnis D6.3) unter anderem mit der nachfolgenden Abbildung (Anlagenkonvolut FBD B20a; deutsche \u00dcbersetzung: Anlagenkonvolut FBD 20b, dort S. 7, Abbildung 3) angegeben:Die Abbildung l\u00e4sst ein aus einem Substrat und einer Kappe zusammengesetztes Einkammer-Bauteil (Merkmal 1.1) f\u00fcr den Einsatz in der Mikorsystemtechnik (Merkmal 1) mit zwei Hohlr\u00e4umen erkennen (Merkmal 1.1.1), die gegeneinander und gegen die Au\u00dfenumgebung abgedichtet sind (Merkmal 1.1.2). Die grauen Punkte in einer der Kammern zeigt die Anwesenheit eines Gettermaterials in dieser Kammer (Merkmal 1.3). Dass weiter vorgesehen ist, in eine der Kammer auch eine der in Merkmal 1.2 genannten Elemente aufzunehmen ergibt sich aus dem zu der Abbildung geh\u00f6rigen Beschreibungstext,<\/li>\n
  163. \u201eDie k\u00fcnftigen Arbeiten werden die Integration von 3D-Beschleunigungsmessern und 3D-Gyrometern in einer Verpackungsl\u00f6sung beinhalten \u2013 siehe dazu Abbildung 3.\u201c (Anlage FBD B20a, S. 7).<\/li>\n
  164. Auch ist nachvollziehbar, dass der Fachmann der Abbildung aufgrund des Vorhandenseins des Gettermaterials in einer Kammer auch entnimmt, dass die Druckverh\u00e4ltnisse unterschiedlich im Sinne des Merkmals 1.4 sind.<\/li>\n
  165. Ob zwischen den Projektarbeiten und dem Gegenstand des Klagepatents im \u00dcbrigen eine hinreichende Verbindung im Sinne von Art. 13.1 Annex II i. V. m. Art. 10.4.2 KV\/ Art. 10.1.1 KV i. V. m. Art. 8.5 lit. c) KV besteht, sich die Lehre des Klagepatents insbesondere technisch ausf\u00fchrbar oder nur \u201ereflexartig\u201c aus den Arbeiten zu dem E-Projekt ergibt, untersteht der Entscheidungskompetenz des Schiedsgerichts.<\/li>\n
  166. b)Weiter ist auch zu beachten, dass das angerufene Schiedsgericht das Schiedsverfahren bereits zugelassen hat.<\/li>\n
  167. Das Schiedsverfahren wird auch im \u00dcbrigen nicht z\u00f6gerlich betrieben. Die Beklagte hat das Verfahren knapp vier Monate nach der ihr am 10.05.2016 zugestellten hiesigen Klage am 02.09.2016 eingeleitet. In dem Verfahren sind Schrifts\u00e4tze ausgetauscht und ist ein Termin zur m\u00fcndlichen Verhandlung im Juni 2018 anberaumt.<\/li>\n
  168. c)Auf der Grundlage der Ausf\u00fchrungen unter lit. a) und b) begr\u00fcndet es schlie\u00dflich im Rahmen der f\u00fcr die Beurteilung der Rechtsmissbr\u00e4uchlichkeit vorzunehmenden Gesamtabw\u00e4gung auch kein hinreichendes Indiz f\u00fcr ein treuwidriges Verhalten der Beklagten, dass die A ITaly unter der Nummer 2011A000779 ein italienisches Patent auf ein \u201eKapselsystem f\u00fcr mikroelektromechanische Systeme und Herstellungsverfahren\u201c (Patentschrift vorgelegt als Anlage K11; deutsche \u00dcbersetzung: Anlage K11a) angemeldet hat, welches nach dem Vorbringen der Kl\u00e4gerin \u201epraktisch mit dem Klagepatent \u00fcbereinstimmt.\u201c<\/li>\n
  169. III.Die Kostenentscheidung folgt aus \u00a7 91 Abs. 1 Satz 1 ZPO.<\/li>\n
  170. Die Entscheidung \u00fcber die vorl\u00e4ufige Vollstreckbarkeit ergeht nach \u00a7 709 Satz 1, 2 ZPO.<\/li>\n
  171. IV.Der Streitwert wird gem. \u00a7 51 Abs. 1 GKG auf EUR 1.000.000,- festgesetzt.<\/li>\n<\/ol>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

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