{"id":4127,"date":"2006-11-09T17:00:23","date_gmt":"2006-11-09T17:00:23","guid":{"rendered":"https:\/\/www3.hhu.de\/duesseldorfer-archiv\/?p=4127"},"modified":"2016-04-29T16:18:52","modified_gmt":"2016-04-29T16:18:52","slug":"4a-o-43505-fluidspeicher","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/d-prax.de\/?p=4127","title":{"rendered":"4a O 435\/05 – Fluidspeicher"},"content":{"rendered":"
\n
\n
\n
D\u00fcsseldorfer Entscheidung Nr.:\u00a0528<\/strong><\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n

Landgericht D\u00fcsseldorf
\nTeilurteil vom 9. November 2006, Az. 4a O 435\/05<\/p>\n

I.
\nDie Klage wird abgewiesen.<\/p>\n

II.
\nDie Kostenentscheidung bleibt dem Schlussurteil vorbehalten.<\/p>\n

T a t b e s t a n d<\/p>\n

Die Parteien sind Wettbewerber auf dem Gebiet der Belieferung der Halbleiterindustrie mit speziellen Fluiden, insbesondere Gasen. Diese Fluide werden in unter Druck stehenden Beh\u00e4ltern geliefert, die als Speicher- und Ausgabevorrichtung dienen.<\/p>\n

Die Kl\u00e4gerin ist eingetragene Inhaberin des europ\u00e4ischen Patentes X (Anlage K 3a, deutsche \u00dcbersetzung Anlage K 11, nachfolgend Klagepatent), dessen Verfahrenssprache Englisch ist. Das Klagepatent, das auch mit Wirkung f\u00fcr die Bundesrepublik Deutschland erteilt wurde, wird beim Deutschen Patent- und Markenamt unter der Registernummer DE X gef\u00fchrt. Das Klagepatent wurde am 28. April 1999 unter Inanspruchnahme der US-Priorit\u00e4t X vom 28. April 1998 angemeldet. Die Offenlegung der Anmeldung erfolgte am 4. November 1999. Die Patenterteilung wurde am 28. September 2005 ver\u00f6ffentlicht.<\/p>\n

Das Klagepatent betrifft ein Lagerungs- und Verteilungssystem f\u00fcr Fl\u00fcssigkeiten. Die f\u00fcr den Rechtsstreit ma\u00dfgeblichen Patentanspr\u00fcche 1 und 14 haben in der ver\u00f6ffentlichten deutschen \u00dcbersetzung folgenden Wortlaut:<\/p>\n

Patentanspruch 1<\/p>\n

Fluidspeicher- und Ausgabevorrichtung (10, 110, 300) f\u00fcr die Halbleiterherstellung mit:<\/p>\n

einem Fluidspeicher- und Ausgabebeh\u00e4lter (12, 112, 302), der ein Innenvolumen (22, 133, 324) bestimmt zum Bereithalten eines unter Druck stehenden Fluids und einen Auslassanschluss (22, 133, 324) besitzt, und<\/p>\n

einem in dem Innenvolumen (15, 328) des Beh\u00e4lters angebrachten und mit dem Anschluss in Verbindung stehenden Ventil (26, 332), gekennzeichnet dadurch<\/p>\n

das Ventil (26, 332), das so lange geschlossen bleibt, um das Ausgeben von Fluid aus dem Beh\u00e4lter (12, 112, 302) durch den Anschluss zu verhindern, bis das Ventil ein unter subatmosph\u00e4rischem Druck stehendes Gas von au\u00dferhalb des Beh\u00e4lters erh\u00e4lt, und auf den Erhalt des unter subatmosph\u00e4rischem Druck stehenden Gases hin sich \u00f6ffnet; und<\/p>\n

der subatmosph\u00e4rische Gasdruck einen vorbestimmten Wert nicht \u00fcberschreitet.<\/p>\n

Patentanspruch 14<\/p>\n

Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterproduktes unter Verwendung eines Halbleiterprozessfluids, das in einem unter Druck stehenden Beh\u00e4lter (12, 112, 324) mit einem das Fluid enthaltenden Innenvolumen (15, 328) enthalten ist,<\/p>\n

dadurch gekennzeichnet, dass<\/p>\n

das Fluid in dem Innenvolumen durch einen Druckregler (28, 332) eingegrenzt ist, der in dem Innenvolumen in einer Fluidflussbahn (334, 336, 332, 330, 320) angeordnet ist, und die Fluidflussbahn durch den Druckregler gegen\u00fcber einem Fluidfluss stromabw\u00e4rts des Druckreglers geschlossen ist,<\/p>\n

das eingegrenzte Fluid durch \u00d6ffnen der Fluidflussbahn durch den Druckregler hindurch und stromabw\u00e4rts desselben selektiv ausgegeben wird, und das Fluid mit einem durch den Fluiddruckregler bestimmten Durchsatz ausgelassen wird;<\/p>\n

das Fluid zu einer Halbleiterherstellungseinrichtung (200) geleitet wird;<\/p>\n

bei dem der Ausgabeschritt das Zuf\u00fchren von Gas zu dem Druckregler bei oder unterhalb eines spezifizierten subatmosph\u00e4rischen Drucks aufweist, und bei dem der Druckregler so eingestellt ist, dass der Druck des ausgegebenen Fluids auf den subatmosph\u00e4rischen Druck reguliert ist.<\/p>\n

Gegen den Rechtsbestand des Klagepatentes legte die Beklagte zu 2. unter dem 28. September 2005 Einspruch beim Europ\u00e4ischen Patentamt ein, \u00fcber den noch nicht entschieden worden ist.<\/p>\n

Nachfolgend abgebildet sind zeichnerische Darstellungen bevorzugter Ausf\u00fchrungsformen der Erfindung, welche aus der Klagepatentschrift stammen. Figur 1 zeigt eine schematische Seitenansicht eines Fluidspeicher- und Ausgabesystems im Querschnitt, Figur 3 eine schematische Seitenansicht und Figur 6 eine teilweise geschnittene Ansicht des Reglers des Fluidspeicher- und Ausgabesystems gem\u00e4\u00df der Figur 3.<\/p>\n

Die Beklagten bewerben und vertreiben unter der Bezeichnung \u201eX\u201c in Deutschland Produkte f\u00fcr die Speicherung und Ausgabe von toxischen Gasen, die bei der Halbleiterherstellung verwendet werden.<\/p>\n

Die Produkte der Beklagten werden in einem Artikel beschrieben, welchen die Kl\u00e4gerin als Anlage K 6 zur Gerichtsakte gereicht hat. Es handelt sich hierbei um einen Nachdruck eines Artikels, der auf der Vierzehnten Internationalen Konferenz f\u00fcr Ionenimplantationstechnologie ver\u00f6ffentlicht wurde und von Mitarbeitern der Unternehmensgruppe der Beklagten mitverfasst wurde. Nachfolgend abgebildet ist die aus der Publikation stammende Figur I, welche den Aufbau der streitgegenst\u00e4ndlichen Vorrichtung wiedergibt.<\/p>\n

Der Aufbau des angegriffenen X-Produktes ergibt sich ferner aus der als Anlage K 7 vorgelegten Pr\u00e4sentation, worauf Bezug genommen wird. Auf den Seiten 3 und 4 der Anlage werden die X-Produkte beschrieben. Nachfolgend abgebildet ist Seite 6, welche den Aufbau und die Funktionsweise des Ventils zeigt, sowie Seite 9, welches ein Diagramm betreffend die Wirkungsweise des Ger\u00e4tes unter Testbedingungen wiedergibt.<\/p>\n

Gezeigt wird nachfolgend schlie\u00dflich der Graph 1A aus der als Anlage B 5 von der Beklagten vorgelegten Untersuchung ihres Mitarbeiters Doug Heiermann, das in dem von der Beklagten als Anlage B 10 eingereichten Gutachten von Professor Dr. X vom 3.7.2006 auf Seite 9 als Bild 5 \u201eAbnehmender Druckverlauf des X-Ventils bei ansteigendem Durchfluss unter nor\u00acmalen Betriebsbedingungen\u201c wiedergegeben ist.<\/p>\n

Die Kl\u00e4gerin vertritt die Auffassung, dass das X- Ger\u00e4t von der in Patentanspruch 1 unter Schutz gestellten Lehre wortsinngem\u00e4\u00dfen Gebrauch mache. Daher liege in den Vertriebshandlungen der Beklagten eine unmittelbare Verletzung des Klagepatentes. Au\u00dferdem begingen die Beklagten eine mittelbare Verletzung des in Patentanspruch 14 gesch\u00fctzten Gegenstandes, indem sie ihr Produkt zur Benutzung des darin unter Schutz gestellten Verfahrens vertrieben.<\/p>\n

Die Kl\u00e4gerin beantragt,<\/p>\n

I.
\ndie Beklagten zu verurteilen,<\/p>\n

1.
\nes bei Meidung eines vom Gericht f\u00fcr jeden Fall der Zuwiderhandlung festzusetzenden Ordnungsgeldes bis zu 250.000,- Euro, ersatzweise Ordnungshaft bis zu sechs Monaten, oder eine Ordnungshaft bis zu sechs Monaten, im Falle wiederholter Zuwiderhandlung bis zu insgesamt zwei Jahren, in der Bundesrepublik Deutschland zu unterlassenen,<\/p>\n

a) eine Fluidspeicher- und Ausgabevorrichtung f\u00fcr die Halbleiterherstellung mit: einem Fluidspeicher- und Ausgabebeh\u00e4lter, der ein Innenvolumen bestimmt zum Bereithalten eines unter Druck stehenden Fluides und einen Auslassanschluss besitzt, und einem in dem Innenvolumen des Beh\u00e4lters angebrachten und mit dem Anschluss in Verbindung stehenden Ventil, gekennzeichnet durch das Ventil, das so lange geschlossen bleibt, um das Ausgeben von Fluid aus dem Beh\u00e4lter durch den Anschluss zu verhindern, bis das Ventil ein unter subatmosph\u00e4rischem Druck stehendes Gas von au\u00dferhalb des Beh\u00e4lters erh\u00e4lt, und auf den Erhalt des unter subatmosph\u00e4rischem Druck stehenden Gases hin sich \u00f6ffnet; und der subatmosph\u00e4rische Gasdruck einen vorbestimmten Wert nicht \u00fcberschreitet,<\/p>\n

anzubieten, in Verkehr zu bringen oder zu gebrauchen oder zu den genannten Zwecken einzuf\u00fchren oder zu besitzen,<\/p>\n

und\/oder<\/p>\n

b) einen mit mindestens einem Ventil versehenen Druckbeh\u00e4lter<\/p>\n

zur Verwendung in einem Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterproduktes unter Verwendung eines Halbleiterprozessfluids, das in einem unter Druck stehenden Beh\u00e4lter mit einem das Fluid enthaltenden Innenvolumen enthalten ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Fluid in dem Innenvolumen durch einen Druckregler eingegrenzt ist, der in dem Innenvolumen in einer Fluidflussbahn angeordnet ist, und die Fluidflussbahn durch den Druckregler gegen\u00fcber einem Fluidfluss stromabw\u00e4rts von dem Druckregler geschlossen ist; das eingegrenzte Fluid durch \u00d6ffnen der Fluidflussbahn durch den Druckregler hindurch und stromabw\u00e4rts von demselben selektiv ausgegeben wird, und das Fluid mit einem durch den Fluiddruckregler bestimmten Durchsatz ausgelassen wird, das Fluid zu einer Halbleiterherstellungseinrichtung geleitet wird; bei dem der Ausgabeschritt das Zuf\u00fchren von Gas zu dem Druckregler bei oder unterhalb eines spezifizierten subatmosph\u00e4rischen Drucks aufweist, und wobei der Druckregler so eingestellt ist, dass der Druck des ausgegebenen Fluids auf den subatmosph\u00e4rischen Druck reguliert ist,<\/p>\n

im Bereich der Bundesrepublik Deutschland Dritten zur Benutzung dort selbst anzubieten oder zu liefern;<\/p>\n

2.
\nder Kl\u00e4gerin unter Vorlage eines einheitlichen, geordneten Verzeichnisses vollst\u00e4ndig und wahrheitsgem\u00e4\u00df dar\u00fcber Rechnung zu legen, in welchem Umfang die Beklagten die unter Ziffer I. 1. a) und b) bezeichneten Handlungen seit dem 28.10.2005 begangen haben, und zwar unter Angabe<\/p>\n

a) der Menge der erhaltenen oder bestellten Erzeugnisse, sowie der Namen und Anschriften der Hersteller, Lieferanten und anderer Vorbesitzer,<\/p>\n

b) der einzelnen Lieferungen, aufgeschl\u00fcsselt nach Liefermengen, -zeiten und \u2013preisen und Typenbezeichnungen sowie den Namen und Anschriften der Abnehmern,<\/p>\n

c) der einzelnen Angebote, aufgeschl\u00fcsselt nach Angebotsmengen, -zeiten und Typenbezeichnungen sowie den Namen und Anschriften der Angebotsempf\u00e4nger,<\/p>\n

d) der betriebenen Werbung, aufgeschl\u00fcsselt nach Werbetr\u00e4gern, deren Auflagenh\u00f6he, Verbreitungszeitraum und Verbreitungsgebiet,<\/p>\n

e) der nach den einzelnen Kostenfaktoren aufgeschl\u00fcsselten Gestehungskosten und des erzielten Gewinns,<\/p>\n

wobei den Beklagten vorbehalten bleibt, die Namen und Anschriften der blo\u00dfen Angebotsempf\u00e4nger und der nicht gewerblichen Abnehmer statt der Kl\u00e4gerin einem von der Kl\u00e4gerin zu bezeichnenden, ihr gegen\u00fcber zur Verschwiegenheit verpflichteten vereidigten Wirtschaftspr\u00fcfer mitzuteilen, sofern die Beklagten dessen Kosten tragen und ihn erm\u00e4chtigen und verpflichten, der Kl\u00e4gerin auf konkrete Anfrage mitzuteilen, ob ein bestimmter Abnehmer oder Angebotsempf\u00e4nger in der Aufstellung enthalten ist.<\/p>\n

II.
\nfestzustellen, dass die Beklagten gesamtschuldnerisch verpflichtet sind, der Kl\u00e4gerin allen Schaden zu ersetzen, der ihr durch die In Ziff. I. 1. a) und b) bezeichneten und seit dem 28.10.2005 begangenen Handlungen entstanden ist und noch entstehen wird.<\/p>\n

Die Beklagten beantragen,<\/p>\n

die Klage abzuweisen<\/p>\n

hilfsweise<\/p>\n

die Verhandlung bis zur erstinstanzlichen Entscheidung \u00fcber den gegen das Klagepatent eingelegten Einspruch auszusetzen.<\/p>\n

Sie stellen eine mittelbare Verletzung des Patentanspruchs 14 in Abrede, weil das darin gesch\u00fctzte Verfahren mit ihrem Produkt nicht ausge\u00fcbt werden k\u00f6nne. Dieses mache vielmehr von einem andersartigen Verfahren Gebrauch.<\/p>\n

Der Begriff des Ventils in Patentanspruch 1 sei als Druckregelventil zu verstehen, mit der Folge, dass das X-Produkt den Gegenstand des Patentanspruchs 1 nicht verwirkliche. Folge man dieser Auslegung nicht, werde sich Patentanspruch 1 als nicht rechtsbest\u00e4ndig erweisen, weshalb die Verhandlung jedenfalls auszusetzen sei.<\/p>\n

Die Kammer hat mit parallel zu diesem Teilurteil verk\u00fcndetem Beschluss die Verhandlung im Hinblick auf die Antr\u00e4ge, die auf eine unmittelbare Verletzung des Patentanspruchs 1 des Klagepatents gest\u00fctzt sind (Antr\u00e4ge zu I. 1.) a) und darauf bezogene Antr\u00e4ge zu I. 2.) und II.) ausgesetzt.<\/p>\n

Wegen des weiteren Sach- und Streitstandes wird auf die zwischen den Parteien gewechselten Schrifts\u00e4tze nebst Anlagen verwiesen.<\/p>\n

E n t s c h e i d u n g s g r \u00fc n d e :<\/p>\n

Die Klage ist, soweit die Antr\u00e4ge auf eine mittelbare Verletzung des Verfahrensanspruchs 14 gest\u00fctzt werden (Klageantr\u00e4ge zu I. 1. b) sowie darauf zur\u00fcckbezogene Klageantr\u00e4ge zu I. 2. und II.), entscheidungsreif. Insoweit ist die Klage zul\u00e4ssig, aber nicht begr\u00fcndet.<\/p>\n

I.<\/p>\n

Das Klagepatent sch\u00fctzt in Patentanspruch 14 ein Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterprodukts unter Verwendung eines Halbleiterprozessfluids, das in einem unter Druck stehenden Beh\u00e4lter mit einem das Fluid enthaltenden Innenvolumen enthalten ist.<\/p>\n

Zum technischen Hintergrund der Erfindung f\u00fchrt das Klagepatent einleitend aus, dass bei unterschiedlichen industriellen Prozessen und Applikationen Bedarf f\u00fcr eine zuverl\u00e4ssige Quelle eines Prozessfluids besteht. Solche Prozess- und Applikationsbereiche umfassen die Halbleiterherstellung, die Ionenimplantation, die Herstellung von Flachbildschirmen und andere Anwendungen. Gerade bei der Halbleiterherstellung werden hochtoxische Gase wie Arsin benutzt, die in unter Druck stehenden Beh\u00e4ltern gelagert werden. Da das Austreten solcher Gase in die Atmosph\u00e4re h\u00f6chst gef\u00e4hrlich ist, ist der Schutz vor einem solchen Austreten von h\u00f6chster Wichtigkeit.<\/p>\n

Verschiedene Steuerungsmechanismen werden benutzt, um die Abgabe von toxischen Gasen aus den Beh\u00e4ltern zu steuern. Bei den im Stand der Technik bekannten Steuerungsmechanismen war die Sicherheit durch deren Ausgestaltung und Anordnung gef\u00e4hrdet, weil sie lagen und empfindlich f\u00fcr Besch\u00e4digungen waren. Insbesondere war es im Stand der Technik so, dass das toxische Gas in die Atmosph\u00e4re mit potentiell katastrophalen Folgen austreten konnte, wenn der au\u00dfen liegende Teil des Mechanismus besch\u00e4digt wurde oder man ihn unsachgem\u00e4\u00df behandelte.<\/p>\n

Das franz\u00f6sische Patent X, das in der Beschreibung des Klagepatents als n\u00e4chstliegender Stand der Technik angesehen wird, beschreibt ein Druckreduzierger\u00e4t zum Ausgeben verfl\u00fcssigter Petroleumgase (Butan oder Propan), die in einer Flasche gehalten werden. Das Gas wird aus einem Auslass ausgegeben, nachdem es durch eine erste Druckreduzierstufe zu einer zweiten Stufe, die ein steuerbares Venturi-Ventil aufweist, gelangt ist. Das Venturi-Ventil wird \u00fcber eine federbelastete Membran gesteuert, um den Druck des Gases, das den Auslass verl\u00e4sst, auf einen im Wesentlichen konstanten Pegel oberhalb des atmosph\u00e4rischen Drucks zu regulieren.<\/p>\n

Das Klagepatent macht es sich zum Ziel, neben einem verbesserten Fluid\u00acspeicher- und Ausgabesystem f\u00fcr das selektive Ausgeben von Gasen ein verbessertes Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterproduktes unter Verwendung eines Halbleiterprozessfluids mit folgenden Merkmalen vorzuschlagen.<\/p>\n

1. Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterproduktes unter Verwendung eines Halbleiterprozessfluids, das in einem unter Druck stehenden Beh\u00e4lter (12, 112, 324) mit einem das Fluid enthaltenden Innenvolumen (15, 328) enthalten ist;<\/p>\n

2. das Fluid ist in dem Innenvolumen durch einen Druckregler (28, 332) eingegrenzt, der in dem Innenvolumen in einer Fluidflussbahn (334, 336, 332, 330, 320) angeordnet ist, und die Fluidflussbahn ist durch den Druckregler gegen\u00fcber einem Fluidfluss stromabw\u00e4rts des Druckreglers geschlossen;<\/p>\n

3. das eingegrenzte Fluid wird durch \u00d6ffnen der Fluidflussbahn durch den Druckregler hindurch und stromabw\u00e4rts desselben selektiv ausgegeben und mit einem durch den Fluiddruckregler bestimmten Durchsatz ausgelassen;<\/p>\n

4. das Fluid wird zu einer Halbleiterherstellungseinrichtung (200) geleitet;<\/p>\n

5. bei dem Verfahren weist der Ausgabeschritt das Zuf\u00fchren von Gas zu dem Druckregler bei oder unterhalb eines spezifizierten subatmosph\u00e4rischen Druckes auf, und ist der Druckregler so eingestellt, dass der Druck des ausgegebenen Fluids auf den subatmosph\u00e4rischen Druck reguliert ist.<\/p>\n

II.<\/p>\n

Die angegriffene Ausf\u00fchrungsform macht von dem in Patentanspruch 14 unter Schutz gestellten Verfahren keinen Gebrauch. Es fehlt an einer Verwirklichung der Merkmale 3 und 5.<\/p>\n

Die in Patentanspruch 14 beschriebene Verfahrenslehre sieht vor, dass der Druck\u00acregler, welcher in dem Innenvolumen in einer Fluidflussbahn angeordnet ist, das in dem Innenvolumen enthaltene Fluid eingrenzt und die Fluidflussbahn durch den Druckregler gegen\u00fcber einem Fluidfluss stromabw\u00e4rts des Druckreglers geschlossen ist, Merkmal 2. Das Fluid wird also durch den geschlossenen Druckregler in dem Innenvolumen des unter Druck stehenden Beh\u00e4lters gehalten.<\/p>\n

Dem Regler kommt aber nicht nur die Funktion zu, die Fluidbahn stromabw\u00e4rts geschlossen zu halten. Vielmehr soll es dar\u00fcber hinaus auch m\u00f6glich sein, das eingegrenzte Fluid durch \u00d6ffnen der Fluidflussbahn durch den Druckregler hindurch und stromabw\u00e4rts selektiv auszugeben und das Fluid mit einem durch den Fluiddruckregler bestimmten Durchsatz auszulassen, wie Merkmal 3 entnommen werden kann. Dabei ist die M\u00f6glichkeit der selektiven Fluidausgabe mit einem bestimmten Durchsatz kein Zweck an sich, sondern in Verbindung mit den in Merkmal 5 gestellten Anforderungen zu sehen. Danach soll zum Einen das Fluid bei einem bestimmten subatmosph\u00e4rischen Druck ausgegeben werden und zum Anderen der Druck des ausgegebenen Fluids auf diesen bestimmten subatmosph\u00e4rischen Druck reguliert sein. Dieser Zusammenhang wird in der Beschreibung beispielhaft anhand eines Druckreglers beliebiger Art veranschaulicht. Der Druckregler kann von der Art eines Tellerventils sein, welches ein Tellerelement aufweist, das zu einem Sitzaufbau hin vorgespannt ist, um einen Fluss des Fluids bei einem Druck oberhalb eines Sollwertes zu vermeiden. Der Fluiddruckregler kann dar\u00fcber hinaus auf einen geeigneten Pegel von etwa 700 Torr eingestellt werden, um einen Fluss von ausgegebenem Fluid aus dem Speicher und Ausgabebeh\u00e4lter bei einem solchen Sollwertdruckpegel vorzusehen (vgl. Anlage K 3, S. 16, Abs. 1; S. 20, Abs. 1). Der Druckregler bewirkt also nicht nur ein \u00d6ffnen des Ventils, wenn ein bestimmter subatmosph\u00e4rischer Drucksollwert erreicht ist, sondern reguliert dar\u00fcber hinaus den Druckpegel des ausgegebenen Fluids auf diesen Wert. Dabei erfolgt die Regulierung des Druckpegels des ausgegebenen Gases auf den subatmosph\u00e4rischen Sollwert durch die in Merkmal 3 vorgesehene M\u00f6glichkeit, das eingegrenzte Fluid durch \u00d6ffnen der Fluidbahn selektiv und mit einem bestimmten Durchsatz ausgeben zu k\u00f6nnen.<\/p>\n

Seite 6 der als Anlage K 7 vorgelegten Pr\u00e4sentation der Beklagten gibt das beanstandete Druckventil im geschlossenen Zustand wieder. Das Tellerventil (\u201ePoppet\u201c) wird durch die Feder (\u201eSpring\u201c) vorgespannt und gegen die Fluidflussbahn gedr\u00fcckt, so dass diese geschlossen ist. Liegt auslassseitig subatmosph\u00e4rischer Druck an, dehnt sich der Faltenbalg (\u201eBellows\u201c) aus und bewegt einen Kolben in Richtung des auf dem Tellerventil angeordneten Pins. Kommt der Kolben mit dem Pin in Ber\u00fchrung, bewegt sich dieser zun\u00e4chst nicht weiter fort, weil seine Bewegung durch die Gegenkraft der Feder aufgehalten wird, die \u00fcber das Ventil auf den Pin wirkt. F\u00fchrt der subatmosph\u00e4rische Druck zu einer weiteren Ausdehnung des Faltenbalges, die gr\u00f6\u00dfer ist als der Gegendruck der Feder, dr\u00fcckt der Kolben den Pin herunter, so dass sich das Tellerelement abhebt und die Fluidbahn ge\u00f6ffnet wird. Dies erfolgt bei Erreichen eines vorgegebenen Sollwertes, der im Bereich zwischen 200 und 400 Torr liegen kann. Steigt der auslassseitige Druck \u00fcber diesen Sollwert, zieht sich der Faltenbalg wieder zusammen, der Kolben bewegt sich nach oben und der Pin wird durch die Federkraft nach oben gedr\u00fcckt, so dass das Tellerelement die Fluidflussbahn wieder verschlie\u00dft.<\/p>\n

Nach dem Vorbringen der Beklagten bleibt das Ventil des Up-
\nTime-Systems im bestimmungsgem\u00e4\u00dfen Betrieb st\u00e4ndig ge\u00f6ffnet, solange nicht der vorgegebene Sollwert \u00fcberschritten wird. Werde bei ge\u00f6ffnetem Ventil mehr Gas f\u00fcr die Produktion ben\u00f6tigt als der vorhandene Durchsatz abgebe, reduziere der Durchsatzregler (\u201eMass Flow Controller\u201c, \u201eMFC\u201c, vgl. Anlage K 7, Seite 9, im Tatbestand wiedergegeben) den Druck an der Au\u00dfenseite des Ventils, um bei konstantem Innendruck eine Erh\u00f6hung der Druckdifferenz und damit einen erh\u00f6hten Durchsatz zu erzielen. Messungen der Beklagten best\u00e4tigten, dass der Abgabedruck bei zunehmendem Durchsatz wesentlich abnehme (vgl. Anlage B 5, Graf 1A und Privatgutachten Prof. X, Anlage B 10, Seite 9, Bild 5, im Tatbestand wiedergegeben). Sei umgekehrt der Gasbedarf geringer, werde das ausgegebenen Gas nicht vollst\u00e4ndig durch die Produktion abgegeben, so dass sich der Ausgabedruck erh\u00f6he, was zu einer entsprechenden Reduktion des Durchsatzes f\u00fchre. Bei alledem sei das Ventil ohne Einfluss auf den Gasfluss, weil es sich stets in der ge\u00f6ffneten Position befinde.<\/p>\n

Die Kl\u00e4gerin ist diesem tats\u00e4chlichen Vorbringen der Beklagten nicht erheblich entgegengetreten, so dass es als zutreffend anzunehmen ist.<\/p>\n

Die Kl\u00e4gerin hat im Verhandlungstermin zun\u00e4chst klar gestellt, dass es sich bei dem X-System der Beklagten nicht um einen Zwei-Punkt-Regler handelt, bei dem das Ventil nur eine offene oder eine geschlossene Stellung einnehmen kann und st\u00e4ndig von der einen in die andere Stellung wechselt, je nachdem ob ein unterer Drucksollwert unter- bzw. ein oberer Drucksollwert \u00fcberschritten wird. Bei einem solchen Zwei-Punkt-Regler \u00f6ffnet das Ventil bei Unterschreiten des unteren Drucksollwertes voll, so dass der Gaszustrom ansteigt und bei gleichem oder geringerem Gasverbrauch dazu f\u00fchrt, dass sich der Druckpegel erh\u00f6ht bis ein oberer Sollwert erreicht wird, bei dem das Ventil wieder schlie\u00dft bis der \u00e4u\u00dfere Druck wieder unter den unteren Schwellenwert f\u00e4llt und sich das Ventil erneut \u00f6ffnet. Bei dem X-System der Beklagten handelt es sich also unstreitig nicht um einen Zwei-Punkt-Regler.<\/p>\n

Die Kl\u00e4gerin hat in ihrem Schriftsatz vom 2.10.2006 und auch im Verhandlungstermin darauf hingewiesen, dass das Ventil der Beklagten nur deshalb st\u00e4ndig ge\u00f6ffnet sei, weil permanent subatmosph\u00e4rischer Druck anliege. W\u00fcrde der Druck auf Normaldruck ansteigen, beispielsweise weil ein Leck auftrete, so w\u00fcrde sich das Ventil schlie\u00dfen, um zu verhindern, dass die Umgebung verseucht werde. Dieses Vorbringen der Kl\u00e4gerin steht in \u00dcbereinstimmung mit den Darlegungen der Beklagten und kann daher ebenfalls als unstreitig angesehen werden. Die Kl\u00e4gerin tr\u00e4gt damit jedoch nur die tats\u00e4chlichen Voraussetzungen f\u00fcr das Vorliegen des ersten Teils des Merkmals 5 vor, wonach das Gas nur unterhalb eines spezifizierten subatmosph\u00e4rischen Druck ausgegeben werden darf, der Druckregler ansonsten aber den Fluidfluss verhindern soll. Hingegen hat die Kl\u00e4gerin insoweit nicht dargetan, dass dar\u00fcber hinaus das Ventil des X-Systems den Druckpegel des ausgegebenen Fluids auf den spezifizierten subatmosph\u00e4rischen Ausgabedruck reguliert, indem es das Gas nur selektiv ausgibt und den Gasdurchsatz bestimmt.<\/p>\n

In ihrem Schriftsatz vom 2.10.2006 hat die Kl\u00e4gerin ferner ausgef\u00fchrt, dass nach dem allgemeinen Sprachgebrauch auch solche Ventile als Druckregler bezeichnet w\u00fcrden, die eine gewisse Schwankungsbreite des Abgabedrucks aufwiesen. Die Kl\u00e4gerin verweist in diesem Zusammenhang auf eine wissenschaftliche Ver\u00f6ffentlichung, wonach die normalen Leistungsanforderungen bei Reglern nicht sehr streng seien, weil die meisten Massenflusskontrollvorrichtungen \u00fcber einen Bereich von 30 psi arbeiteten, so lange es keine pl\u00f6tzlichen Druck\u00e4nderungen gebe. (vgl. Mc-Graw-Hill, Dictionary of Scientific and Technical Terms, 5. Aufl., 1994, S. 1570, Anlage K 14, S. 2, l. Sp.). Einem weiteren Standardwerk lasse sich entnehmen, dass ein gewisses Abfallen des Drucks bei erh\u00f6htem Durchsatz gerade kennzeichnend f\u00fcr Druckregler (insbesondere einstufige Regler) sei (vgl. Compressed Gas Association, Handbook of Compressed Gases,, 3. Aufl., 1990, S. 48, Anlage K 13). Die Kl\u00e4gerin meint vor diesem Hintergrund, dass die Schwankungen von 5 % des Abgabedrucks, wie sie in der Werbung der Beklagten wiedergegeben worden seien (vgl. Anlage K 7, Seite 9: Abfallen des Abgabedrucks um ca. 10 Torr) bzw. die Schwankungen von 10 % das Abgabedrucks, wie sie bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform nach den Angaben der Beklagten in Abbildung 5 des Privatgutachtens von Prof. X angegeben seien (Anlage B 10, Seite 9: Abfall des Abgabedrucks von ca. 370 Torr und ca. 330 Torr) der Annahme nicht entgegen st\u00fcnden, dass es sich bei dem streitgegenst\u00e4ndlichen X-Ventil um einen Druckregler handele.<\/p>\n

Den Ausf\u00fchrungen der Kl\u00e4gerin kann im Ergebnis nicht gefolgt werden. Dabei mag es durchaus zutreffend sein, dass im allgemeinen Sprachgebrauch auch solche Ventile als Druckregler bezeichnet werden, die eine gewisse Schwankungsbreite des Abgabedrucks aufweisen und ein Absinken des Abgabedrucks bei ansteigendem Durchsatz f\u00fcr bestimmte Druckregler kennzeichnend ist. Allein der Umstand, dass bei dem X-System ein Absinken des Abgabeabdrucks bei ansteigendem Durchsatz festzustellen ist, enthebt die Kl\u00e4gerin jedoch nicht der Obliegenheit zur Darlegung, dass diese Wirkung bei der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform tats\u00e4chlich auf ein Regulierverhalten des Ventils im Sinne der Merkmale 5 und 3 zur\u00fcckzuf\u00fchren ist und nicht andere Ursachen hat. Die Beklagten haben in diesem Zusammenhang vorgebracht, dass der Grund f\u00fcr den Druckabfall in einer erh\u00f6hten Gasnachfrage von Seiten des Durchsatzregler liege. Das Ventil wirke bei dem in Bild 5 dokumentierten Versuch dem treppenf\u00f6rmigen Absinken des Druckes von ca. 370 Torr auf ca. 330 Torr bei treppenf\u00f6rmig ansteigendem Durchfluss nicht entgegen (vgl. Privatgutachten Prof. X, Anlage B10, Seite 8). Gegen\u00fcber diesem spezifizierten Vorbringen der Beklagten hat die Kl\u00e4gerin keine tats\u00e4chlichen Umst\u00e4nde vorgetragen, denen sich entnehmen l\u00e4sst, dass ein Regulierverhalten des Ventils beim X-System urs\u00e4chlich f\u00fcr den etwa in Bild 5 dokumentierten moderaten Druckabfall ist.<\/p>\n

Im Verhandlungstermin hat die Kl\u00e4gerin zwar ausgef\u00fchrt, dass viel darauf hindeute, dass das Ventil der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform auf dem Weg von der geschlossenen in die endg\u00fcltige offene Stellung Zwischenpositionen einnehmen k\u00f6nne. Demgegen\u00fcber haben die Beklagten dargelegt, dass das Ventil keine durch den Druck am Faltenbalg definierten Zwischenstellungen einnehmen k\u00f6nne. Die Distanz des Tellerventils zwischen den Stellungen \u201eAuf\u201c und \u201eZu\u201c sei extrem klein, n\u00e4mlich weniger als 0,028 Inch, w\u00e4hrend der Abstand bei Standardventilen bei etwa 0,09 Inch liegt. Das Vorbringen der Kl\u00e4gerin stellt sich vor dem Hintergrund der Darlegungen der Beklagten, die diese bereits erstmals in ihrer Klageerwiderung vorgebracht haben, als rein spekulativ und deshalb unbeachtlich dar. Die Kl\u00e4gern hat nicht vorgetragen, dass ihre Behauptung, das Ventil des X-Systems k\u00f6nne Zwischenstellungen einnehmen, auf tats\u00e4chlichen Feststellungen beruht. Sie hat die Angaben der Beklagten zur Distanz, die zwischen der offenen und der geschlossenen Stellung des Ventils der angegriffenen Ausf\u00fchrungsform liegt, nicht in Abrede gestellt, gleichwohl aber nicht aufgezeigt, dass bei derartigen Abmessungen \u00fcberhaupt definierte Zwischenstellungen m\u00f6glich sind. Sie hat weiterhin nicht dargetan, dass, wenn solche Zwischenpositionen tats\u00e4chlich m\u00f6glich sein sollten, diese den in Bild 9 der als Anlage K 7 vorgelegten Pr\u00e4sentation oder des in Bild 5 des Privatgutachtens von Prof. X dokumentierten abnehmenden Druckverlauf zumindest in erheblicher Weise mitverursachen. Sie hat schlie\u00dflich nicht vorgetragen, dass das Tellerventil des X-Systems mit einem Messglied ausgestattet ist, welches eine \u00c4nderung des Druckflusses feststellt und es dadurch dem Tellerventil \u00fcberhaupt erst erm\u00f6glicht, durch tendenzielles \u00d6ffnen oder Schlie\u00dfen auf eine Ver\u00e4nderung der Druckflusses zu reagieren.<\/p>\n

Im \u2013 zur Verletzungsfrage \u2013 nicht nachgelassenen Schriftsatz vom 23.10.2006 hat die Kl\u00e4gerin erstmals schrifts\u00e4tzlich vorgetragen, dass der leichte Abfall der Druck-Kurve in Bild 5 des Privatgutachtens von Prof. X und in Bild 9 der als Anlage K 7 vorgelegten Pr\u00e4sentation ein leichter Abfall der Druck-Kurve trotz gleich bleibender Durchflussrate, also innerhalb eines Plateaus, als auch die leichte in-sich-Wellenform der Kurve und schlie\u00dflich die Tatsache, dass die Kurve von Bild 5 der Anlage B 10 bei geringerem Durchsatz oder gr\u00f6\u00dferem Durchsatz st\u00e4rker abfalle als bei mittlerem Durchsatz, wo die Druckkurve fast parallel zur Kurve der Durchflussrate verlaufe, technisch nur sinnvoll zu erkl\u00e4ren sei durch ein tendenziell sich \u00f6ffnendes und schlie\u00dfendes Tellerventil. Die Darlegungen der Kl\u00e4gerin sind bei Ber\u00fccksichtigung des Vorbringens der Beklagten nicht nachvollziehbar. Die Beklagten haben \u2013 wie bereits oben im Einzelnen ausgef\u00fchrt \u2013 das leichte21 Absinken des Abgabedrucks bei im Wesentlichen konstanten Bedingungen mit dem Wirkungen des nachgeschalteten Durchsatzreglers (\u201eMass Flow Controller\u201c) erkl\u00e4rt, der auch ausdr\u00fccklich in der Darstellung auf Bild 9 der Pr\u00e4sentation Anlage K 7 erw\u00e4hnt wird (vgl. auch Privatgutachten Prof. X, Anlage B 10, S. 7 f.). Die Kl\u00e4gerin zeigt auch mit ihrem neuen Vorbringen nicht auf, aus welchen Gr\u00fcnden es ausgeschlossen sein soll, dass der Verlauf der Druckkurve auf den Einsatz des nachgeschalteten Druckreglers zur\u00fcckzuf\u00fchren ist. Sie stellt statt dessen die Behauptung auf, dass dem Verlauf der Druckkurve ein tendenziell sich \u00f6ffnendes und schlie\u00dfendes Tellerventil zugrunde liege, ohne jedoch tats\u00e4chliche Feststellungen getroffen zu haben, die diese Behauptung st\u00fctzen.<\/p>\n

Nach alledem hat die Kl\u00e4gerin bei Ber\u00fccksichtigung des Vortrags der Beklagten nicht hinreichend substantiiert dargetan, dass die angegriffene Ausf\u00fchrungsform geeignet ist, das in Patentanspruch 14 unter Schutz gestellten Verfahren anzuwenden. Es fehlt an einer Verwirklichung der in den Merkmalen 5 (Teil 2) und 3 geforderten Verfahrensschritte.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

D\u00fcsseldorfer Entscheidung Nr.:\u00a0528 Landgericht D\u00fcsseldorf Teilurteil vom 9. November 2006, Az. 4a O 435\/05<\/p>\n","protected":false},"author":25,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[30,2],"tags":[],"class_list":["post-4127","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-30","category-lg-duesseldorf"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/4127","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/25"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=4127"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/4127\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":4128,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/4127\/revisions\/4128"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=4127"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=4127"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/d-prax.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=4127"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}