{"id":4732,"date":"2004-03-18T17:00:04","date_gmt":"2004-03-18T17:00:04","guid":{"rendered":"https:\/\/www3.hhu.de\/duesseldorfer-archiv\/?p=4732"},"modified":"2016-05-24T08:53:41","modified_gmt":"2016-05-24T08:53:41","slug":"2-u-11302-verarbeitung-von-wafern-aus-silicium","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/d-prax.de\/?p=4732","title":{"rendered":"2 U 113\/02 – Verarbeitung von Wafern aus Silicium"},"content":{"rendered":"
\n
\n
\n
D\u00fcsseldorfer Entscheidung Nr.:\u00a0284<\/strong><\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n

Oberlandesgericht D\u00fcsseldorf
\nUrteil vom 18. M\u00e4rz 2004, Az. 2 U 113\/02<\/p>\n

1.
\nDie Berufung der Kl\u00e4gerin gegen das am 20. Juni 2002 verk\u00fcndete Urteil der 4. Zivilkammer des Landgerichts D\u00fcsseldorf wird zur\u00fcckgewiesen.<\/p>\n

2.
\nDie Kl\u00e4gerin hat die Kosten des Berufungsverfahrens zu tragen.<\/p>\n

3.
\nDas Urteil ist vorl\u00e4ufig vollstreckbar. Die Kl\u00e4gerin kann die Vollstreckung jedes\/jeder der Beklagten durch Sicherheitsleistung von 50.000,– \u20ac abwenden, wenn nicht der\/die jeweils vollstreckende Beklagte seiner-\/ihrerseits vor der Vollstreckung Sicherheit in gleicher H\u00f6he leistet. Insgesamt braucht die Kl\u00e4gerin zur Abwendung der Vollstreckung und brauchen die Beklagten zusammen zur Erm\u00f6glichung der Vollstreckung keine h\u00f6here Sicherheit als 80.000,– \u20ac zu leisten.<\/p>\n

4.
\nStreitwert f\u00fcr das Berufungsverfahren: 1.023.000,– \u20ac.<\/p>\n

Entscheidungsgr\u00fcnde:<\/p>\n

I.<\/p>\n

Die Kl\u00e4gerin ist eingetragene Inhaberin des in englischer Sprache abgefassten europ\u00e4ischen Patents 0 513 275 (im Folgenden: Klagepatent), das auf einer unter Inanspruchnahme einer US-amerikanischen Priorit\u00e4t vom 30. November 1990 am 30. September 1991 eingegangenen und am 19. November 1992 bekannt gemachten Anmeldung beruht. Ver\u00f6ffentlichungstag der Patenterteilung war der 9. August 1995.<\/p>\n

Anmelderin und urspr\u00fcngliche Inhaberin des Klagepatents war die Fluoroware Inc., die im Laufe des vorliegenden Rechtsstreits mit der Kl\u00e4gerin verschmolzen und von dieser aufgenommen worden ist.<\/p>\n

Anspruch 1 des Klagepatents lautet in der in der Klagepatentschrift enthaltenen deutschen \u00dcbersetzung:<\/p>\n

Kunststoffformtr\u00e4ger (58) zum Anordnen des Tr\u00e4gers und von Wafern darin auf einer Wafertransportvorrichtung, wobei der Tr\u00e4ger eine \u00d6ffnung (11) zum Einsetzen und Entfernen von Wafern hat, wobei die \u00d6ffnung durch ein Paar gegen\u00fcberliegender Seitenw\u00e4nde (13) mit inneren gegen\u00fcberliegenden Rippen (18) und Wafertaschen (19) dazwischen, um die axial ausgerichteten Wafer im Tr\u00e4ger beabstandet anzuordnen und zu halten, und ein Paar von Endw\u00e4nden (60, 50) ausgebildet ist, wobei die erste Endwand (60) an der Transportvorrichtung einrastbar ist und wobei die erste Endwand gegen\u00fcberliegende Transportvorrichtung-Kontakt-schienen (59) aufweist, die jeweils erste (69) und zweite (71) Abschnitte haben und im Wesentlichen flach sind, wobei die Kontaktschienen jeweils eine Innenkante (65) zu der \u00d6ffnung hin und eine Au\u00dfenkante (67) von der \u00d6ffnung weg haben, wobei die Schienen von der ersten Endwand von der Innenkante zu der Au\u00dfenkante abfallen, und eine hervorstehende Rampe (73) haben, die an dem ersten Abschnitt jeder der Kontaktschienen anf\u00e4ngt und sich zu einem Punkt zwischen den ersten und zweiten Abschnitten der Kontaktschienen erstreckt, wodurch vier Kontaktpunkte zwischen dem Tr\u00e4ger und der Vorrichtung gebildet werden, wobei zwei Kontaktpunkte am Anfang der Rampen und die anderen zwei Kontaktpunkte an der Innenkante der zweiten Abschnitte sind.<\/p>\n

Die nachfolgend wiedergegebenen Figuren 5 und 6 aus der Klagepatentschrift zeigen ein bevorzugtes Ausf\u00fchrungsbeispiel der gesch\u00fctzten Erfindung:<\/p>\n

Die unter der Gesch\u00e4ftsf\u00fchrung der Beklagten zu 2. und 3. stehende Beklagte zu 1. stellt her und vertreibt Wafertr\u00e4ger aus Kunststoff, von denen die Kl\u00e4gerin ein Musterst\u00fcck als Anlage K 6 \u00fcberreicht hat.<\/p>\n

Die Kl\u00e4gerin vertritt die Ansicht, die Wafertr\u00e4ger der Beklagten machten von der Lehre des Anspruchs 1 des Klagepatents wortsinngem\u00e4\u00df, jedenfalls aber in \u00e4quivalenter Weise Gebrauch, und nimmt die Beklagten deswegen auf Unterlassung, Rechnungslegung, Vernichtung und Feststellung der Schadensersatzpflicht in Anspruch. Sie hat beantragt,<\/p>\n

I.<\/p>\n

die Beklagten zu verurteilen,<\/p>\n

1.
\nes bei Meidung der gesetzlichen Ordnungsmittel zu unterlassen,<\/p>\n

Kunststoffformtr\u00e4ger zum Anordnen des Tr\u00e4gers und von Wafern darin auf einer Wafertransportvorrichtung, wobei der Tr\u00e4ger eine \u00d6ffnung zum Einsetzen und Entfernen von Wafern hat, wobei die \u00d6ffnung durch ein Paar gegen\u00fcberliegender Seitenw\u00e4nde mit inneren gegen\u00fcberliegenden Rippen und Wafertaschen dazwischen, um die axial ausgerichteten Wafer im Tr\u00e4ger beabstandet anzuordnen und zu halten, und ein Paar von Endw\u00e4nden ausgebildet ist, wobei die erste Endwand an der Transportvorrichtung einrastbar ist und wobei die erste Endwand gegen\u00fcberliegende Transportvorrichtung-Kontaktschienen aufweist, die jeweils erste und zweite Abschnitte haben und im Wesentlichen flach sind, wobei die Kontaktschienen jeweils eine Innenkante zu der \u00d6ffnung hin und eine Au\u00dfenkante von der \u00d6ffnung weg haben, wobei die Schienen von der ersten Endwand von der Innenkante zu der Au\u00dfenkante abfallen, und eine hervorstehende Rampe haben, die an dem ersten Abschnitt jeder der Kontaktschienen anf\u00e4ngt und sich zu einem Punkt zwischen den ersten und zweiten Abschnitten der Kontaktschienen erstreckt, wodurch vier Kontaktpunkte zwischen dem Tr\u00e4ger und der Vorrichtung gebildet werden, wobei zwei Kontaktpunkte am Anfang der Rampen und die anderen zwei Kontaktpunkte an der Innenkante der zweiten Abschnitte sind, herzustellen, anzubieten, in Verkehr zu bringen oder zu gebrauchen oder zu den genannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen;<\/p>\n

2.
\nihr \u2013 der Kl\u00e4gerin \u2013 unter Vorlage eines einheitlichen, geordneten Verzeichnisses dar\u00fcber Rechnung zu legen, in welchem Umfang sie die zu 1. bezeichneten Handlungen seit dem 9. September 1995 begangen h\u00e4tten, und zwar unter Angabe<\/p>\n

a) der Herstellungsmengen und \u2013zeiten,<\/p>\n

b) der Menge der erhaltenen oder bestellten Erzeugnisse sowie der
\nNamen und Anschriften der Hersteller, Lieferanten und anderer Vor-
\nbesitzer,<\/p>\n

c) der einzelnen Lieferungen, aufgeschl\u00fcsselt nach Liefermengen, – zeiten
\nund \u2013preisen und Typenbezeichnungen sowie den Namen und An-
\nschriften der Abnehmer,<\/p>\n

d) der einzelnen Angebote, aufgeschl\u00fcsselt nach Angebotsmengen,
\n-zeiten und \u2013preisen und Typenbezeichnungen sowie den Namen und
\nAnschriften der Angebotsempf\u00e4nger,<\/p>\n

e) der betriebenen Werbung, aufgeschl\u00fcsselt nach Werbetr\u00e4gern, deren
\nAuflagenh\u00f6he, Verbreitungszeitraum und Verbreitungsgebiet,<\/p>\n

f) der nach den einzelnen Kostenfaktoren aufgeschl\u00fcsselten Gestehungs-
\nkosten und des erzielten Gewinns;<\/p>\n

3.
\ndie in ihrem unmittelbaren und mittelbaren Besitz oder Eigentum befindlichen unter Ziff. I. 1. beschriebenen Erzeugnisse zu vernichten oder nach Wahl der Beklagten an einen von ihr \u2013 der Kl\u00e4gerin \u2013 zu benennenden Treuh\u00e4nder zum Zwecke der Vernichtung auf Kosten der Beklagten herauszugeben;<\/p>\n

sowie<\/p>\n

II.<\/p>\n

festzustellen, dass die Beklagten als Gesamtschuldner verpflichtet seien, ihr allen Schaden zu ersetzen, der ihr \u2013 ggf. auch dem fr\u00fcheren Patentinhaber \u2013 durch die unter Ziff. I. 1. bezeichneten, seit dem 9. September 1995 begangenen Handlungen entstanden sei und noch entstehen werde.<\/p>\n

Die Beklagten haben um Klageabweisung gebeten und eingewendet: Die angegriffenen Wafertr\u00e4ger verletzten das Klagepatent nicht, weil sie von mehreren Merkmalen des Patentanspruches 1 keinen Gebrauch machten und insbesondere die dort vorhandenen Kontaktschienen keine Rampen im Sinne des Klagepatents aufwiesen.<\/p>\n

Das Landgericht hat die Klage abgewiesen. Auf das Urteil vom 20. Juni 2002 wird Bezug genommen.<\/p>\n

Die Kl\u00e4gerin hat Berufung eingelegt, mit der sie ihre bisherigen Klageantr\u00e4ge weiterverfolgt, w\u00e4hrend die Beklagten um Zur\u00fcckweisung des Rechtsmittels bitten.<\/p>\n

Die Parteien wiederholen und erg\u00e4nzen ihr bisheriges Vorbringen. Wegen der weiteren Einzelheiten des Sach- und Streitstandes wird auf den Inhalt der gewechselten Schrifts\u00e4tze nebst Anlagen Bezug genommen, soweit sie Gegenstand der m\u00fcndlichen Verhandlung waren.<\/p>\n

II.<\/p>\n

Die Berufung ist nicht begr\u00fcndet. Das Landgericht hat die Klage mit Recht abgewiesen, weil die Beklagten das Klagepatent nicht verletzen.<\/p>\n

1.<\/p>\n

Das Klagepatent betrifft einen aus Kunststoff bestehenden Tr\u00e4ger f\u00fcr den Transport, die Aufbewahrung und die Verarbeitung von sog. Wafern aus Silicium, welche bei der Herstellung von integrierten Schaltungschips verwendet werden. Dabei werden die Wafer von automatisch arbeitenden Einrichtungen (Robotern) ergriffen und z.B. in Fl\u00fcssigkeiten oder Gase eingetaucht oder mit ihnen bespr\u00fcht und\/oder gewaschen.<\/p>\n

Siliciumwafer sind einerseits au\u00dferordentlich wertvoll, andererseits wegen ihrer nur sehr geringen Dicke und ihrer gro\u00dfen Spr\u00f6digkeit extrem empfindlich. Es ist daher wichtig, dass sie in den Tr\u00e4gern m\u00f6glichst sicher und genau positioniert sind, damit sie sich bei der automatisierten Handhabung durch die einzelnen Verarbeitungsvorrichtungen stets in einer vorgegebenen Stellung befinden und beim Ergreifen und Herausnehmen aus dem Tr\u00e4ger nicht besch\u00e4digt werden.<\/p>\n

Die Klagepatentschrift f\u00fchrt aus (Spalte 1, Zeile 50, bis Spalte 2, Zeile 18), zum Stand der Technik geh\u00f6re ein Wafertr\u00e4ger aus Kunststoff, wie ihn die Figur 1 der Klagepatentschrift zeigt, die nachstehend wiedergegeben wird:<\/p>\n

Dieser Tr\u00e4ger weist eine offene Oberseite (11), einen offenen Boden (12) und senkrechte Seitenw\u00e4nde (13) mit gegen\u00fcberliegenden unteren Randabschnitten (14) auf, die nach innen versetzt sind. Die Seitenw\u00e4nde (13) haben gegen\u00fcberliegende und nach innen vorstehende Rippen (18), welche jeweils Taschen (Schlitze) f\u00fcr die einzelnen Wafer bilden.<\/p>\n

Der dargestellte Tr\u00e4ger hat des weiteren eine H-f\u00f6rmige Endwand (40) mit einem H-f\u00f6rmigen Flansch (42), der einen horizontalen Einrastb\u00fcgel (44) tr\u00e4gt. Wenn der Tr\u00e4ger (10) auf seiner H-f\u00f6rmigen Endwand (40) steht \u2013 in dieser Stellung kann er mit dem B\u00fcgel (44) in eine Hebe- oder Transporteinrichtung einrasten, die ihn durch die Bearbeitungsvorrichtung transportiert -, wird er durch Kontaktschienen (45) unterst\u00fctzt, von deren jede eine Kontaktoberfl\u00e4che (48) hat. Nach den Ausf\u00fchrungen der Klagepatentschrift k\u00f6nnen die Kontaktschienen (45) maschinenbearbeitete Noppen, Kn\u00f6pfe oder Konsolen (49) aufweisen, die \u00fcber die Kontakt- oberfl\u00e4che (48) hinausragen.<\/p>\n

Die Klagepatentschrift weist darauf hin (Spalte 2, Zeile 33, bis Spalte 3, Zeile 25), das von den zahlreichen Herstellern f\u00fcr Siliciumwafer, Wafertr\u00e4ger, Wafertransportvorrichtungen, Waferverarbeitungschemikalien und \u2013vorrichtungen und integrierte Schaltungschips gegr\u00fcndete Semiconductor Equipment and Materials Institute Inc. (SEMI) habe Standards f\u00fcr Wafer, Tr\u00e4ger und Vorrichtungskonfigurationen aufgestellt. Danach solle der aus der nachstehend wiedergegebenen Fi- gur 2 der Klagepatentschrift<\/p>\n

ersichtliche Abstand D 1 z.B. f\u00fcr einen 150 mm-Tr\u00e4ger 14,54 mm +\/- 0,13 mm betragen, womit hinreichend gew\u00e4hrleistet sei, dass sich die Wafer bei der Verarbeitung sicher handhaben lie\u00dfen.<\/p>\n

Wenn ein Wafertr\u00e4ger aus einem Kunststoff geformt werde, sei er w\u00e4hrend seines Form-, Aush\u00e4rte- und Inbetriebnahmevorgangs Kr\u00e4ften und Spannungen ausgesetzt, die typischerweise zu einer gewissen W\u00f6lbung und\/oder Schrumpfung des Tr\u00e4gers f\u00fchrten. Die Tr\u00e4ger-Herstellerindustrie verlange daher ein \u201eschmales Fenster\u201c von akzeptablen Formgebungsprozessparametern einschlie\u00dflich Temperatur, Druck und Zeit im Bem\u00fchen um eine Minimierung der Tr\u00e4gerw\u00f6lbung und
\n\u2013schrumpfung und um eine Einhaltung strenger Standards. Abh\u00e4ngig von der besonderen Konfiguration und vom Kunststoffmaterial unterl\u00e4gen viele Formtr\u00e4ger in einem solchen Ausma\u00df der Schrumpfung oder W\u00f6lbung, dass sie nicht f\u00fcr den Gebrauch geeignet seien und daher zur\u00fcckgewiesen w\u00fcrden. Eine solche Zur\u00fcckweisung k\u00f6nne erfolgen, wenn der jeweilige Tr\u00e4ger nicht die SEMI-Standards erf\u00fclle und einen \u201eWackelstuhl\u201c-Effekt habe, also nicht gleichm\u00e4\u00dfig flach auf der Wafertransportvorrichtung liege, oder die Wafer geneigt, d.h. nicht richtig zur Horizontalen ausgerichtet seien.<\/p>\n

Die Klagepatentschrift f\u00fchrt weiter aus (Spalte 3, Zeilen 26 bis 42): Es bestehe ein Bedarf f\u00fcr einen Wafertr\u00e4ger aus Kunststoff mit einem \u201ebreiten Fenster\u201c von akzeptablen Formgebungsprozessparametern; ein solcher Tr\u00e4ger solle ohne weiteres Spannungen und Kr\u00e4fte kompensieren, die w\u00e4hrend seiner Ausformung in Tr\u00e4gerw\u00f6lbung und \u2013schrumpfung resultierten. Der Tr\u00e4ger solle eine Waferneigung kompensieren und solle nicht wackeln, wenn er auf seiner H-f\u00f6rmigen Endwand stehe. Auch wenn eine gewisse W\u00f6lbung und Schrumpfung unvermeidbar sei, solle der Tr\u00e4ger Kompensationseigenschaften haben, die den nachteiligen Effekten der W\u00f6lbung und Schrumpfung nicht unterl\u00e4gen.<\/p>\n

Das so bezeichnete technische Problem soll gem\u00e4\u00df Anspruch 1 des Klagepatents gel\u00f6st werden durch einen Wafertr\u00e4ger mit folgenden Merkmalen:<\/p>\n

1.
\nKunststoffformtr\u00e4ger (58) zum Anordnen des Tr\u00e4gers und von Wafern darin auf einer Wafertransportvorrichtung.<\/p>\n

2.
\nDer Tr\u00e4ger (58) hat eine \u00d6ffnung (11) zum Einsetzen und Entfernen von Wafern.<\/p>\n

3.
\nDie \u00d6ffnung (11) ist<\/p>\n

a) durch ein Paar gegen\u00fcberliegender Seitenw\u00e4nde (13) mit inneren
\ngegen\u00fcberliegenden Rippen (18) und Wafertaschen (19) dazwischen,
\ndie dazu dienen, die axial ausgerichteten Wafer im Tr\u00e4ger beabstandet
\nanzuordnen und zu halten,<\/p>\n

b) und ein Paar von Endw\u00e4nden (60, 50) ausgebildet.<\/p>\n

4.
\nDie erste Endwand (60)<\/p>\n

a) ist an der Transportvorrichtung einrastbar<\/p>\n

b) und weist gegen\u00fcberliegende Kontaktschienen (59) auf.<\/p>\n

5.
\nDie Kontaktschienen (59)<\/p>\n

a) haben jeweils erste (69) und zweite (71) Abschnitte und sind im
\nWesentlichen flach,<\/p>\n

b) haben jeweils eine Innenkante (65) zur \u00d6ffnung (11) hin<\/p>\n

c) und eine Au\u00dfenkante (67) von der \u00d6ffnung (11) weg,<\/p>\n

d) wobei die Kontaktschienen (59) von der Innenkante (65) zur Au\u00dfen-
\nkante (67) abfallen,<\/p>\n

e) und besitzen eine hervorstehende Rampe (73),<\/p>\n

aa) die an dem ersten Abschnitt (69) jeder der Kontaktschienen (59)
\nanf\u00e4ngt,<\/p>\n

bb) und sich zu einem Punkt zwischen den ersten (69) und zweiten
\n(71) Abschnitten der Kontaktschienen (59) erstreckt,<\/p>\n

f) wodurch vier Kontaktpunkte (75, 77) zwischen dem Tr\u00e4ger (58) und
\nder Transportvorrichtung gebildet werden,<\/p>\n

aa) wobei zwei Kontaktpunkte (75) am Anfang der Rampen (73)<\/p>\n

bb) und die zwei anderen Kontaktpunkte (77) an der Innenkante (65)
\nder zweiten Abschnitte (71) angeordnet sind.<\/p>\n

Die Klagepatentschrift (Spalte 3, Zeile 55, bis Spalte 4, Zeile 23) hebt hervor: Die Kontaktschienen an der einen Endwand des Wafertr\u00e4gers h\u00e4tten jeweils erste und zweite Abschnitte; infolge einer Rampe sei zwischen diesen Abschnitten ein Bogen vorhanden, wodurch ein Vier-Punkt-Kontakt mit der Transportvorrichtung ausgebildet werde. So habe der Wafertr\u00e4ger ein breiteres Fenster an akzeptablen Formgebungsparametern, als bisher bekannt gewesen sei, wobei er ohne weiteres mit den SEMI-Standards \u00fcbereinstimme. Die erfindungsgem\u00e4\u00dfe Ausgestaltung des Wafertr\u00e4gers erlaube eine bestimmbare und best\u00e4ndige Anordnung des Tr\u00e4gers mit den darin befindlichen Wafern auf einer Wafertransportvorrichtung ohne Wackeln; diese Vorteile w\u00fcrden erreicht, indem nur eine kleine Menge an Kunststoffmaterial an dem Formtr\u00e4ger strategisch angeordnet werde, wobei zu erw\u00e4hnen sei, dass eine kleine Menge an Material einer W\u00f6lbung oder Schrumpfung nicht so stark unterliege wie eine gro\u00dfe Menge an Kunststoffmaterial.<\/p>\n

Von den oben wiedergegebenen Merkmalen des Patentanspruches 1 des Klagepatents bed\u00fcrfen angesichts des Streites der Parteien die Merkmale der Gruppe 5 besonderer Er\u00f6rterung.<\/p>\n

Die Lehre der Merkmale 5 a) bis d) bewirkt, dass der Wafertr\u00e4ger nach seinem Einrasten an der Transportvorrichtung – vgl. Merkmal 4 a) – nicht mit der gesamten Fl\u00e4che der Kontaktschienen auf der Transporteinrichtung steht, sondern dass es hier allenfalls zu einer linienf\u00f6rmigen Ber\u00fchrung kommen kann. Um das zu erreichen, sollen die Kontaktschienen gem\u00e4\u00df Merkmal 5 a) zun\u00e4chst einmal \u201eim Wesentlichen flach\u201c sein, d.h. sie sollen nicht nur in ihrer L\u00e4ngsausdehnung m\u00f6glichst eben verlaufen, sondern sollen auch in ihrer Querausdehnung m\u00f6glichst nicht gew\u00f6lbt, sondern ebenfalls m\u00f6glichst eben sein, womit sie – in L\u00e4ngsrichtung gesehen – zwei verh\u00e4ltnism\u00e4\u00dfig scharfe Kanten aufweisen, von denen eine unmittelbar entlang der in Merkmal 2 genannten \u00d6ffnung (11), also innen, verl\u00e4uft \u2013 Merkmal 5 b) \u2013 und die andere in dem davon abgewandten Bereich, also au\u00dfen \u2013 Merkmal 5 c) -. Weil die Oberfl\u00e4che der Kontaktschienen dar\u00fcber hinaus etwas \u201egekippt\u201c ist, so dass diese Schienen, wie es Merkmal 5 d) vorschreibt, \u201evon der Innenkante zur Au\u00dfenkante abfallen\u201c, gelangt allenfalls die Innenkante in Ber\u00fchrung mit der Transportvorrichtung.<\/p>\n

Damit allein begn\u00fcgt sich Anspruch 1 des Klagepatents aber noch nicht, um einen \u201eWackelstuhl\u201c-Effekt auch ohne die Beachtung eines \u201eschmalen Fensters\u201c von Formgebungsprozessparametern zu verhindern. Vielmehr lehrt er dar\u00fcber hinaus \u2013 Merkmal 5 e) mit den Untermerkmalen aa) und bb) -, jeweils an einem Ende der Kontaktschienen eine hervorstehende Rampe anzubringen, d.h. jedenfalls einen Teil (in der Breitenausdehnung gesehen) der Kontaktschienen zu einem Ende hin ansteigen zu lassen. Das hat zur Folge, dass nicht die gesamte Innenkante der Kontaktschiene auf der Transporteinrichtung aufsteht, sondern nur der letzte \u2013 oberste \u2013 Teil der Rampe (welche denjenigen Teil der Kontaktschiene, in welchem sie \u2013 die Rampe \u2013 verl\u00e4uft, etwas anhebt) sowie das entgegengesetzte Ende der Kontaktschiene, d.h. das Ende des \u201ezweiten Abschnitts\u201c. Das wird in Merkmal 5 f) \u2013 mit den Untermerkmalen aa) und bb) \u2013 hervorgehoben.<\/p>\n

Dem vom Klagepatent angesprochenen Durchschnittsfachmann ist dabei ohne weiteres klar, dass der im Patentanspruch genannte Begriff \u201eKontaktpunkte\u201c nicht echte \u201ePunkte\u201c \u2013 d.h. Stellen, die keinerlei Fl\u00e4che bilden \u2013 meint, sondern lediglich besagen will, dass zwar jede Kontaktschiene auf zwei \u201eFl\u00e4chen\u201c aufsteht, dass aber diese Fl\u00e4chen nur sehr klein sein sollen. Weil die Beschreibung des Klagepatents den in Figur 1 der Klagepatentschrift dargestellten Wafertr\u00e4ger des Standes der Technik auch dann als unbefriedigend bezeichnet, wenn er die mit der Bezugszahl 49 versehenen \u201eNoppen, Kn\u00f6pfe oder Konsolen\u201c aufweise \u2013 wobei es dahingestellt bleiben kann, ob es im Stand der Technik am Priorit\u00e4tstage des Klagepatents tats\u00e4chlich eine derartige Ausf\u00fchrungsform gab -, erkennt der Durchschnittsfachmann, dass die als \u201eKontaktpunkte\u201c bezeichneten Aufstandsfl\u00e4chen des erfindungsgem\u00e4\u00dfen Wafertr\u00e4gers deutlich kleiner sein sollen als die in Figur 1 mit der Bezugszahl 49 bezeichneten Fl\u00e4chen.<\/p>\n

Welche genaue H\u00f6he die \u201ehervorstehende\u201c – vgl. Merkmal 5 e) – Rampe haben soll, gibt Anspruch 1 des Klagepatents nicht an; damit befassen sich erst die Unteranspr\u00fcche 5 und 7, wobei Anspruch 5 eine H\u00f6he der Rampe von 0,25 mm bis
\n0,5 mm nennt und Anspruch 7 eine solche von \u201eungef\u00e4hr\u201c 0,46 mm, wie sie nach Spalte 5, Zeile 19 der Klagepatentschrift bei dem in den Figuren 5 bis 7 dargestellten Ausf\u00fchrungsbeispiel gegeben ist.<\/p>\n

Der Durchschnittsfachmann wird jedoch erkennen, dass die Rampe jedenfalls deutlich h\u00f6her sein muss als die Toleranz, die nach den in der Klagepatentschrift genannten SEMI-Standards f\u00fcr den Abstand D 1 (vgl. Figur 2 der Klagepatentschrift) zul\u00e4ssig ist und die bei 0,13 mm liegt. Denn nur in einem solchen Fall ist gew\u00e4hrleistet, dass der erfindungsgem\u00e4\u00dfe Wafertr\u00e4ger auch dann nicht \u201ewackelt\u201c, wenn man ein \u201ebreites Fenster\u201c an Formgebungsprozessparametern zur Verf\u00fcgung hat, sich also bei der Herstellung des Tr\u00e4gers nicht unbedingt innerhalb eines ganz engen Rahmens f\u00fcr derartige Parameter halten muss. Der Durchschnittsfachmann wird daher annehmen, die Mindesth\u00f6he der Rampe nach Anspruch 1 liege jedenfalls nicht wesentlich unter den im Anspruch 5 als Mindesth\u00f6he genannten 0,25 mm. Dabei wird er auch erkennen, dass sich der mit der Rampe erfindungsgem\u00e4\u00df verfolgte Zweck, n\u00e4mlich die jeweilige Kontaktschiene an ihrem einen Ende so weit anzuheben, dass sie zuverl\u00e4ssig auf zwei \u201eKontaktpunkten\u201c steht \u2013 d.h. einerseits auf dem letzten Teil der Rampe und andererseits auf dem letzten Teil der Innenkante des \u201ezweiten Abschnitts\u201c der Kontaktschiene -, nur dann erreichen l\u00e4sst, wenn die Rampe einen nicht zu kleinen Steigungswinkel hat; das bedeutet, dass die Rampe um so k\u00fcrzer sein muss, je weniger hoch sie ist.<\/p>\n

2.<\/p>\n

Von der oben dargelegten Lehre des Klagepatents macht der angegriffene Wafertr\u00e4ger der Beklagten keinen Gebrauch.<\/p>\n

Nach der von der Kl\u00e4gerin in der m\u00fcndlichen Verhandlung vor dem Senat gegebenen Darstellung sollen bei den Kontaktschienen der angegriffenen Wafertr\u00e4ger \u201eRampen\u201c jeweils etwa in der Mitte (d.h. am Gipfelpunkt) der in der Anlage ROP 8 dargestellten Kurven beginnen und jeweils an den Enden der Kontaktschienen ihren h\u00f6chsten Punkt erreichen. Bei einer solchen Betrachtung w\u00fcrden sich zwar \u201eRampen\u201c mit einer H\u00f6he von jeweils etwa 0,6 mm ergeben, die als \u201ehervorstehend\u201c im Sinne des Merkmals 5 e) angesehen werden k\u00f6nnten; entgegen der Lehre des Klagepatents – Merkmal 5 e) – wiese dann aber jede Kontaktschiene statt \u201eeiner\u201c Rampe deren zwei auf, n\u00e4mlich au\u00dfer einer Rampe, die \u2013 in \u00dcbereinstimmung mit Merkmal 5 e) \u2013 am Ende des ersten Abschnitts jeder Kontaktschiene anfinge und sich bis zu einem Punkt zwischen dem ersten und dem zweiten Abschnitt erstreckte, auch noch eine weitere, die am Ende des zweiten Abschnitts anfinge und sich ebenfalls bis zu einem Punkt zwischen dem ersten und dem zweiten Abschnitt erstreckte; vor allem jedoch w\u00e4re bei einer solchen Betrachtung auch das Merkmal 5 a) nicht erf\u00fcllt, weil die Kontaktschienen dann nicht \u201eim Wesentlichen flach\u201c w\u00e4ren, denn sie w\u00fcrden in ihrem L\u00e4ngsverlauf nicht in etwa eben, sondern eindeutig und \u00fcber ihre gesamte L\u00e4nge gekr\u00fcmmt verlaufen.<\/p>\n

Wollte man dagegen annehmen, nur jeweils der ziemlich flach verlaufende erste Teil der in der Anlage ROP 8 dargestellten Kurven (etwa von 0 cm bis 3 cm) zeige die \u201eRampen\u201c, dann h\u00e4tten diese eine H\u00f6he von weniger als 0,1 mm und w\u00e4ren daher nicht im Sinne des Merkmals 5 e) \u201ehervorstehend\u201c.<\/p>\n

Des weiteren weist der als Anlage K 6 vorgelegte Wafertr\u00e4ger auch an den Enden der Kontaktschienen keine \u201eKontaktpunkte\u201c im Sinne des Merkmals 5 f) auf, sondern jeweils Fl\u00e4chen, die etwa so gro\u00df sind wie die in Figur 1 der Klagepatentschrift gezeigten \u201eNoppen, Kn\u00f6pfe oder Konsolen\u201c, bei denen es sich nach dem eindeutigen Inhalt der Klagepatentschrift gerade nicht um die erfindungsgem\u00e4\u00dfen \u201eKontaktpunkte\u201c handelt. Dass die genannten Fl\u00e4chen bei dem angegriffenen Wafertr\u00e4ger eine solche Gr\u00f6\u00dfe haben, zeigt sich, wenn man den Wafertr\u00e4ger auf eine ebene Fl\u00e4che stellt und ein Blatt Papier von etwa 0,1 mm Dicke \u2013 d.h. mit einer solchen, die etwa der nach den SEMI-Standards zugelassenen Toleranz bei dem Abstand D 1 (= Figur 2 der Klagepatentschrift) entspricht \u2013 unter die Kontaktschienen schiebt. Einen solchen Versuch hat die Kl\u00e4gerin selbst im ersten Rechtszug zun\u00e4chst als geeignet angesehen, um zu ermitteln, ob der Wafertr\u00e4ger \u201eKontaktpunkte\u201c aufweist, und zwar nicht erst in der m\u00fcndlichen Verhandlung vor dem Landgericht ( in der andere Mittel als ein Blatt Papier nicht zur Verf\u00fcgung gestanden haben m\u00f6gen), sondern auch schon vorher, wie sich aus ihrem Schriftsatz vom 26. Februar 2002 ergibt, in welchem sie sich auf einen solchen Versuch unter Verwendung eines Blattes Papier berufen hat (vgl. a.a.O., S 4, Bl. 56 GA). Bei einem derartigen Versuch ergeben sich jeweils in der N\u00e4he der Enden der Kontaktschienen Bereiche, in denen sich das Blatt Papier nicht mehr unter die Schiene schieben l\u00e4sst, die also einen Abstand von weniger als 0,1 mm von der Fl\u00e4che haben, auf welcher der Wafertr\u00e4ger steht. Diese Bereiche haben jeweils eine L\u00e4nge von etwa 1,5 bis 2 cm und k\u00f6nnen auf keinen Fall mehr als \u201eKontaktpunkte\u201c im Sinne des Klagepatents angesehen werden.<\/p>\n

Dass man mit Hilfe eines Versuches der genannten Art dann, wenn man statt eines Blattes Papier etwas nimmt, was mit etwa 0,01 mm nur ungef\u00e4hr ein Zehntel der Dicke eines solchen Blattes aufweist \u2013 wie es die Kl\u00e4gerin im Verlauf dieses Rechtsstreits sp\u00e4ter getan hat -, zu \u201eKontaktpunkten\u201c kommen mag, die deutlich kleiner sind, ist ohne Bedeutung, weil sich erfindungsgem\u00e4\u00df die \u201eKontaktpunkte\u201c auch und gerade dann ergeben m\u00fcssen, wenn man die nach den SEMI-Standards zugelassenen Toleranzen (von 0,13 mm) ber\u00fccksichtigt, also nur die Bereiche der Kontaktschienen betrachtet, die einen Abstand von maximal etwa 0,1 mm zu der Ebene haben, auf welcher der Wafertr\u00e4ger steht.<\/p>\n

Der von der Kl\u00e4gerin geltend gemachte Umstand, dass die Wafertr\u00e4ger der Beklagten den Anforderungen der SEMI-Standards entsprechen, kann f\u00fcr sich allein nicht dazu f\u00fchren, sie als patentverletzend anzusehen; denn der genannte Umstand kann ebensogut darauf beruhen, dass die Beklagten nur ein \u201eschmales Fenster an Formgebungsprozessparametern\u201c bei der Herstellung der Wafertr\u00e4ger angewendet haben, was nach den Ausf\u00fchrungen der Klagepatentschrift durch die Erfindung gerade entbehrlich gemacht werden soll. Dass sich auch mit den Mitteln des Standes der Technik am Priorit\u00e4tstage des Klagepatents Wafertr\u00e4ger herstellen lie\u00dfen, die den SEMI-Standards gen\u00fcgten, ergibt sich nicht zuletzt aus der Beschreibung des Klagepatents selbst. Der von der Kl\u00e4gerin besonders hervorgehobene Sachverhalt, dass bei allen von ihr untersuchten Wafertr\u00e4gern aus der Produktion der Beklagten die Ma\u00dfe praktisch gleich seien, spricht eher f\u00fcr ein bei deren Produktion angewandtes \u201eschmales Fenster von Formgebungsprozessparametern\u201c als f\u00fcr das bei einer erfindungsgem\u00e4\u00dfen Ausgestaltung zur Verf\u00fcgung stehende \u201ebreite Fenster\u201c.<\/p>\n

Hat damit das Landgericht die Klage mit Recht abgewiesen, so war die Berufung mit der Kostenfolge aus \u00a7 97 Abs. 1 ZPO zur\u00fcckzuweisen. Die Entscheidung \u00fcber die vorl\u00e4ufige Vollstreckbarkeit beruht auf \u00a7\u00a7 708 Nr. 10, 711, 108 ZPO.<\/p>\n

Zu einer Zulassung der Revision besteht kein Anlass, weil die gesetzlichen Voraussetzungen daf\u00fcr (\u00a7 543 Abs. 2 ZPO) nicht vorliegen: Weder hat die Rechtssache \u2013 als reine Einzelfallentscheidung \u2013 grunds\u00e4tzliche Bedeutung noch erfordert die Fortbildung des Rechts oder die Sicherung einer einheitlichen Rechtsprechung eine Entscheidung des Revisionsgerichts.<\/p>\n

R1 R2 Dr. R3
\nVorsitzender Richter Richter am Richter am
\nam Oberlandesgericht Oberlandesgericht Oberlandesgericht<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

D\u00fcsseldorfer Entscheidung Nr.:\u00a0284 Oberlandesgericht D\u00fcsseldorf Urteil vom 18. M\u00e4rz 2004, Az. 2 U 113\/02<\/p>\n","protected":false},"author":25,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[45,20],"tags":[],"class_list":["post-4732","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-2004-olg-duesseldorf","category-olg-duesseldorf"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/4732","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/25"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=4732"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/4732\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":4733,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/4732\/revisions\/4733"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=4732"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=4732"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=4732"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}