{"id":6826,"date":"2017-02-21T17:00:41","date_gmt":"2017-02-21T17:00:41","guid":{"rendered":"https:\/\/www3.hhu.de\/duesseldorfer-archiv\/?p=6826"},"modified":"2017-05-08T06:54:33","modified_gmt":"2017-05-08T06:54:33","slug":"4a-o-11915-halbleiterwaferkonditionierungsvorrichtung","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/d-prax.de\/?p=6826","title":{"rendered":"4a O 119\/15 – Halbleiterwaferkonditionierungsvorrichtung"},"content":{"rendered":"

D\u00fcsseldorfer Entscheidungsnummer: 2616<\/strong><\/p>\n

Landgericht D\u00fcsseldorf<\/p>\n

Urteil vom 21. Februar\u00a02017, Az.\u00a04a O 119\/15<\/p>\n

I. Die Klage wird abgewiesen.<\/p>\n

II. Die Kosten des Rechtsstreits tr\u00e4gt die Kl\u00e4gerin.<\/p>\n

III. Das Urteil ist vorl\u00e4ufig vollstreckbar gegen Sicherheitsleistung in H\u00f6he von 115 % des jeweils zu vollstreckenden Betrages.
\nT a t b e s t a n d<\/strong><\/p>\n

Die Kl\u00e4gerin nimmt die Beklagte wegen behaupteter unmittelbarer Patentverletzung auf Unterlassung, Auskunft und Rechnungslegung, R\u00fcckruf patentverletzender Vorrichtungen und Feststellung der Verpflichtung der Beklagten, eine angemessene Entsch\u00e4digung zu zahlen und Schadensersatz zu leisten, in Anspruch.<\/p>\n

Die Kl\u00e4gerin ist die im Register des Deutschen Patent- und Markenamts (vorgelegt als Anlage K12) eingetragene Inhaberin des deutschen Teils des Europ\u00e4ischen Patents EP 1 495 XXX B3 (nachfolgend Klagepatent; vorgelegt in Anlage K13). Das in deutscher Verfahrenssprache erteilte Klagepatent tr\u00e4gt den Titel \u201eVerfahren und Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und\/oder Hybriden.\u201c Es wurde am 15.04.2003 unter Inanspruchnahme des Priorit\u00e4tsdatums 15.04.2002 der DE 102 16 XXX angemeldet. Die Anmeldung des Klagepatents wurde am 12.01.2005, die diesem zugrundeliegende PCT-Anmeldung WO 2003\/088XXX (Anlage TW24) am 23.10.2003 offengelegt. Das Europ\u00e4ische Patentamt ver\u00f6ffentlichte am 04.10.2006 den Hinweis auf die Erteilung des Klagepatents. Nach Durchf\u00fchrung eines Beschr\u00e4nkungsverfahrens ver\u00f6ffentlichte das Europ\u00e4ische Patentamt am 21.10.2009 den Hinweis auf die Beschr\u00e4nkungsentscheidung.<\/p>\n

Das Klagepatent steht in Kraft. Eine Gesellschaft aus dem Konzern der Beklagten, die A GmbH (nachfolgend kurz: \u201eA\u201c), erhob unter dem 15.05.2015 vor dem Bundespatentgericht eine Nichtigkeitsklage gegen das Klagepatent. Auf die in den Anlagen vorgelegten Schrifts\u00e4tze samt Anlagen aus dem Nichtigkeitsverfahren wird Bezug genommen. In dem unter dem Az. 2 Ni 9\/15 gef\u00fchrten Nichtigkeitsverfahren ist noch keine Entscheidung ergangen; die m\u00fcndliche Verhandlung ist auf den 06.04.2017 terminiert worden. Auf den in Anlage K31 vorgelegten Hinweis des Bundespatentgerichts vom 07.12.2016 wird wegen seines Inhalts Bezug genommen.<\/p>\n

Der geltend gemachte Anspruch 5 des Klagepatents lautet:<\/p>\n

\u201cVorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und\/oder Hybriden mit:<\/p>\n

einem zumindest teilweise geschlossenen Raum (1), wobei der Raum (1) durch einen Beh\u00e4lter (5) im Wesentlichen geschlossen ist, mit einer darin befindlichen Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung (10) zur Aufnahme eines Halbleiterwafers und\/oder Hybrides;<\/p>\n

und einer Leitungseinrichtung (r2, r3, r4, r5, i3, i4) zum Leiten eines trockenen Fluids durch die Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung (10) zum Temperieren der Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung (10) und zum Leiten zumindest eines Teiles des die Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung (10) verlassenden Fluids in den Raum (1) zum Konditionieren der Atmosph\u00e4re in dem Raum (1); wobei die Leitungseinrichtung (r2, r3, r4, r5, i3, i4) aufweist:<\/p>\n

eine erste Leitung (r2), \u00fcber die das Fluid von au\u00dferhalb des Raums (1) in die Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung (10) leitbar ist;<\/p>\n

eine zweite Leitung (r3), \u00fcber die das Fluid aus der Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung (10) nach au\u00dferhalb der Raums (1) leitbar ist;<\/p>\n

und eine dritte Leitung (r4), \u00fcber die das Fluid von au\u00dferhalb des Raums (1) in den Raum (1) r\u00fcckf\u00fchrbar ist;<\/p>\n

wobei zwischen der zweiten und dritten Leitung (r3, r4) eine Temperierungseinrichtung (70; 70, 80“) vorgesehen ist;<\/p>\n

wobei die Temperierungseinrichtung (70; 70, 80“) einen W\u00e4rmetauscher (95) aufweist, dem zumindest ein Teil des den Raum (1) verlassenden Fluids zuleitbar ist; wobei der W\u00e4rmetauscher (95) zum Vork\u00fchlen des zugef\u00fchrten Fluids dient;<\/p>\n

wobei die Leitungseinrichtung (r2, r3, r4, r5, i3, i4) derart gestaltet ist, dass der den W\u00e4rmetauscher (95) verlassende Teil zumindest teilweise zum Konditionieren der Atmosph\u00e4re in den Raum r\u00fcckf\u00fchrbar ist.\u201d<\/p>\n

Zur Veranschaulichung der gesch\u00fctzten Lehre wird nachfolgend Fig. 3 des Klagepatents verkleinert eingeblendet, die nach der Patentbeschreibung (dort Abs. [0032]) eine schematische Querschnittsansicht einer Ausf\u00fchrungsform der erfindungsgem\u00e4\u00dfen Konditionierungseinrichtung zeigt:<\/p>\n

Die Beklagte, ein deutsches Tochterunternehmen der US-amerikanischen B Inc., stellt her und vertreibt in der Bundesrepublik Deutschland Waferprober mit den Typenzeichnungen \u201cC\u201d, \u201cD\u201d und \u201cE\u201d. Diese verf\u00fcgen durchweg jeweils \u00fcber Anschl\u00fcsse f\u00fcr eine K\u00fchlfluidzugangsleitung, f\u00fcr eine K\u00fchlfluidabgangsleitung und \u00fcber einen Sp\u00fclfluideingangsanschluss (\u201ePurge\u201c).<\/p>\n

Die Beklagte vertreibt die vorgenannten Waferprober in Kombination mit von der A gelieferten Chillern mit den Bezeichnungen \u201eCXX\u201c und \u201eCXX\u201c sowie mit Chucks mit den Bezeichnungen \u201eCXXX\u201c und \u201eCXXX\u201c. Die vorgenannten Chiller weisen jeweils ein Auslassventil mit der Beschriftung \u201eDry Air Out\u201c auf, aus dem trockene Luft str\u00f6mt, die vom Chuck zur\u00fcck zum Chiller geleitet wurde und in diesem einen W\u00e4rmetauscher durchlaufen hat.<\/p>\n

Nachfolgend werden als \u201eangegriffene Ausf\u00fchrungsformen\u201c von der Beklagten vertriebene Messsysteme in Form von Kombinationen aus je einem Waferprober, einem Chiller und einem Chuck bezeichnet, wie sie vorstehend namentlich benannt wurden.
\nDie Kl\u00e4gerin ist der Auffassung, die angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen verletzen das Klagepatent unmittelbar wortsinngem\u00e4\u00df. Es existiere bei diesen eine patentgem\u00e4\u00dfe dritte Leitung vom Dry Air Out-Auslass des Chillers CXX und\/oder CXX zum Sp\u00fclfluidzugangsanschluss des Proberraums. Um Auslass und Anschluss zu verbinden, nutzten die Abnehmer der angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen einen Standardluftschlauch (Festo-Schlauch). Die Abnehmer bes\u00e4\u00dfen \u2013 insoweit unstreitig \u2013 ohnehin entsprechende Schl\u00e4uche. Bei dem anzuschlie\u00dfenden Luftschlauch handele es sich um eine Allerwelts-Zutat im Sinne der Lungenfunktionsmessger\u00e4t-Rechtsprechung. Durch die Bezeichnung \u201eDry Air Out\u201c erkenne der Verwender, der stets ein Fachmann sei, dass aus diesem Auslass trockene Luft ausstr\u00f6mt, die zur Konditionierung des Proberraums verwendet werden soll. Die Vorteile der Nutzung der Luft aus dem Dry Air Out-Auslass \u2013 Energie- und Kosteneinsparungen \u2013 seien dem Nutzer bekannt. Die von der Beklagten angef\u00fchrte Nutzung der aus dem Auslass austretenden Luft f\u00fcr \u201eSonderverwendungen\u201c sei zweifelhaft und nicht nachvollziehbar; der Dry Air Out-Auslass sei f\u00fcr die Abnehmer erkennbar f\u00fcr eine patentgem\u00e4\u00dfe Verwendung vorgesehen.<\/p>\n

Die Luft aus dem Dry Air Out-Auslass sei zur Konditionierung des Proberraums geeignet. Dies zeige sich schon daran, dass die Beklagte selbst vortr\u00e4gt, die Luft k\u00f6nne zur Sp\u00fclung einer Kamera verwendet werden.<\/p>\n

Die Verletzung belege das in Anlage K24 vorgelegte Privatgutachten von Prof. Dr. F. Das von den Beklagten vorgelegte Gutachten des T\u00dcVs ber\u00fccksichtige nicht, dass der erforderliche Druck durch einen anderen Anschluss erzeugt werden k\u00f6nne. F\u00fcr das Sp\u00fclen (Purge) \u2013 und damit die patentgem\u00e4\u00dfe Lufteinsparung \u2013 sei der Druck aus dem Dry Air Out-Auslass ausreichend. Die Nutzung des Kreuztisches durch die Luft aus dem Dry Air Out-Auslass sei nicht Gegenstand der patentgem\u00e4\u00dfen Lehre. S. 19 Anlage 1 zu Anlage K24 beziehe sich auf den Lufteinlass f\u00fcr den Chiller, nicht f\u00fcr den Proberraum, so dass die dortige Druckangabe nicht relevant sei.<\/p>\n

Das Klagepatent werde sich auf die Nichtigkeitsklage hin als rechtsbest\u00e4ndig erweisen, so dass eine Aussetzung des Verfahrens nicht angezeigt sei.<\/p>\n

Die Kl\u00e4gerin beantragt:<\/p>\n

I. Die Beklagte hat unter Androhung eines vom Gericht f\u00fcr jeden Fall der Zuwiderhandlung festzusetzenden Ordnungsgeldes bis zu EUR 250.000,00 und f\u00fcr den Fall, dass dieses nicht beigetrieben werden kann, ersatzweise Ordnungshaft bis zu sechs Monaten \u2013 zu vollstrecken am Gesch\u00e4ftsf\u00fchrer \u2013 oder eine Ordnungshaft bis zu sechs Monaten, im Wiederholungsfalle Ordnungshaft bis zu insgesamt zwei Jahren, \u2013 zu vollstrecken am Gesch\u00e4ftsf\u00fchrer \u2013\u201a zu unterlassen,<\/p>\n

in der Bundesrepublik Deutschland<\/p>\n

Vorrichtungen zur Konditionierung von Halbleiterwafern und\/oder Hybriden<\/p>\n

anzubieten, in den Verkehr zu bringen oder zu den genannten Zwecken zu besitzen,<\/p>\n

mit einen zumindest teilweise geschlossenen Raum, wobei der Raum durch einen Beh\u00e4lter im Wesentlichen geschlossen ist,<\/p>\n

mit einer darin befindlichen Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme eines Halbleiterwafers und\/oder Hybrides; und<\/p>\n

einer Leitungseinrichtung zum Leiten eines trockenen Fluids durch die Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung zum Temperieren der Wafer\/HybridAufnahmeeinrichtung und zum Leiten zumindest eines Teiles des die Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung verlassenden FIuids in den Raum zum Konditionieren der Atmosph\u00e4re in dem Raum;<\/p>\n

wobei die Leitungseinrichtung aufweist:<\/p>\n

eine erste Leitung, \u00fcber die das Fluid von au\u00dferhalb des Raums in die Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung leitbar ist;<\/p>\n

eine zweite Leitung, \u00fcber die das Fluid aus der Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung nach au\u00dferhalb des Raums leitbar ist; und<\/p>\n

eine dritte Leitung, \u00fcber die das Fluid von au\u00dferhalb des Raums in den Raum r\u00fcckf\u00fchrbar ist;<\/p>\n

wobei zwischen der zweiten und dritten Leitung eine Temperierungseinrichtung vorgesehen ist;<\/p>\n

wobei die Temperierungseinrichtung einen W\u00e4rmetauscher aufweist, dem zumindest ein Teil des den Raum verlassenden Fluids zuleitbar ist;<\/p>\n

wobei der W\u00e4rmetauscher zum Vork\u00fchlen des zugef\u00fchrten Fluids dient;<\/p>\n

wobei die Leitungseinrichtung derart gestaltet ist, dass der den W\u00e4rmetauscher verlassende Teil zumindest teilweise zum Konditionieren der Atmosph\u00e4re in den Raum r\u00fcckf\u00fchrbar ist,<\/p>\n

insbesondere in Form von Kombinationen aus<\/p>\n

– einem Temperatursteuerger\u00e4t mit einer Temperierungseinrichtung vom Typ CXX oder CXX vom Hersteller A GmbH, Gstr. 11, 82XXX H,<\/p>\n

– einer Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme eines Halbleiter-Wafers oder Hybride vom Typ CXXX oder CXXX vom Hersteller A GmbH, Gstr. 11, 82XXX H und<\/p>\n

– einen Waferprober vom Typ C oder vom Typ Ds oder vom Typ E der Beklagten.
\nII. Die Beklagte wird verurteilt, der Kl\u00e4gerin dar\u00fcber Auskunft zu erteilen, in welchem Umfang sie (die Beklagte) die zu Ziffer I. bezeichneten Handlungen seit dem 04.11.2006 begangen hat, und zwar unter Angabe<\/p>\n

a) der Namen und Anschriften der Hersteller, Lieferanten und anderer Vorbesitzer,<\/p>\n

b) der Namen und Anschriften der gewerblichen Abnehmer sowie der Verkaufsstellen, f\u00fcr die die Erzeugnisse bestimmt waren,<\/p>\n

c) der Menge der hergestellten, ausgelieferten, erhaltenen oder bestellten Erzeugnisse sowie der Preise, die f\u00fcr die betreffenden Erzeugnisse bezahlt wurden;<\/p>\n

wobei zum Nachweis der Angaben die entsprechenden Kaufbelege (n\u00e4mlich Rechnungen, hilfsweise Lieferscheine) in Kopie vorzulegen sind, wobei geheimhaltungsbed\u00fcrftige Details au\u00dferhalb der auskunftspflichtigen Daten geschw\u00e4rzt werden d\u00fcrfen.
\nIII. Die Beklagte wird verurteilt, der Kl\u00e4gerin dar\u00fcber Rechnung zu legen, in welchem Umfang sie (die Beklagte) die zu Ziffer I. bezeichneten Handlungen seit dem 23.11.2003 begangen hat, und zwar unter Angabe<\/p>\n

a) der Herstellungsmengen und Herstellungszeiten,<\/p>\n

b) der einzelnen Lieferungen, aufgeschl\u00fcsselt nach Liefermengen, Lieferzeiten, Lieferpreisen und Typenbezeichnungen sowie den Namen und Anschriften der gewerblichen Abnehmer,<\/p>\n

c) der einzelnen Angebote, aufgeschl\u00fcsselt nach Angebotsmengen, Angebotszeiten, Angebotspreisen und Typenbezeichnungen sowie den Namen und Anschriften der gewerblichen Angebotsempf\u00e4nger,<\/p>\n

d) der betriebenen Werbung, aufgeschl\u00fcsselt nach Werbetr\u00e4gern, deren Auflagenh\u00f6he, Verbreitungszeitraum und Verbreitungsgebiet,<\/p>\n

e) der nach den einzelnen Kostenfaktoren aufgeschl\u00fcsselten Gestehungskosten und des erzielten Gewinns,<\/p>\n

wobei Angaben zu den Gestehungskosten und dem erzielten Gewinn (Ziff. III. e)) erst f\u00fcr die Zeit seit dem 04.11.2006 gemacht werden m\u00fcssen; und<\/p>\n

wobei der Beklagten vorbehalten bleibt, die Namen und Anschriften der nichtgewerblichen Abnehmer und der Angebotsempf\u00e4nger statt der Kl\u00e4gerin einem von der Kl\u00e4gerin zu bezeichnenden, ihr gegen\u00fcber zur Verschwiegenheit verpflichteten, in der Bundesrepublik Deutschland ans\u00e4ssigen, vereidigten Wirtschaftspr\u00fcfer mitzuteilen, sofern die Beklagte dessen Kosten tr\u00e4gt und ihn erm\u00e4chtigt und verpflichtet, der Kl\u00e4gerin auf konkrete Anfrage mitzuteilen, ob ein bestimmter Abnehmer oder Angebotsempf\u00e4nger in der Aufstellung enthalten ist.<\/p>\n

IV. Es wird festgestellt, dass die Beklagte verpflichtet ist, der Kl\u00e4gerin f\u00fcr die in Ziffer I. bezeichneten, in der Zeit vom 23.11.2003 bis zum 03.11.2006 begangenen Handlungen eine angemessene Entsch\u00e4digung zu zahlen.<\/p>\n

V. Es wird festgestellt, dass die Beklagte verpflichtet ist, der Kl\u00e4gerin allen Schaden zu ersetzen, der ihr durch die vorstehend unter I. bezeichneten, seit dem 04.11.2006 begangenen Handlungen entstanden ist und k\u00fcnftig noch entstehen wird.<\/p>\n

VI. Die Beklagte wird verurteilt, die unter Ziffer I. bezeichneten, seit dem 04.11.2006 in Verkehr gebrachten Erzeugnisse gegen\u00fcber den gewerblichen Abnehmern unter Hinweis auf den gerichtlich festgestellten patentverletzenden Zustand der Kombination der Ger\u00e4te und mit der verbindlichen Zusage zur\u00fcckzurufen, etwaige Entgelte zu erstatten sowie notwendige Verpackungs- und Transportkosten sowie mit der R\u00fcckgabe verbundene Zoll- und Lagerkosten zu \u00fcbernehmen und die erfolgreich zur\u00fcckgerufenen Erzeugnisse wieder an sich zu nehmen.
\nDie Beklagte beantragt,<\/p>\n

die Klage abzuweisen;<\/p>\n

hilfsweise:<\/p>\n

der Rechtsstreit wird bis zur rechtskr\u00e4ftigen Erledigung der gegen den deutschen Teil des Klagepatents EP 1 495 XXX B3 erhobenen Nichtigkeitsklage ausgesetzt.<\/p>\n

Die Beklagte meint, das Klagepatent werde durch die angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen nicht verletzt. Es fehle bei den angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen an einer dritten Leitung im Sinne des Klagepatents. Bei den angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen erfolge die Konditionierung des Proberraums \u2013 wie im Stand der Technik \u2013 ausschlie\u00dflich \u00fcber die gesonderte Zuleitung trockener Luft aus einem au\u00dferhalb des Waferprobers und des Chillers angeordneten Lufttrockenger\u00e4t oder \u00fcber eine hausinterne Druckluftversorgung. Dies zeige auch das von der Kl\u00e4gerin vorgelegte Datenblatt in Anlage K23 (dort. S. 3), wo \u2013 insoweit unstreitig \u2013 ein \u201eAir-Purge Management\u201c beschrieben ist. Anhaltspunkte daf\u00fcr, die trockene Luft aus dem Chiller f\u00fcr die Konditionierung des Proberraums zu verwenden, k\u00f6nne die Kl\u00e4gerin nicht aufzeigen.<\/p>\n

Eine solche dritte Leitung werde nicht durch das Auslass-Ventil mit der Beschriftung \u201eDry Air Out\u201c an den angegriffenen Chillern CXX und CXX verwirklicht. Die Nutzung dieser Luft zur Konditionierung des Proberraums w\u00fcrde aufw\u00e4ndige Entwicklungsarbeiten erfordern. Das Dry Air Out-Ventil werde vielmehr nur f\u00fcr spezielle Sonderanwendungen, etwa zur Sp\u00fclung einer externen Kamera, verwendet. Ansonsten sei es regelm\u00e4\u00dfig mit einem Blindstopfen verschlossen.<\/p>\n

Es handele sich bei der fehlenden dritten Leitung auch nicht um eine Allerwelts-Zutat; diese beinhalte vielmehr den Erfindungsgedanken. Die Vornahme von Vervollst\u00e4ndigungshandlungen (Anschluss eines Schlauchs) durch alle Abnehmer sei nicht hinreichend sicher, insbesondere, da die angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen \u2013 unstreitig \u2013 patentfrei einwandfrei funktionsf\u00e4hig seien. Es fehle daher an einem Anlass zum Anschluss einer dritten Leitung. Dem \u00fcblichen Verbraucher sei eine Verwendung der trockenen Luft aus dem Dry Air Out-Ventil zur Konditionierung nicht bekannt. Um eine solche Eignung feststellen zu k\u00f6nnen, m\u00fcsste ein Abnehmer Messungen vornehmen. Die Beklagte wolle weder, dass Abnehmer der angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen diese in eine patentgem\u00e4\u00dfe Vorrichtung umbauten, noch habe sie hiervon Kenntnis.<\/p>\n

Das Privatgutachten der Kl\u00e4gerin (Anlage K24) sei zum Verletzungsnachweis offensichtlich ungeeignet.<\/p>\n

Mangels patentgem\u00e4\u00dfer dritter Leitung sei auch keine Temperierungseinrichtung zwischen einer zweiten und einer dritten Leitung vorgesehen.<\/p>\n

Die anspruchsgem\u00e4\u00dfe Leitungseinrichtung m\u00fcsse den Proberraum zuverl\u00e4ssig vollst\u00e4ndig konditionieren, sonst l\u00e4ge keine patentgem\u00e4\u00dfe Vorrichtung vor. Selbst wenn man entgegen dem Vorstehenden die aus den Chillern CXX und CXX austretentende Luft \u00fcber eine Leitung vollst\u00e4ndig in den Proberraum zur\u00fcckleiten w\u00fcrde, w\u00e4re die Menge der so zugef\u00fchrten Luft nicht ausreichend, um die Atmosph\u00e4re im Proberraum in jedem Betriebszustand zuverl\u00e4ssig und vollst\u00e4ndig zu konditionieren.<\/p>\n

Jedenfalls sei das Verfahren hilfsweise in Bezug auf das anh\u00e4ngige Nichtigkeitsverfahren auszusetzen, da sich das Klagepatent hierin als nicht rechtsbest\u00e4ndig erweisen werde. Dem geltend gemachten Anspruch fehle es an Erfindungsh\u00f6he gegen\u00fcber der EP 0 341 XXX A1 (Anlage TW10\/10a), was der Beschluss des Bundespatentgerichts (Anlage TW13) im Verfahren gegen das priorit\u00e4tsbegr\u00fcndende deutsche Patent DE 102 XXX 86 belege. Daneben sei Anspruch 5 auch gegen\u00fcber der Kombination der WO 01\/25XXX A1 mit der US 6,091,XXX (Anlagen TW11 und TW12) naheliegend. Schlie\u00dflich ergebe sich die Nichtigkeit des Klagepatents auch aus neuheitssch\u00e4dlichen offenkundigen Vorbenutzungen und daraus, dass es unzul\u00e4ssig erweitert sei.
\nF\u00fcr die weiteren Einzelheiten des Sach- und Streitstands wird erg\u00e4nzend auf die ausgetauschten Schrifts\u00e4tze samt Anlagen sowie auf das Protokoll der m\u00fcndlichen Verhandlung vom 24.01.2017 Bezug genommen.
\nE n t s c h e i d u n g s g r \u00fc n d e<\/strong><\/p>\n

Die zul\u00e4ssige Klage ist unbegr\u00fcndet. Der Kl\u00e4gerin stehen die geltend gemachten Anspr\u00fcche aus Art. 64 EP\u00dc i.V.m. \u00a7\u00a7 139 Abs. 1, Abs. 2, 140a Abs. 3, 140b PatG, Art. II \u00a7 1 Abs. 1, Abs. 3 IntPat\u00dcG, \u00a7\u00a7 242, 259 BGB nicht zu, da sich eine unmittelbare Verletzung des Klagepatents durch die Beklagte nicht feststellen l\u00e4sst.<\/p>\n

I.
\nDie angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen machen von der Lehre von Anspruch 5 des Klagepatents nicht unmittelbar wortsinngem\u00e4\u00df Gebrauch.<\/p>\n

1.
\nDas Klagepatent (nachfolgend nach Abs. der B3-Schrift in Anlage K13 zitiert, ohne das Klagepatent stets ausdr\u00fccklich zu nennen) betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und\/oder Hybriden. Halbleiterwafer sind flache runde Halbleiterscheiben aus einem Halbleitermaterial, auf deren Oberseite eine Vielzahl von elektronischen Bauelementen durch Halbleiterprozesse intergiert ist. Hybride sind Kombinationen von integrierten Halbleiterschaltungen (als Halbleiterchip) und diskreten elektrischen Bauelementen. Zur Vereinfachung werden nachfolgend nur Halbleiterwafer genannt.<\/p>\n

Vor ihrer Montage und Verpackung werden solche Halbleiterwafer zweckm\u00e4\u00dfigerweise auf ihre Funktionsf\u00e4higkeit getestet, um defekte Exemplare fr\u00fch aussortieren zu k\u00f6nnen. F\u00fcr diese Testmessungen werden die Halbleiterwafer auf einen Probertisch aufgespannt, der auch als \u201eChuck\u201c bezeichnet wird. Bei den Testmessungen wird eine bestimmte Temperatur eingehalten. Zur K\u00fchlung im Rahmen der Einstellung der Temperatur w\u00e4hrend der Testmessung wird der Probertisch (Chuck) mit einem gek\u00fchlten, trockenen Fluid (d.h. Gas oder Fl\u00fcssigkeit) durchstr\u00f6mt. Dieses wird regelm\u00e4\u00dfig von einer externen K\u00fchlungseinrichtung bereitgestellt, die auch als \u201eChiller\u201c oder \u201eCooling Unit\u201c bezeichnet wird. Um st\u00f6rende Einfl\u00fcsse bei den Messungen zu vermeiden, findet diese in einem geschlossenen Raum statt, der permanent mit trockenem Fluid (Gas) durchsp\u00fclt wird. Hierf\u00fcr wird im Stand der Technik ein externes Lufttrocknungsger\u00e4t verwendet, das trockenes Gas in den geschlossenen Raum leitet.<\/p>\n

In seiner einleitenden Beschreibung f\u00fchrt das Klagepatent aus, dass Testmessungen an Halbleiterwafern typischerweise in einem Temperaturbereich zwischen -200\u00b0C und +400\u00b0C durchgef\u00fchrt werden. Zur Temperierung wird ein Halbleiterwafer auf den Probertisch gelegt, der entsprechend der Soll-Temperatur gek\u00fchlt und\/oder beheizt wird. Bei der Temperierung ist darauf zu achten, dass die Temperatur des Halbleiterwafers nicht unter den Taupunkt des umgebenden gasf\u00f6rmigen Mediums ger\u00e4t, da sonst eine Kondensation von Feuchtigkeit auf der Waferoberfl\u00e4che bzw. eine Vereisung auftritt, welche die Testmessungen behindert bzw. unm\u00f6glich macht (Abs. [0002]).<\/p>\n

Zur Veranschaulichung der Problematik aus dem Stand der Technik, die dem Klagepatent zugrunde liegt, verweist dieses in den Abs. [0003] ff. auf Fig. 5, die nachfolgend zur besseren Veranschaulichung eingeblendet wird:<\/p>\n

Fig. 5 zeigt einen Raum (Bezugsziffer 1), der von einem Beh\u00e4lter 5 gebildet wird. Der Raum 1 muss durch den Beh\u00e4lter 5 abh\u00e4ngig vom Anwendungsfall zumindest soweit geschlossen sein, dass ein unerw\u00fcnschtes Eindringen von feuchter Umgebungsluft durch Aufbau eines inneren \u00dcberdrucks verhindert werden kann (Abs. [0004] f.). Im Raum 1 ist ein temperierbarer Probertisch 10 (auch Chuck genannt) vorgesehen, auf den ein (nicht gezeigter) Halbleiterwafer zu Testzwecken aufgelegt werden kann. Zur Temperierung ist in dem Probertisch 10 eine Heizeinrichtung 90 integriert (Abs. [0005] ff.). In Fig. 5 ist weiterhin ein Temperatursteuerrack 2 erkennbar, das mit dem Beh\u00e4lter 5 \u00fcber eine entsprechende elektrische Leitungen e1 und eine Medienversorgungsleitung r2 verbunden ist (Abs. [0011]). Das Temperatursteuerrack 2 weist einen Temperatur-Controller 80 auf, der durch Beheizen der Heizeinrichtung 90 die Temperatur des Probertisches 10 regeln kann, wobei der Probertisch 10 gleichzeitig oder alternativ mit Luft zur K\u00fchlung durchsp\u00fclbar ist. Ferner ist im Temperatursteuerrack 2 eine Temperierungseinrichtung 70 vorgesehen, der \u00fcber die Leitungen r0 und i1 trockene Luft, z.B. aus einer Gasflasche oder auch aus einem Lufttrockner, zugef\u00fchrt wird. Das Temperatursteuerrack weist weiter einen W\u00e4rmetauscher 95 auf, der auf eine vorbestimmte Temperatur gebracht werden kann (Abs. [0012]). Die \u00fcber die Leitungen r0, i1 zugef\u00fchrte trockene Luft wird durch den W\u00e4rmetauscher 95 geleitet und anschlie\u00dfend \u00fcber die Versorgungsleitung r2 in den Beh\u00e4lter 5 zum Probertisch 10 gef\u00fchrt, den sie durch entsprechende, nicht gezeigte K\u00fchlschlangen bzw. K\u00fchlrohre durchquert. \u00dcber die Leitung r3 verl\u00e4sst die trockene Luft, welche den Probertisch 10 gek\u00fchlt hat, denselben und wird aus dem Beh\u00e4lter 5 heraus an die Atmosph\u00e4re geleitet.<\/p>\n

Im Beh\u00e4lter sind ferner Ausstr\u00f6melemente 30 vorgesehen, \u00fcber die von au\u00dferhalb \u00fcber eine Leitung r1 getrocknete Luft oder ein \u00e4hnliches Fluid in den Beh\u00e4lter eingef\u00fchrt werden kann, um feuchte Umgebungsluft aus dem Beh\u00e4lter 5 auszutreiben (d.h. diesen zu sp\u00fclen, englisch: \u201eto purge\u201c). Diese Luft wird zun\u00e4chst extern \u00fcber eine Leitung r00 an einen Lufttrockner 3 zugef\u00fchrt und dann in die Leitung r1 eingespeist (Abs. [0009]). Das Klagepatent f\u00fchrt hierzu weiter aus, dass \u00fcblicherweise (siehe z.B. US 5,885,353) die trockene Luft, welche zur Konditionierung der Atmosph\u00e4re in dem Beh\u00e4lter 5 \u00fcber die Ausstr\u00f6melemente 30 in den Beh\u00e4lter 1 geleitet wird, auf Raumtemperatur gehalten wird, so dass lediglich die Oberfl\u00e4che des Probertisches 10 auf der gew\u00fcnschten Messtemperatur gehalten wird, die \u00fcbrigen Elemente in dem Beh\u00e4lter 5 jedoch ungef\u00e4hr Raumtemperatur haben (Abs. [0014]).<\/p>\n

Das Klagepatent kritisiert an der dargestellten Vorrichtung aus dem Stand der Technik, dass ein relativ hoher Verbrauch an getrockneter Luft besteht. Getrocknete Luft wird namentlich einerseits zum K\u00fchlen des Probertisches 10 durch den Beh\u00e4lter 5 genutzt (und anschlie\u00dfend an die Atmosph\u00e4re geblasen) und andererseits zum Konditionieren der Atmosph\u00e4re des Raums genutzt. Ferner bewirke ein Ausfall des Lufttrockners 3 ein sofortiges Vereisen des getesteten Wafers bei entsprechenden Temperaturen (Abs. [0015]).<\/p>\n

In Abs. [0016] bezeichnet es das Klagepatent daher als seine Aufgabe, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern anzugeben, die eine effizientere Konditionierung erm\u00f6glichen.<\/p>\n

2.
\nZur L\u00f6sung dieser Aufgabe schl\u00e4gt das Klagepatent eine Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und\/oder Hybriden nach Ma\u00dfgabe von Anspruch 5 vor, der sich in Form einer Merkmalsgliederung wie folgt darstellen l\u00e4sst:<\/p>\n

1 Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und\/oder Hybriden.<\/p>\n

2 Die Vorrichtung weist einen zumindest teilweise geschlossenen Raum (1) auf,<\/p>\n

2.1 wobei der Raum (1) durch einen Beh\u00e4lter (5) im Wesentlichen geschlossen ist und<\/p>\n

2.2 sich hierin eine Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung (10) zur Aufnahme eines Halbleiterwafers und\/oder Hybrides befindet.<\/p>\n

3 Die Vorrichtung weist eine Leitungseinrichtung (r2, r3, r4, r5, i3, i4) auf,<\/p>\n

3.1 zum Leiten eines trockenen Fluids durch die Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung (10) zum Temperieren der Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung (10) und<\/p>\n

3.2 zum Leiten zumindest eines Teiles des die Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung (10) verlassenden Fluids in den Raum (1) zum Konditionieren der Atmosph\u00e4re in dem Raum (1).<\/p>\n

4.1 Die Leitungseinrichtung (r2, r3, r4, r5, i3, i4) weist eine erste Leitung (r2) auf, \u00fcber die das Fluid von au\u00dferhalb des Raums (1) in die Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung (10) leitbar ist.<\/p>\n

4.2 Die Leitungseinrichtung (r2, r3, r4, r5, i3, i4) weist eine zweite Leitung (r3) auf, \u00fcber die das Fluid aus der Wafer\/Hybrid-Aufnahmeeinrichtung (10) nach au\u00dferhalb der Raums (1) leitbar ist.<\/p>\n

4.3 Die Leitungseinrichtung (r2, r3, r4, r5, i3, i4) weist eine dritte Leitung (r4) auf, \u00fcber die das Fluid von au\u00dferhalb des Raums (1) in den Raum (1) r\u00fcckf\u00fchrbar ist.<\/p>\n

5 Zwischen der zweiten und dritten Leitung (r3, r4) ist eine Temperierungseinrichtung (70; 70, 80“) vorgesehen.<\/p>\n

6 Die Temperierungseinrichtung (70; 70, 80“) weist einen W\u00e4rmetauscher (95) auf, dem zumindest ein Teil des den Raum (1) verlassenden Fluids zuleitbar ist;<\/p>\n

6.1 Der W\u00e4rmetauscher (95) dient zum Vork\u00fchlen des zugef\u00fchrten Fluids.<\/p>\n

7 Die Leitungseinrichtung (r2, r3, r4, r5, i3, i4) ist derart gestaltet, dass der den W\u00e4rmetauscher (95) verlassende Teil zumindest teilweise zum Konditionieren der Atmosph\u00e4re in den Raum r\u00fcckf\u00fchrbar ist.<\/p>\n

3.
\nAnspruch 5 des Klagepatents lehrt eine Vorrichtung zum Konditionierung von Halbleiterwafern und Hybriden, wobei letztere zur Vereinfachung nachfolgend nicht mit genannt werden. Als Konditionierung wird hierbei die Einstellung von bestimmten Atmosph\u00e4renwerten des Raums zur Wafer-Testung bezeichnet, insbesondere die Regelung der Luftfeuchte. Durch die Konditionierung mit trockener Luft kann ein Einfrieren des Probertischs auch bei tiefen (Mess-) Temperaturen verhindert werden.<\/p>\n

Die Vorrichtung weist nach Merkmalsgruppe 2 einen (zumindest teilweise) geschlossenen Raum auf, in dem sich eine Einrichtung zur Aufnahme eines Halbleiterwafers befindet. Hierbei kann es sich insbesondere um einen Probertisch (Chuck) handeln.<\/p>\n

F\u00fcr die Konditionierung sieht das Klagepatent eine Leitungseinrichtung vor. Diese dient nach Merkmalgruppe 3 zwei Zwecken: Zum einen soll sie trockenes Fluid durch die Wafer-Aufnahmeeinrichtung leiten, um diese zu temperieren. Zum anderen soll sie zur Konditionierung des Raums Fluid in diesen leiten, wobei es sich zumindest um einen Teil des Fluids handeln muss, das die Wafer-Aufnahmeeinrichtung verlassen hat, d.h. nach der Nutzung zu deren Temperierung.<\/p>\n

Die hierf\u00fcr erforderlichen Leitungen der Leitungseinrichtung werden in Merkmalgruppe 4 n\u00e4her definiert. Eine erste Leitung leitet Fluid von au\u00dferhalb des Raums in die Wafer-Aufnahmeeinrichtung (Merkmal 4.1) und eine zweite Leitung leitet dieses Fluid von der Wafer-Aufnahmeeinrichtung wieder aus dem Raum hinaus (Merkmal 4.2). Dies entspricht dem Stand der Technik (vgl. die Leitungen r2 und r3 in der oben eingeblendeten Fig. 5). Patentgem\u00e4\u00df nach Merkmal 4.3 vorgesehen ist nun eine dritte Leitung, die das Fluid, das \u00fcber die zweite Leitung den Raum (und damit auch die Wafer-Aufnahmeeinrichtung) verlassen hat, wieder zur\u00fcck in den Raum leiten kann. Damit wird die Zweckangabe in Merkmal 3.2 realisiert, nach der zumindest ein Teil des den Raum verlassenden Fluids zu dessen Konditionierung (wieder) in den Raum geleitet wird.<\/p>\n

Die Merkmale 5 bis 7 betreffen die Nutzung\/Verarbeitung des den Raum (und die darin befindliche Wafer-Aufnahmevorrichtung) \u00fcber die zweite Leitung verlassenden Fluids vor dessen Nutzung zur Konditionierung der Atmosph\u00e4re des Raums mittels der R\u00fcckf\u00fchrung des Fluids \u00fcber die dritte Leitung (Merkmale 3.2, 4,3 und 7). Hierzu sieht das Klagepatent zwischen zweiter und dritter Leitung eine Temperierungseinrichtung vor, die einen W\u00e4rmetauscher aufweist, zu dem das \u00fcber die zweite Leitung die Wafer-Aufnahmevorrichtung und den Raum verlassende Fluid zumindest teilweise geleitet werden kann (Merkmal 6). In diesem W\u00e4rmetauscher wird das den Raum verlassende Fluid verwendet, um das Fluid vorzuk\u00fchlen, das \u00fcber die erste Leitung in den Raum zur Wafer-Aufnahmeeinrichtung geleitet wird (Merkmal 6.1, Abs. [0048]). Hierbei macht sich das Klagepatent den Umstand zu nutzen, dass es zur Konditionierung regelm\u00e4\u00dfig ausreicht, wenn das Fluid (lediglich) Raumtemperatur besitzt (vgl. Abs. [0014]). Die Temperatur, auf die das Fluid f\u00fcr die Temperierung der Wafer-Aufnahmeeinrichtung gebracht wurde und teilweise nach Verlassen des Raums noch besitzt, kann damit genutzt werden, um das neu einstr\u00f6mende Fluid vorzuk\u00fchlen, bevor es zur Temperierung der Wafer-Aufnahmeeinrichtung genutzt wird. Damit wird die Energie zur Vork\u00fchlung genutzt, die im beschriebenen Stand der Technik verloren ging, wenn das Fluid nach der Nutzung zur Temperierung einfach in die Atmosph\u00e4re ausgelassen wurde. Auf diese Weise spart die anspruchsgem\u00e4\u00dfe Vorrichtung Energie ein. Der W\u00e4rmetauscher kann sich \u2013 wie es das Klagepatent f\u00fcr ein Ausf\u00fchrungsbeispiel beschreibt \u2013 in einem Temperatursteuerrack befinden, der auch als Chiller bezeichnet wird.<\/p>\n

Die patentgem\u00e4\u00dfe Leitungseinrichtung ist nach Merkmal 7 weiterhin so ausgestaltet, dass zumindest ein Teil des Fluids, das dem W\u00e4rmetauscher zugef\u00fchrt wurde, wieder in den Raum zur\u00fcckgeleitet werden kann. Das Klagepatent verlangt also, dass auch von dem Fluid, was im W\u00e4rmetauscher verwendet wird, zumindest ein Teil wieder in den Raum zur\u00fcckgeleitet werden kann (und nicht nur das Fluid, welches nicht im W\u00e4rmetauscher verwendet wurde). Insofern konkretisiert Merkmal 7 das Merkmal 4.3, welches nur allgemein eine R\u00fcckf\u00fchrbarkeit des Fluids verlangt. Das zur\u00fcckgef\u00fchrte Fluid wird zur Konditionierung des Raums (d.h. Sp\u00fclung mit Luft) verwendet.<\/p>\n

Die Lehre des Klagepatents erm\u00f6glicht damit eine Nutzung des Fluids, welches die Wafer-Aufnahmeeinrichtung und den Raum wieder verlassen hat und welches nach dem beschriebenen Stand der Technik einfach in die Umgebung abgegeben wurde. Dieses wird patentgem\u00e4\u00df stattdessen einerseits zum Vork\u00fchlen des (neu) in den Raum geleiteten Fluids verwendet, andererseits selbst erneut verwendet, indem es der Konditionierung (Sp\u00fclung) des Raums dient (vgl. Abs. [0017] f.). Dadurch wird vorteilhaft einerseits Energie zur Vork\u00fchlung gespart und andererseits der Verbrauch von Fluid zur Konditionierung reduziert.<\/p>\n

4.
\nEine unmittelbare wortsinngem\u00e4\u00dfe Verwirklichung von Merkmale 4.3,<\/p>\n

\u201e4.3 Die Leitungseinrichtung (r2, r3, r4, r5, i3, i4) weist eine dritte Leitung (r4) auf, \u00fcber die das Fluid von au\u00dferhalb des Raums (1) in den Raum (1) r\u00fcckf\u00fchrbar ist\u201c,<\/p>\n

das Merkmal 5.4.3 der Gliederung Kl\u00e4gerin bzw. M5_7 der Beklagtengliederung entspricht, durch die angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen l\u00e4sst sich nicht feststellen.<\/p>\n

a)
\nMerkmal 4.3 verlangt eine dritte Leitung der Leitungseinrichtung. Diese soll das Fluid, welches den Raum \u00fcber die zweite Leitung nach Merkmal 4.2 verlassen hat, wieder in den Raum zur\u00fcckf\u00fchren k\u00f6nnen. Dies setzt voraus, dass die dritte Leitung eine Fluid-Verbindung zwischen der zweiten Leitung \u2013 nach den Merkmalen 5 und 6 nach Durchlaufen der Temperierungseinrichtung mit W\u00e4rmetauscher \u2013 hin zu dem Raum schafft, den das Fluid konditionieren soll (Merkmal 7). Eine solche Leitung muss r\u00e4umlich-k\u00f6rperlich vorhanden sein.<\/p>\n

b)
\nBei den angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen l\u00e4sst sich eine solche dritte Leitung nicht feststellen.<\/p>\n

aa)
\nDie Kl\u00e4gerin hat nicht aufgezeigt, dass die Beklagte beim Vertrieb der angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen eine Leitung zur Verbindung des \u201eDry Air Out\u201c-Auslasses des Chillers und dem Sp\u00fclfluidzugang des Proberraums mit anbietet oder vertreibt. Die Beklagte hat auch unwidersprochen vorgetragen, dass sie eine entsprechende Leitung bei der Installation der angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen bei ihren Abnehmern nicht anschlie\u00dft. Das Vorhandensein eines Ausgangs am Chiller und eines entsprechenden Zugangs zum Proberraum der angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen alleine verwirklichen Merkmal 4.3 nicht, da weder eine (durchg\u00e4ngige) Leitung existiert, noch Fluid tats\u00e4chlich zur\u00fcckgef\u00fchrt werden kann.<\/p>\n

bb)
\nEine unmittelbare Verwirklichung von Merkmal 4.3 ergibt sich auch nicht unter dem Aspekt, dass Abnehmer der angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen eine dritte Leitung selbst installieren k\u00f6nnten.<\/p>\n

(1)
\nWenn nicht alle Anspruchsmerkmale verwirklicht sind, kann grunds\u00e4tzlich nur eine mittelbare Patentverletzung vorliegen, sofern die hierf\u00fcr aufgestellten besonderen Tatbestandsvoraussetzungen des \u00a7 10 PatG erf\u00fcllt sind. Ausnahmsweise kann eine unmittelbare Patentverletzung gleichwohl selbst dann bejaht werden, wenn der Patentverletzer nicht alle Teile der gesch\u00fctzten Vorrichtung selbst liefert, er sich aber darauf verlassen kann, dass die fehlende (Allerwelts-) Zutat beim Empf\u00e4nger entweder bereits vorhanden ist (so dass ihre abermalige Bereitstellung sinnlos ist) oder aber vom Belieferten problemlos selbst besorgt werden kann und auch tats\u00e4chlich beschafft werden wird, um den gelieferten Gegenstand seiner bestimmungsgem\u00e4\u00dfen Verwendung zuzuf\u00fchren. Der Handelnde macht sich bei einer solchen Sachlage mit seiner Lieferung die Vor- oder Nacharbeit seines Abnehmers bewusst zu Eigen, was es rechtfertigt, ihm diese Vor- oder Nacharbeit so zuzurechnen, als h\u00e4tte er die Zutat selbst mitgeliefert (OLG D\u00fcsseldorf, InstGE 13, 78 \u2013 Lungenfunktionsmessger\u00e4t). Voraussetzung f\u00fcr eine unmittelbare Patentverletzung in einer solchen Konstellation ist es, dass alle Abnehmer selbstverst\u00e4ndlich und mit Sicherheit eine f\u00fcr den Erfindungsgedanken nebens\u00e4chliche Ver\u00e4nderung an der Vorrichtung vornehmen werden, die zur Verwirklichung s\u00e4mtlicher Merkmale des Patentanspruchs f\u00fchrt (OLG D\u00fcsseldorf, GRUR-RR 2016, 97, 101 \u2013 Prim\u00e4re Verschl\u00fcsselungslogik; OLG D\u00fcsseldorf, Urteil vom 13.02.2014 \u2013 I-2 U 93\/12 \u2013 Folientransfermaschine). Dies l\u00e4sst sich bejahen, wenn der Abnehmer bei diesem letzten Herstellungsakt vom Lieferanten angeleitet bzw. gesteuert wird, etwa durch Installationshinweise (OLG D\u00fcsseldorf, GRUR-RR 2016, 97, 101 \u2013 Prim\u00e4re Verschl\u00fcsselungslogik). Gegen die Annahme eines solchen Verhaltens der Abnehmer spricht beispielsweise, wenn die gelieferte Vorrichtung auch ohne eine solche Modifikation (also patentfrei) einwandfrei nutzbar ist (vgl. OLG D\u00fcsseldorf, GRUR-RR 2016, 97, 102 \u2013 Prim\u00e4re Verschl\u00fcsselungslogik) oder die zur Patentverletzung erforderlichen Ma\u00dfnahmen im Widerspruch zur Bedienungsanleitung o.\u00e4. des Lieferanten stehen (OLG D\u00fcsseldorf, Urteil vom 13.02.2014 \u2013 I-2 U 93\/12 \u2013 Folientransfermaschine).<\/p>\n

F\u00fcr das Vorhandensein der Allerwelts-Zutat beim Abnehmer und f\u00fcr die sichere Erwartung, dass die Abnehmer diese Zutat einsetzen, um die gelieferte Vorrichtung zu einer patentgem\u00e4\u00dfen Vorrichtung umzugestalten, tr\u00e4gt die Kl\u00e4gerin nach allgemeinen Grunds\u00e4tzen die Darlegungs- und Beweislast.<\/p>\n

(2)
\nDie Kl\u00e4gerin hat schon nicht ausreichend dargelegt, dass alle Abnehmer der angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen einen Standardschlauch zwischen den Dry Air Out-Auslass des Chillers und den Sp\u00fclfluidzugang des Proberraums anschlie\u00dfen werden.<\/p>\n

Zwar hat die Beklagte dem Vortrag der Kl\u00e4gerin nicht hinreichend widersprochen, dass ein solcher Standardschlauch bei den Abnehmern regelm\u00e4\u00dfig vorhanden ist und eine Verbindung so hergestellt werden k\u00f6nnte (was Merkmal 4.3 verwirklichen w\u00fcrde).<\/p>\n

Es l\u00e4sst sich aber auch unter Zugrundelegung des Kl\u00e4gervortrags nicht feststellen, dass alle Abnehmer einen solchen Schlauch anschlie\u00dfen und damit eine patentgem\u00e4\u00dfe dritte Leitung herstellen w\u00fcrden. Einen konkreten Fall, in dem ein Abnehmer eine solche Leitung im Sinne von Merkmal 4.3 angeschlossen hat, konnte die Kl\u00e4gerin nicht aufzeigen. Die blo\u00dfe M\u00f6glichkeit, dass Abnehmer eine solche Umgestaltung vornehmen, w\u00fcrde zu einer unmittelbaren Patentverletzung nach den oben dargelegten Grunds\u00e4tzen ebenso wenig ausreichen wie die nur vereinzelte patentgem\u00e4\u00dfe Verwendung der angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen durch Abnehmer der Beklagten.<\/p>\n

Soweit die Kl\u00e4gerin anf\u00fchrt, der Beklagten sei die patentgem\u00e4\u00dfe Nutzbarkeit des Dry Air Out-Auslasses bekannt, kommt es hierauf nicht entscheidend an. Vielmehr ist auf das sicher zu erwartende Verhalten der Abnehmer abzustellen. Diese sind nicht gezwungen, eine patentgem\u00e4\u00dfe Leitungsverbindung herzustellen, um die angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen nutzen zu k\u00f6nnen. Es ist ebenso m\u00f6glich, dass ein Hausluftanschluss oder ein externer Lufttrockner an den Sp\u00fclfluidzugang des Proberraums angeschlossen werden.<\/p>\n

Ferner ist nicht ersichtlich, dass die Beklagte ihre Abnehmer zu einem patentgem\u00e4\u00dfen Anschluss eines Schlauchs anleitet. Entsprechende Hinweise konnte die Kl\u00e4gerin nicht hinreichend aufzeigen. Die Aufschrift \u201eDry Air Out\u201c alleine ist keine zur Bejahung einer unmittelbaren Patentverletzung hinreichende Aufforderung zur Umgestaltung der angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen. Auf die Aufschrift \u201eDry Air Prober\u201c auf dem Chiller, der im Gutachten F (Anlage K24) zu sehen ist, kann dagegen bereits deshalb nicht abgestellt werden, da nicht ersichtlich ist, dass es sich hierbei um ein von der Beklagten vertriebenes Ger\u00e4t handelt.<\/p>\n

Dar\u00fcber hinaus reicht auch nach dem Vortrag der Kl\u00e4gerin in der m\u00fcndlichen Verhandlung vom 24.01.2017 der Druck der Luft aus dem Dry Air Out-Auslass nicht aus, um den Kreuztisch in den angegriffenen Ausf\u00fchrungsformen zu bewegen. Zwar ist dies keine Voraussetzung f\u00fcr die Patentverletzung, f\u00fcr die es nur darauf ankommt, ob Luft vom Chiller zur Konditionierung \u00fcber eine dritte Leitung in den Raum zur\u00fcckgef\u00fchrt wird. Gleichwohl spricht das praktische Erfordernis einer weiteren Luftquelle zur Nutzung der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform eher dagegen, dass (alle) Abnehmer einen Schlauch an das Dry Air Out-Ventil anschlie\u00dfen werden.<\/p>\n

Gegen eine sicher zu erwartende, patentgem\u00e4\u00dfe Nutzung aller Abnehmer spricht zudem, dass der Dry Air Out-Auslass patentfrei f\u00fcr das Sp\u00fclen einer Kamera oder eines Mikroskops genutzt werden kann. Zwar mag daf\u00fcr eine geringere Luftmenge erforderlich sein, als vom Auslass bereitgestellt wird. Gleichwohl kann eine solche Nutzung, bei der das Klagepatent nicht verletzt wird, nicht ausgeschlossen werden.<\/p>\n

Insofern kann dahingestellt bleiben, ob bei Anschluss einer dritten Leitung eine funktionsf\u00e4hige Vorrichtung vorliegt und ob es das Klagepatent erfordert, dass die Luft aus dem Dry Air Out-Ventil alleine und\/oder in allen Betriebszust\u00e4nden f\u00fcr den Betrieb der Vorrichtung ausreichen muss.<\/p>\n

5.
\nDas Vorliegen einer mittelbaren Patentverletzung muss nicht er\u00f6rtert werden, da eine solche von der Kl\u00e4gerin nicht geltend gemacht wird, worauf das Gericht auch in der m\u00fcndlichen Verhandlung vom 24.01.2017 hingewiesen hat.<\/p>\n

II.
\nDie Kostenentscheidung folgt aus \u00a7 91 Abs. 1 S. 1 ZPO.<\/p>\n

Die Entscheidung zur vorl\u00e4ufigen Vollstreckbarkeit beruht auf \u00a7 709 S. 1, S. 2 ZPO.<\/p>\n

III.
\nDen Parteien war jeweils keine Schriftsatzfrist einzur\u00e4umen.<\/p>\n

Die Beklagten haben eine solche nur f\u00fcr den Fall beantragt, dass es auf die in der m\u00fcndlichen Verhandlung von der Kl\u00e4gerseite \u00fcbergegebenen Unterlagen bei der Entscheidung ankommt, was nicht der Fall ist.<\/p>\n

Soweit die Kl\u00e4gerin bereits im Schriftsatz vom 10.01.2017 die Einr\u00e4umung einer Schriftsatzfrist zu dem Vortrag der Beklagten in der Duplik vom 24.11.2016 beantragt und sich in der m\u00fcndlichen Verhandlung hierauf bezogen hat, ist nicht ersichtlich, dass die Voraussetzungen des \u00a7 283 S. 1 ZPO gegeben sind. Die Kl\u00e4gerin konnte sich in der m\u00fcndlichen Verhandlung vom 24.01.2017 zu der zwei Monate zuvor eingereichten Duplik erkl\u00e4ren. Auch kann bereits nicht festgestellt werden, dass ihr das Vorbringen der Beklagten nicht rechtzeitig vor dem Termin mitgeteilt worden ist.<\/p>\n

IV.
\nDer Streitwert wird auf EUR 200.000,00 festgesetzt.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

D\u00fcsseldorfer Entscheidungsnummer: 2616 Landgericht D\u00fcsseldorf Urteil vom 21. Februar\u00a02017, Az.\u00a04a O 119\/15<\/p>\n","protected":false},"author":18,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[66,2],"tags":[],"class_list":["post-6826","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-66","category-lg-duesseldorf"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/6826","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/18"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=6826"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/6826\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":6827,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/6826\/revisions\/6827"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=6826"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=6826"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=6826"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}